Tungku Oksidasi dan Difusi digunakan di berbagai bidang seperti perangkat semikonduktor, perangkat diskrit, perangkat optoelektronik, perangkat elektronika daya, sel surya, dan manufaktur sirkuit terpadu skala besar. Mereka digunakan untuk proses termasuk difusi, oksidasi, anil, paduan, dan sintering wafer.
VeTek Semiconductor adalah produsen terkemuka yang mengkhususkan diri dalam produksi komponen grafit, silikon karbida, dan kuarsa dengan kemurnian tinggi dalam tungku oksidasi dan difusi. Kami berkomitmen untuk menyediakan komponen tungku berkualitas tinggi untuk industri semikonduktor dan fotovoltaik, dan menjadi yang terdepan dalam teknologi pelapisan permukaan, seperti CVD-SiC, CVD-TaC, pirokarbon, dll.
Ketahanan suhu tinggi (hingga 1600 ℃)
Konduktivitas termal dan stabilitas termal yang sangat baik
Ketahanan korosi kimia yang baik
Koefisien ekspansi termal yang rendah
Kekuatan dan kekerasan tinggi
Umur panjang
Dalam tungku oksidasi dan difusi, karena adanya suhu tinggi dan gas korosif, banyak komponen memerlukan penggunaan bahan bersuhu tinggi dan tahan korosi, di antaranya silikon karbida (SiC) adalah pilihan yang umum digunakan. Berikut ini adalah komponen silikon karbida yang umum ditemukan pada tungku oksidasi dan tungku difusi:
Perahu Wafer
Perahu wafer silikon karbida merupakan wadah yang digunakan untuk membawa wafer silikon, yang tahan terhadap suhu tinggi dan tidak akan bereaksi dengan wafer silikon.
Tabung Tungku
Tabung tungku adalah komponen inti dari tungku difusi, digunakan untuk menampung wafer silikon dan mengontrol lingkungan reaksi. Tabung tungku silikon karbida memiliki kinerja suhu tinggi dan ketahanan korosi yang sangat baik.
Pelat Penyekat
Digunakan untuk mengatur aliran udara dan distribusi suhu di dalam tungku
Tabung Perlindungan Termokopel
Digunakan untuk melindungi termokopel pengukur suhu dari kontak langsung dengan gas korosif.
Dayung Kantilever
Dayung kantilever silikon karbida tahan terhadap suhu tinggi dan korosi, dan digunakan untuk mengangkut perahu silikon atau perahu kuarsa yang membawa wafer silikon ke dalam tabung tungku difusi.
Injektor Gas
Digunakan untuk memasukkan gas reaksi ke dalam tungku, tungku harus tahan terhadap suhu tinggi dan korosi.
Pengangkut Perahu
Pengangkut perahu wafer silikon karbida digunakan untuk memperbaiki dan menopang wafer silikon, yang memiliki keunggulan seperti kekuatan tinggi, ketahanan korosi, dan stabilitas struktural yang baik.
Pintu Tungku
Pelapis atau komponen silikon karbida juga dapat digunakan di bagian dalam pintu tungku.
Elemen pemanas
Elemen pemanas silikon karbida cocok untuk suhu tinggi, daya tinggi, dan dapat dengan cepat menaikkan suhu hingga lebih dari 1000℃.
Lapisan SiC
Digunakan untuk melindungi dinding bagian dalam tabung tungku, dapat membantu mengurangi hilangnya energi panas dan tahan terhadap lingkungan yang keras seperti suhu tinggi dan tekanan tinggi.
Semikonduktor VeTek adalah pemasok, produsen, dan pabrik Perahu Wafer Keramik SiC terkemuka di Cina. Perahu Wafer Keramik SiC kami adalah komponen penting dalam proses penanganan wafer tingkat lanjut, yang melayani industri fotovoltaik, elektronik, dan semikonduktor. Menantikan konsultasi Anda.
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanVeTek Semiconductor berspesialisasi dalam menyediakan perahu wafer, alas, dan pembawa wafer khusus berkualitas tinggi dalam konfigurasi vertikal/kolom dan horizontal untuk memenuhi berbagai persyaratan proses semikonduktor. Sebagai produsen dan pemasok film pelapis silikon karbida terkemuka, perahu wafer keramik silikon karbida kami disukai oleh pasar Eropa dan Amerika karena efektivitas biaya yang tinggi dan kualitas yang sangat baik, dan banyak digunakan dalam proses manufaktur semikonduktor tingkat lanjut. VeTek Semiconductor berkomitmen untuk membangun hubungan kerja sama jangka panjang dan stabil dengan pelanggan global, dan terutama berharap dapat menjadi mitra proses semikonduktor andal Anda di Tiongkok.
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanPeran Silicon Carbide (SiC) Cantilever Paddle dalam industri semikonduktor adalah untuk mendukung dan mengangkut wafer. Dalam proses suhu tinggi seperti difusi dan oksidasi, dayung kantilever SiC dapat membawa perahu wafer dan wafer secara stabil tanpa deformasi atau kerusakan karena suhu tinggi, memastikan kelancaran proses. Membuat difusi, oksidasi, dan proses lainnya menjadi lebih seragam sangat penting untuk meningkatkan konsistensi dan hasil pemrosesan wafer. VeTek Semiconductor menggunakan teknologi canggih untuk membuat dayung kantilever SiC dengan silikon karbida dengan kemurnian tinggi untuk memastikan wafer tidak akan terkontaminasi. VeTek Semiconductor menantikan kerja sama jangka panjang dengan Anda dalam produk Cantilever Paddle Silicon Carbide (SiC).
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanVeTek Semiconductor adalah pemasok dan produsen wadah kuarsa terkemuka di Cina. cawan lebur kuarsa yang kami produksi terutama digunakan di bidang semikonduktor dan fotovoltaik. Mereka memiliki sifat kebersihan dan tahan suhu tinggi. Dan wadah kuarsa kami untuk semikonduktor mendukung proses produksi penarikan batang silikon, bongkar muat bahan baku polisilikon dalam proses produksi wafer silikon semikonduktor, dan merupakan bahan habis pakai utama untuk produksi wafer silikon. VeTek Semiconductor berharap dapat menjadi mitra jangka panjang Anda di Tiongkok.
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanSebagai pemasok pembawa wafer Silikon Karbida profesional di Cina, pembawa wafer Semikonduktor SiC VeTek adalah alat yang khusus digunakan untuk menangani dan memproses wafer semikonduktor, yang memainkan peran tak tergantikan dalam proses wafer semikonduktor. Selamat datang di konsultasi Anda selanjutnya.
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanAlas Silikon Semikonduktor VeTek adalah komponen kunci dalam proses difusi dan oksidasi semikonduktor. Sebagai platform khusus untuk membawa perahu silikon dalam tungku bersuhu tinggi, Silicon Pedestal memiliki banyak keunggulan unik, termasuk peningkatan keseragaman suhu, kualitas wafer yang dioptimalkan, dan peningkatan kinerja perangkat semikonduktor. Untuk informasi produk lebih lanjut, jangan ragu untuk menghubungi kami.
Baca selengkapnyamengirimkan permintaan