VeTek Semiconductor adalah pemasok terkemuka pelapis TaC dan komponen grafit pelapis SiC. Kami berspesialisasi dalam produksi Susceptors EPI LED mutakhir, yang penting untuk proses epitaksi LED. Dengan fokus kuat pada inovasi dan kualitas, kami menawarkan solusi andal yang memenuhi persyaratan ketat industri LED. Hubungi kami hari ini untuk mendiskusikan pertanyaan Anda dan mengetahui bagaimana produk kami dapat meningkatkan proses produksi Anda.
Sebagai produsen profesional, kami ingin memberi Anda Susceptor EPI LED berkualitas tinggi.
Susceptor EPI LED VeTek Semiconductor, produk mutakhir yang dirancang untuk proses pertumbuhan epitaksi LED. Susceptor berkualitas tinggi ini berfungsi sebagai pembawa wafer untuk epitaksi LED, memberikan dukungan penting dan menjaga pertumbuhan wafer epitaksi LED. Dengan fitur luar biasa dan desain canggih, Susceptor EPI LED memastikan kinerja dan keandalan optimal selama proses epitaksi.
Diproduksi menggunakan suhu tinggi premium, Susceptor EPI LED menunjukkan toleransi suhu dan stabilitas kimia yang luar biasa. Desainnya yang dirancang dengan cermat menjamin kontak seragam dan pertumbuhan wafer epitaksi sekaligus menawarkan kerataan permukaan dan ketahanan aus yang unggul. Struktur dan dimensi susceptor disesuaikan untuk mengakomodasi berbagai ukuran wafer epitaksi, mengakomodasi diameter dan ketebalan yang berbeda dengan mudah.
Susceptor EPI LED menggabungkan konduktivitas termal yang sangat baik, menghilangkan panas secara efisien untuk mempertahankan suhu pertumbuhan yang stabil untuk wafer epitaksi. Fitur penting ini meningkatkan stabilitas dan konsistensi proses, memastikan pertumbuhan LED yang konsisten dan berkualitas tinggi.
Untuk lebih meningkatkan kinerjanya, Susceptor EPI LED dilapisi dengan film tipis premium tantalum carbide (TaC). Lapisan ini memberikan stabilitas suhu tinggi yang luar biasa, ketahanan kimia, kekerasan, ketahanan aus, dan peningkatan konduktivitas termal. Lapisan TaC secara signifikan meningkatkan daya tahan dan keandalan produk, memastikan kinerja yang tahan lama dan optimal.
Susceptor EPI LED VeTek Semiconductor menawarkan kompatibilitas sempurna dengan berbagai peralatan dan proses epitaksi LED, menjadikannya solusi serbaguna untuk beragam kebutuhan pertumbuhan wafer epitaksi. Memberikan keunggulan dan presisi, LED EPI Susceptor adalah pilihan ideal untuk mencapai proses epitaksi LED yang andal dan efisien.
Rasakan revolusi epitaksi dengan Susceptor EPI LED VeTek Semiconductor – solusi tepercaya untuk pertumbuhan LED yang unggul.
Sifat fisik lapisan TaC | |
Kepadatan | 14,3 (g/cm³) |
Emisivitas spesifik | 0.3 |
Koefisien ekspansi termal | 6.3 10-6/K |
Kekerasan (HK) | 2000HK |
Perlawanan | 1×10-5 Ohm*cm |
Stabilitas termal | <2500℃ |
Perubahan ukuran grafit | -10~-20um |
Ketebalan lapisan | Nilai tipikal ≥20um (35um±10um) |