Bahan lapisan epitaksi silikon karbida adalah silikon karbida, yang biasanya digunakan untuk pembuatan perangkat elektronik berdaya tinggi dan LED. Ini banyak digunakan dalam industri semikonduktor karena stabilitas termal yang sangat baik, kekuatan mekanik dan konduktivitas listrik yang tinggi.
Kemurnian tinggi: Lapisan epitaksi silikon yang ditumbuhkan dengan deposisi uap kimia (CVD) memiliki kemurnian yang sangat tinggi, kerataan permukaan yang lebih baik, dan kepadatan cacat yang lebih rendah dibandingkan wafer tradisional.
Silikon karbida padat memiliki sifat yang sangat baik seperti stabilitas suhu tinggi, kekerasan tinggi, ketahanan abrasi yang baik, dan stabilitas kimia yang baik, sehingga memiliki berbagai macam aplikasi. Berikut ini adalah beberapa aplikasi silikon karbida padat: