Suseptor grafit pelapis CVD SiC

Susceptor grafit pelapis VeTek Semiconductor CVD SiC merupakan salah satu komponen penting dalam industri semikonduktor seperti pertumbuhan epitaksi dan pemrosesan wafer. Ini digunakan di MOCVD dan peralatan lainnya untuk mendukung pemrosesan dan penanganan wafer dan bahan presisi tinggi lainnya. VeTek Semiconductor memiliki kemampuan produksi dan manufaktur susceptor grafit berlapis SiC dan Susceptor Grafit Berlapis TaC terkemuka di Tiongkok, dan menantikan konsultasi Anda.

mengirimkan permintaan

Deskripsi Produk

Susceptor grafit pelapis CVD SiC dirancang khusus untuk manufaktur presisi tinggi di industri semikonduktor. Substrat grafit dilapisi dengan lapisan SiC dengan kemurnian tinggi melalui proses CVD, yang memiliki ketahanan suhu tinggi yang sangat baik, ketahanan korosi dan ketahanan oksidasi, dan dapat beroperasi secara stabil untuk waktu yang lama di lingkungan suhu tinggi dan vakum. Alas ini banyak digunakan pada MOCVD, PECVD, PVD dan peralatan lainnya untuk mendukung pemrosesan dan penanganan wafer dan material presisi tinggi lainnya.

Keuntungan inti:

● Stabilitas suhu tinggi: Grafit dengan kemurnian tinggi sendiri memiliki stabilitas termal yang sangat baik. Setelah dilapisi dengan lapisan SiC, ia dapat menahan lingkungan ekstrim bersuhu tinggi dan cocok untuk proses suhu tinggi dalam pemrosesan semikonduktor.
● Korosiresistensi ion: Lapisan CVD SiC tahan terhadap korosi asam dan alkali serta dapat memiliki masa pakai yang lama dalam proses CVD.
● tinggi hkekerasan dan ketahanan oksidasi: Lapisan CVD SiC memiliki kekerasan, ketahanan gores, dan ketahanan oksidasi yang sangat baik pada suhu tinggi untuk menjaga kestabilan material.
● Konduktivitas termal yang baik: Kombinasi substrat grafit dan susceptor lapisan CVD SiC membuat alasnya memiliki konduktivitas termal yang sangat baik, yang secara efektif dapat menghantarkan panas dan meningkatkan efisiensi produksi.

Spesifikasi Produk:

● Bahan: substrat grafit + lapisan CVD SiC
● Ketebalan lapisan: dapat disesuaikan sesuai kebutuhan pelanggan
● Lingkungan yang berlaku: suhu tinggi, vakum, lingkungan gas korosif

Layanan yang disesuaikan:

Kami menyediakan layanan yang sangat disesuaikan untuk memenuhi kebutuhan berbagai peralatan dan proses pelanggan. Menurut aplikasi spesifik pelanggan, basis grafit dengan ketebalan lapisan berbeda, perawatan permukaan, dan tingkat presisi dapat disediakan.

VeTekSemi selalu bekerja di industri pelapisan Silikon Karbida CVD dan memiliki tingkat produksi dan produksi dasar grafit pelapis CVD SiC yang terdepan di industri. Jika Anda memerlukan lebih banyak informasi produk atau layanan khusus, silakan hubungi VeTek Semiconductor, kami dengan sepenuh hati akan memberi Anda dukungan profesional.