Wafer Silikon Pada Isolator

VeTek Semiconductor adalah produsen profesional China untuk Silicon On Insulator Wafer, ALD Planetary Base, dan TaC Coated Graphite Base. Wafer Silicon On Insulator VeTek Semiconductor adalah bahan substrat semikonduktor yang penting, dan karakteristik produknya yang sangat baik membuatnya memainkan peran kunci dalam aplikasi RF berkinerja tinggi, berdaya rendah, integrasi tinggi, dan RF. Kami menantikan kerjasama lebih lanjut dengan Anda.

mengirimkan permintaan

Deskripsi Produk

Prinsip kerja dariSemikonduktor VeTek'SWafer Silikon Pada Isolatorterutama bergantung pada struktur unik dan sifat materialnya. Dan kue wafer JADIterdiri dari tiga lapisan: lapisan atas adalah lapisan perangkat silikon kristal tunggal, lapisan tengah adalah lapisan isolasi Buried OXide (BOX), dan lapisan bawah adalah substrat silikon pendukung.

Silicon On Insulator Wafers(SOI) Structure

Struktur Silikon Pada Wafer Insulator (SOI)

Pembentukan lapisan isolasi: Silicon On Insulator Wafer biasanya diproduksi dengan menggunakan teknologi Smart Cut™ atau teknologi SIMOX (Separation by IMplanted OXygen). Teknologi Smart Cut™ menyuntikkan ion hidrogen ke dalam wafer silikon untuk membentuk lapisan gelembung, dan kemudian mengikat wafer yang disuntikkan hidrogen ke silikon pendukungkue kue wafer.

Setelah perlakuan panas, wafer yang disuntikkan hidrogen dipisahkan dari lapisan gelembung untuk membentuk struktur SOI.Teknologi SIMOXmenanamkan ion oksigen berenergi tinggi ke dalam wafer silikon untuk membentuk lapisan oksida silikon pada suhu tinggi.

Mengurangi kapasitansi parasit: Lapisan KOTAK dariWafer silikon karbidasecara efektif mengisolasi lapisan perangkat dan silikon dasar, mengurangi secara signifikang kapasitansi parasit. Isolasi ini mengurangi konsumsi daya dan meningkatkan kecepatan dan kinerja perangkat.

Hindari efek latch-up: Perangkat n-well dan p-well dikue wafer JADIsepenuhnya terisolasi, menghindari efek latch-up pada struktur CMOS tradisional. Hal ini memungkinkankue wafer SOI untuk diproduksi pada kecepatan yang lebih tinggi.

Fungsi penghentian etsa: Itulapisan perangkat silikon kristal tunggaldan struktur lapisan BOX wafer SOI memfasilitasi pembuatan MEMS dan perangkat optoelektronik, memberikan fungsi penghentian etsa yang sangat baik.

Melalui ciri-ciri tersebut,Wafer Silikon Pada Isolatormemainkan peran penting dalam pemrosesan semikonduktor dan mendorong pengembangan berkelanjutan dari sirkuit terpadu (IC) dansistem mikroelektromekanis (MEMS)industri. Kami dengan tulus menantikan komunikasi dan kerja sama lebih lanjut dengan Anda.

Parameter spesifikasi wafer SOl 200mm:

Spesifikasi wafer SOl 200 mm
TIDAK	Keterangan	Nilai
Lapisan silikon perangkat
1.1	Ketebalan	220nm+/-10nm
1.2	Metode produksi	CZ
1.3	Orientasi kristal	<100>
1.4	Tipe konduktivitas	p
1.5	Dopan	Boron
1.6	Rata-rata resistivitas	8,5 - 11,5 0hm*cm
1.7	RMS (2x2 um)	<0,2
1.8	LPD (Ukuran>0,2um)	<75
1.9	Cacat besar lebih besar dari 0,8 mikron (Area)	<25
1.10	Kepingan Tepi, Goresan, Retak, Lesung Pipi/Lubang, Kabut, Kulit Jeruk (inspeksi visual)	0
1.11	Kekosongan pengikatan: inspeksi visual diameter >0,5 mm	0