> Produk > Lapisan Tantalum Karbida

produk baru

Cina Lapisan Tantalum Karbida Produsen, Pemasok, Pabrik

Semikonduktor VeTek adalah produsen terkemuka bahan Pelapis Tantalum Karbida untuk industri semikonduktor. Penawaran produk utama kami meliputi komponen pelapis tantalum karbida CVD, komponen pelapis TaC sinter untuk pertumbuhan kristal SiC, atau proses epitaksi semikonduktor. Lulus ISO9001, VeTek Semiconductor memiliki kontrol kualitas yang baik. VeTek Semiconductor berdedikasi untuk menjadi inovator dalam industri Pelapisan Tantalum Karbida melalui penelitian berkelanjutan dan pengembangan teknologi berulang.

Produk utamanya adalahCincin Panduan Dilapisi TaC, Cincin pemandu tiga kelopak berlapis CVD TaC, Halfmoon Dilapisi Tantalum Karbida TaC, Suseptor epitaksi planetary SiC yang dilapisi CVD TaC, Cincin Pelapis Tantalum Karbida, Grafit Berpori Dilapisi Tantalum Karbida, Suseptor Rotasi Lapisan TaC, Cincin Tantalum Karbida, Pelat Rotasi Lapisan TaC, Suseptor wafer berlapis TaC, Cincin Deflektor Dilapisi TaC, Penutup Lapisan CVD TaC, Chuck Dilapisi TaCdll., kemurniannya di bawah 5ppm, dapat memenuhi kebutuhan pelanggan.

Grafit pelapis TaC dibuat dengan melapisi permukaan substrat grafit dengan kemurnian tinggi dengan lapisan halus tantalum karbida melalui proses Deposisi Uap Kimia (CVD) yang dipatenkan. Keuntungannya ditunjukkan pada gambar di bawah ini:

Excellent properties of TaC coating graphite

Lapisan tantalum karbida (TaC) telah mendapat perhatian karena titik lelehnya yang tinggi hingga 3880°C, kekuatan mekanik yang sangat baik, kekerasan, dan ketahanan terhadap guncangan termal, menjadikannya alternatif yang menarik untuk proses epitaksi semikonduktor majemuk dengan persyaratan suhu lebih tinggi, seperti sistem Aixtron MOCVD dan proses epitaksi LPE SiC. Ini juga memiliki aplikasi luas dalam proses pertumbuhan kristal SiC metode PVT.

Fitur Utama:

●Stabilitas suhu

●Kemurnian sangat tinggi

●Ketahanan terhadap H2, NH3, SiH4,Si

●Ketahanan terhadap stok termal

●Daya rekat kuat pada grafit

●Cakupan lapisan konformal

● Ukuran diameter hingga 750 mm (Satu-satunya pabrikan di China yang mencapai ukuran ini)

Aplikasi:

●Pembawa wafer

● Penerima pemanasan induktif

● Elemen pemanas resistif

●Disk satelit

●Kepala pancuran

●Cincin panduan

●Penerima Epi LED

●Nozel injeksi

●Cincin penyamaran

● Pelindung panas

Lapisan Tantalum karbida (TaC) pada penampang mikroskopis:

the microscopic cross-section of Tantalum carbide (TaC) coating

Parameter Lapisan Tantalum Karbida Semikonduktor VeTek:

Sifat fisik lapisan TaC
Kepadatan	14,3 (g/cm³)
Emisivitas spesifik	0.3
Koefisien ekspansi termal	6.3 10^-6/K
Kekerasan (HK)	2000HK
Perlawanan	1×10^-5Ohm*cm
Stabilitas termal	<2500℃
Perubahan ukuran grafit	-10~-20um
Ketebalan lapisan	Nilai tipikal ≥20um (35um±10um)

Data EDX pelapisan TaC：

EDX data of TaC coating

Data struktur kristal pelapis TaC:

Elemen	Persen atom
	Pt. 1	Pt. 2	Pt. 3	Rata-rata
CK	52.10	57.41	52.37	53.96
Mereka	47.90	42.59	47.63	46.04

Chuck Pelapis TaC Disk Planet Lapisan TaC
Pelat Dilapisi TaC Pelat Rotasi Lapisan TaC Penerima lapisan TaC Penutup lapisan CVD TaC Cincin Pelapis CVD TaC Pelat Pelapis TaC

View as

Cincin Panduan Dilapisi TaC

Cincin Panduan Berlapis TaC terbuat dari grafit dan lapisan TaC berkualitas tinggi. Dalam pembuatan kristal SiC dengan metode PVT, cincin pemandu berlapis TaC VeTek Semiconductor terutama digunakan untuk memandu dan mengontrol aliran udara, mengoptimalkan proses pertumbuhan kristal tunggal, dan meningkatkan hasil kristal tunggal. Dengan teknologi pelapisan TaC yang sangat baik, produk kami memiliki ketahanan suhu tinggi yang sangat baik, ketahanan terhadap korosi dan sifat mekanik yang baik. Kami dengan tulus menyambut konsultasi Anda dan berharap dapat memberi Anda informasi produk dan dukungan teknis yang lebih rinci.

Baca selengkapnya mengirimkan permintaan

Disk Rotasi Planet Berlapis Tantalum Karbida

VeTek Semiconductor adalah produsen dan pemasok Disk Rotasi Planet Berlapis Tantalum Karbida terkemuka di Tiongkok, dengan fokus pada teknologi pelapisan TaC selama bertahun-tahun. Produk kami memiliki kemurnian tinggi dan ketahanan suhu tinggi yang sangat baik, yang diakui secara luas oleh produsen semikonduktor. Disk Rotasi Planet Berlapis Tantalum Karbida Semikonduktor VeTek telah menjadi tulang punggung industri epitaksi wafer. Kami berharap dapat menjalin kemitraan jangka panjang dengan Anda untuk bersama-sama mendorong kemajuan teknologi dan optimalisasi produksi.

Baca selengkapnya mengirimkan permintaan

Pembawa Wafer Grafit Dilapisi TaC

VeTek Semiconductor telah merancang Pembawa Wafer Grafit Berlapis TaC dengan cermat untuk pelanggan. Ini terdiri dari grafit dengan kemurnian tinggi dan lapisan TaC, yang cocok untuk berbagai pemrosesan wafer epitaksi wafer. Kami telah mengkhususkan diri dalam pelapisan SiC dan TaC selama bertahun-tahun. Dibandingkan dengan lapisan SiC, pembawa wafer grafit berlapis TaC kami memiliki ketahanan suhu yang lebih tinggi dan tahan aus. Kami berharap dapat menjadi mitra jangka panjang Anda di Tiongkok.

Baca selengkapnya mengirimkan permintaan

<...6 7 8 9 10 >

Sebagai produsen dan pemasok Lapisan Tantalum Karbida profesional di Tiongkok, kami memiliki pabrik sendiri. Apakah Anda memerlukan layanan khusus untuk memenuhi kebutuhan spesifik wilayah Anda atau ingin membeli Lapisan Tantalum Karbida canggih dan tahan lama buatan Tiongkok, Anda dapat meninggalkan pesan kepada kami.