- English
- Español
- Português
- русский
- Français
- 日本語
- Deutsch
- tiếng Việt
- Italiano
- Nederlands
- ภาษาไทย
- Polski
- 한국어
- Svenska
- magyar
- Malay
- বাংলা ভাষার
- Dansk
- Suomi
- हिन्दी
- Pilipino
- Türkçe
- Gaeilge
- العربية
- Indonesia
- Norsk
- تمل
- český
- ελληνικά
- український
- Javanese
- فارسی
- தமிழ்
- తెలుగు
- नेपाली
- Burmese
- български
- ລາວ
- Latine
- Қазақша
- Euskal
- Azərbaycan
- Slovenský jazyk
- Македонски
- Lietuvos
- Eesti Keel
- Română
- Slovenski
- मराठी
- Srpski језик
Cina Lapisan Tantalum Karbida Produsen, Pemasok, Pabrik
Semikonduktor VeTek adalah produsen terkemuka bahan Pelapis Tantalum Karbida untuk industri semikonduktor. Penawaran produk utama kami meliputi komponen pelapis tantalum karbida CVD, komponen pelapis TaC sinter untuk pertumbuhan kristal SiC, atau proses epitaksi semikonduktor. Lulus ISO9001, VeTek Semiconductor memiliki kontrol kualitas yang baik. VeTek Semiconductor berdedikasi untuk menjadi inovator dalam industri Pelapisan Tantalum Karbida melalui penelitian berkelanjutan dan pengembangan teknologi berulang.
Produk utamanya adalahCincin Panduan Dilapisi TaC, Cincin pemandu tiga kelopak berlapis CVD TaC, Halfmoon Dilapisi Tantalum Karbida TaC, Suseptor epitaksi planetary SiC yang dilapisi CVD TaC, Cincin Pelapis Tantalum Karbida, Grafit Berpori Dilapisi Tantalum Karbida, Suseptor Rotasi Lapisan TaC, Cincin Tantalum Karbida, Pelat Rotasi Lapisan TaC, Suseptor wafer berlapis TaC, Cincin Deflektor Dilapisi TaC, Penutup Lapisan CVD TaC, Chuck Dilapisi TaCdll., kemurniannya di bawah 5ppm, dapat memenuhi kebutuhan pelanggan.
Grafit pelapis TaC dibuat dengan melapisi permukaan substrat grafit dengan kemurnian tinggi dengan lapisan halus tantalum karbida melalui proses Deposisi Uap Kimia (CVD) yang dipatenkan. Keuntungannya ditunjukkan pada gambar di bawah ini:
Lapisan tantalum karbida (TaC) telah mendapat perhatian karena titik lelehnya yang tinggi hingga 3880°C, kekuatan mekanik yang sangat baik, kekerasan, dan ketahanan terhadap guncangan termal, menjadikannya alternatif yang menarik untuk proses epitaksi semikonduktor majemuk dengan persyaratan suhu lebih tinggi, seperti sistem Aixtron MOCVD dan proses epitaksi LPE SiC. Ini juga memiliki aplikasi luas dalam proses pertumbuhan kristal SiC metode PVT.
Fitur Utama:
●Stabilitas suhu
●Kemurnian sangat tinggi
●Ketahanan terhadap H2, NH3, SiH4,Si
●Ketahanan terhadap stok termal
●Daya rekat kuat pada grafit
●Cakupan lapisan konformal
● Ukuran diameter hingga 750 mm (Satu-satunya pabrikan di China yang mencapai ukuran ini)
Aplikasi:
● Penerima pemanasan induktif
● Elemen pemanas resistif
● Pelindung panas
Lapisan Tantalum karbida (TaC) pada penampang mikroskopis:
Parameter Lapisan Tantalum Karbida Semikonduktor VeTek:
| Sifat fisik lapisan TaC | |
| Kepadatan | 14,3 (g/cm³) |
| Emisivitas spesifik | 0.3 |
| Koefisien ekspansi termal | 6.3 10-6/K |
| Kekerasan (HK) | 2000HK |
| Perlawanan | 1×10-5Ohm*cm |
| Stabilitas termal | <2500℃ |
| Perubahan ukuran grafit | -10~-20um |
| Ketebalan lapisan | Nilai tipikal ≥20um (35um±10um) |
Data EDX pelapisan TaC：
Data struktur kristal pelapis TaC:
| Elemen | Persen atom | |||
| Pt. 1 | Pt. 2 | Pt. 3 | Rata-rata | |
| CK | 52.10 | 57.41 | 52.37 | 53.96 |
| Mereka | 47.90 | 42.59 | 47.63 | 46.04 |
- View as
Cincin berlapis TaC untuk pertumbuhan PVT kristal tunggal SiC
Sebagai salah satu pemasok produk pelapis TaC terkemuka di Tiongkok, VeTek Semiconductor mampu menyediakan suku cadang khusus pelapis TaC berkualitas tinggi kepada pelanggan. Cincin berlapis TaC untuk pertumbuhan PVT kristal tunggal SiC adalah salah satu produk VeTek Semiconductor yang paling menonjol dan matang. Ini memainkan peran penting dalam pertumbuhan PVT proses kristal SiC dan dapat membantu pelanggan menumbuhkan kristal SiC berkualitas tinggi. Menantikan pertanyaan Anda.
Baca selengkapnyamengirimkan permintaan
Cincin pemandu tiga kelopak berlapis CVD TaC
VeTek Semiconductor telah mengalami perkembangan teknologi selama bertahun-tahun dan telah menguasai teknologi proses pelapisan CVD TaC yang terdepan. Cincin pemandu tiga kelopak berlapis CVD TaC adalah salah satu produk pelapis CVD TaC VeTek Semiconductor yang paling matang dan merupakan komponen penting untuk menyiapkan kristal SiC dengan metode PVT. Dengan bantuan VeTek Semiconductor, saya yakin produksi kristal SiC Anda akan lebih lancar dan efisien.
Baca selengkapnyamengirimkan permintaan
Cincin Pelapis Tantalum Karbida
Cincin Pelapis Tantalum Karbida semikonduktor VeTek adalah komponen yang sangat diperlukan dalam industri semikonduktor, khususnya dalam etsa wafer SiC. Kombinasi dasar grafit dan lapisan TaC memastikan kinerja unggul dalam lingkungan bersuhu tinggi dan agresif secara kimia. Dengan peningkatan stabilitas termal, ketahanan terhadap korosi, dan kekuatan mekanik, Tantalum Carbide Coated Ring membantu produsen semikonduktor mencapai presisi, keandalan, dan hasil berkualitas tinggi dalam proses produksi mereka.
Baca selengkapnyamengirimkan permintaan
Cincin Pelapis TaC
TaC Coating Ring adalah komponen berkinerja tinggi yang dirancang untuk digunakan dalam proses semikonduktor, TaC Coating Ring semikonduktor VeTek memiliki stabilitas termal yang tinggi, ketahanan terhadap korosi kimia, dan kekuatan mekanik yang sangat baik dan khusus digunakan untuk menahan dan menopang wafer SiC selama proses etsa, di mana kontrol yang presisi dan daya tahan sangat penting untuk menghasilkan wafer berkualitas tinggi. kami menantikan konsultasi Anda selanjutnya.
Baca selengkapnyamengirimkan permintaan
Wadah Pelapis TaC
Sebagai Pemasok dan Produsen Wadah Pelapis TaC profesional di Tiongkok, Wadah Pelapis TaC Semikonduktor VeTek memainkan peran yang tak tergantikan dalam proses pertumbuhan kristal tunggal semikonduktor dengan konduktivitas termal yang sangat baik, stabilitas kimia yang luar biasa, dan peningkatan ketahanan terhadap korosi. Selamat datang pertanyaan Anda lebih lanjut.
Baca selengkapnyamengirimkan permintaan
Cincin Panduan Dilapisi Tantalum Karbida
Sebagai pemasok dan produsen cincin pemandu pelapis TaC terkemuka di Tiongkok, cincin pemandu berlapis tantalum karbida Semikonduktor VeTek adalah komponen penting yang digunakan untuk memandu dan mengoptimalkan aliran gas reaktif dalam metode PVT (Physical Vapor Transport). Ini mendorong pengendapan kristal tunggal SiC yang seragam di zona pertumbuhan dengan menyesuaikan distribusi dan kecepatan aliran gas. VeTek Semiconductor adalah produsen dan pemasok cincin panduan pelapisan TaC terkemuka di Cina dan bahkan di dunia, dan kami menantikan konsultasi Anda.
Baca selengkapnyamengirimkan permintaan
Sebagai produsen dan pemasok Lapisan Tantalum Karbida profesional di Tiongkok, kami memiliki pabrik sendiri. Apakah Anda memerlukan layanan khusus untuk memenuhi kebutuhan spesifik wilayah Anda atau ingin membeli Lapisan Tantalum Karbida canggih dan tahan lama buatan Tiongkok, Anda dapat meninggalkan pesan kepada kami.
