Penerima Aixtron G5 MOCVD

VeTek Semiconductor adalah produsen dan inovator Aixtron G5 MOCVD Susceptors terkemuka di China. Kami telah mengkhususkan diri dalam bahan pelapis SiC selama bertahun-tahun. Kami menawarkan Susceptors Aixtron G5 MOCVD yang dirancang khusus untuk reaktor Aixtron G5 MOCVD. Kit Susceptors Aixtron G5 MOCVD ini adalah solusi serbaguna dan efisien untuk manufaktur semikonduktor dengan ukuran optimal, kompatibilitas, dan produktivitas tinggi. Selamat datang untuk bertanya kepada kami.

mengirimkan permintaan

Deskripsi Produk

Sebagai produsen profesional, Semikonduktor VeTek ingin memberi Anda Susceptors Aixtron G5 MOCVD seperti suku cadang grafit berlapis SiC, suku cadang grafit berlapis TaC, SiC/CVD SiC padat, suku cadang kuarsa. Selamat datang untuk menanyakan kepada kami.

Aixtron G5 adalah sistem deposisi untuk semikonduktor majemuk. AIX G5 MOCVD menggunakan platform reaktor planet AIXTRON yang telah terbukti oleh pelanggan produksi dengan sistem transfer wafer kartrid otomatis (C2C). Mencapai ukuran rongga tunggal terbesar di industri (8 x 6 inci) dan kapasitas produksi terbesar. Ia menawarkan konfigurasi fleksibel 6 dan 4 inci yang dirancang untuk meminimalkan biaya produksi dengan tetap menjaga kualitas produk yang unggul. Sistem CVD planet dinding hangat dicirikan oleh pertumbuhan banyak pelat dalam satu tungku, dan efisiensi keluarannya tinggi. VeTek Semiconductor menawarkan satu set aksesoris lengkap untuk sistem Aixtron G5 MOCVD, Aixtron G5 MOCVD Susceptors terdiri dari aksesoris berikut:

Bagian Dorong, Anti-Putar	Cincin Distribusi	Langit-langit	Dudukan, Plafon, Terisolasi	Pelat Penutup, Luar
Pelat Penutup, Bagian Dalam	Cincin Penutup	Cakram	Disk Penutup Tarik-turun	Pin
Mesin cuci pin	Cakram Planet	Celah Cincin Saluran Masuk Kolektor	Kolektor Knalpot Atas	Rana
Cincin Pendukung	Tabung Pendukung

Aixtron G5,EPI susceptor,MOCVD susceptor

Sifat fisik dasar lapisan CVD SiC:

Sifat fisik dasar lapisan CVD SiC
Properti	Nilai khas
Struktur kristal	Polikristalin fase β FCC, terutama berorientasi (111).
Kepadatan	3,21 gram/cm³
Kekerasan	Kekerasan Vickers 2500（beban 500g）
Ukuran butir	2~10μm
Kemurnian Kimia	99,99995%
Kapasitas Panas	640 J·kg-1·K-1
Suhu Sublimasi	2700℃
Kekuatan Lentur	415 MPa RT 4 titik
Modulus Muda	tikungan 430 Gpa 4pt, 1300℃
Konduktivitas termal	300W·m-1·K-1
Ekspansi Termal (CTE)	4,5×10-6K-1