Penerus Planet ALD

Proses ALD, berarti proses Epitaksi Lapisan Atom. Vetek Semiconductor dan produsen sistem ALD telah mengembangkan dan memproduksi ALD Planetary Susceptors berlapis SiC yang memenuhi persyaratan tinggi proses ALD untuk mendistribusikan aliran udara secara merata di atas substrat. Pada saat yang sama, lapisan CVD SiC dengan kemurnian tinggi dari Vetek Semiconductor memastikan kemurnian dalam prosesnya. Selamat datang untuk mendiskusikan kerjasama dengan kami.

mengirimkan permintaan

Deskripsi Produk

Sebagai produsen profesional, Vetek Semiconductor ingin memberi Anda ALD Planetary Susceptor yang dilapisi SiC.

Proses ALD, yang dikenal sebagai Atomic Layer Epitaxy, merupakan puncak presisi dalam teknologi pengendapan film tipis. Vetek Semiconductor, bekerja sama dengan produsen sistem ALD terkemuka, telah memelopori pengembangan dan pembuatan susceptor Planetary ALD berlapis SiC yang mutakhir. Susceptor inovatif ini telah dirancang dengan cermat untuk melampaui tuntutan ketat proses ALD, memastikan distribusi aliran udara yang seragam di seluruh substrat dengan akurasi dan efisiensi yang tak tertandingi.

Selain itu, komitmen Vetek Semiconductor terhadap keunggulan diwujudkan dengan penggunaan lapisan SiC CVD dengan kemurnian tinggi, yang menjamin tingkat kemurnian yang penting bagi keberhasilan setiap siklus pengendapan. Dedikasi terhadap kualitas ini tidak hanya meningkatkan keandalan proses namun juga meningkatkan kinerja keseluruhan dan reproduktifitas proses ALD dalam beragam aplikasi.

ALD System

Keuntungan Ikhtisar Teknologi ALD:

Kontrol Ketebalan yang Tepat: Mencapai ketebalan film sub-nanometer dengan kemampuan pengulangan yang sangat baik dengan mengontrol siklus pengendapan.

Kehalusan Permukaan: Kesesuaian 3D sempurna dan cakupan langkah 100% memastikan lapisan halus yang mengikuti kelengkungan media sepenuhnya.

Penerapan yang Luas: Dapat dilapisi pada berbagai objek mulai dari wafer hingga bubuk, cocok untuk bidang sensitif.

Properti Material yang Dapat Disesuaikan: Penyesuaian properti material yang mudah untuk oksida, nitrida, logam, dll.

Jendela Proses yang Luas: Ketidakpekaan terhadap variasi suhu atau prekursor, kondusif untuk produksi batch dengan keseragaman ketebalan lapisan yang sempurna.

Kami dengan hormat mengundang Anda untuk terlibat dalam dialog dengan kami guna mengeksplorasi potensi kolaborasi dan kemitraan. Bersama-sama, kita dapat membuka kemungkinan-kemungkinan baru dan mendorong inovasi dalam bidang teknologi pengendapan film tipis.

Sifat fisik dasar lapisan CVD SiC:

CVD SIC COATING FILM CRYSTAL STRUCTURE

Sifat fisik dasar lapisan CVD SiC
Milik	Nilai Khas
Struktur Kristal	Polikristalin fase β FCC, terutama berorientasi (111).
Kepadatan	3,21 gram/cm³
Kekerasan	Kekerasan Vickers 2500（beban 500g）
Ukuran Butir	2~10μm
Kemurnian Kimia	99,99995%
Kapasitas Panas	640J·kg^-1·K^-1
Suhu Sublimasi	2700℃
Kekuatan Lentur	415 MPa RT 4 titik
Modulus Young	tikungan 430 Gpa 4pt, 1300℃
Konduktivitas Termal	300W·m^-1·K^-1
Ekspansi Termal (CTE)	4,5×10^-6K^-1