Semikonduktor VeTek adalah produsen terkemuka bahan Pelapis Tantalum Karbida untuk industri semikonduktor. Penawaran produk utama kami meliputi komponen pelapis tantalum karbida CVD, komponen pelapis TaC sinter untuk pertumbuhan kristal SiC, atau proses epitaksi semikonduktor. Lulus ISO9001, VeTek Semiconductor memiliki kontrol kualitas yang baik. VeTek Semiconductor berdedikasi untuk menjadi inovator dalam industri Pelapisan Tantalum Karbida melalui penelitian berkelanjutan dan pengembangan teknologi berulang.
Produk utamanya adalahCincin pembelot pelapis Tantalum Carbide, cincin pengalih berlapis TaC, bagian halfmoon berlapis TaC, Disk Rotasi Planet Berlapis Tantalum Carbide (Aixtron G10), Wadah Berlapis TaC; Cincin Dilapisi TaC; Grafit Berpori Berlapis TaC; Suseptor Grafit Lapisan Karbida Tantalum; Cincin Panduan Dilapisi TaC; Pelat Dilapisi Tantalum Karbida TaC; Penerima Wafer Berlapis TaC; Cincin Pelapis TaC; Penutup Grafit Lapisan TaC; Potongan Dilapisi TaCdll., kemurniannya di bawah 5ppm, dapat memenuhi kebutuhan pelanggan.
Grafit pelapis TaC dibuat dengan melapisi permukaan substrat grafit dengan kemurnian tinggi dengan lapisan halus tantalum karbida melalui proses Deposisi Uap Kimia (CVD) yang dipatenkan. Keuntungannya ditunjukkan pada gambar di bawah ini:
Lapisan tantalum karbida (TaC) telah mendapat perhatian karena titik lelehnya yang tinggi hingga 3880°C, kekuatan mekanik yang sangat baik, kekerasan, dan ketahanan terhadap guncangan termal, menjadikannya alternatif yang menarik untuk proses epitaksi semikonduktor majemuk dengan persyaratan suhu lebih tinggi, seperti sistem Aixtron MOCVD dan proses epitaksi LPE SiC. Ini juga memiliki aplikasi luas dalam proses pertumbuhan kristal SiC metode PVT.
●Stabilitas suhu
●Kemurnian sangat tinggi
●Ketahanan terhadap H2, NH3, SiH4,Si
●Ketahanan terhadap stok termal
●Daya rekat kuat pada grafit
●Cakupan lapisan konformal
● Ukuran diameter hingga 750 mm (Satu-satunya pabrikan di China yang mencapai ukuran ini)
● Penerima pemanasan induktif
● Elemen pemanas resistif
● Pelindung panas
Sifat fisik lapisan TaC | |
Kepadatan | 14,3 (g/cm³) |
Emisivitas spesifik | 0.3 |
Koefisien ekspansi termal | 6.3 10-6/K |
Kekerasan (HK) | 2000HK |
Perlawanan | 1×10-5Ohm*cm |
Stabilitas termal | <2500℃ |
Perubahan ukuran grafit | -10~-20um |
Ketebalan lapisan | Nilai tipikal ≥20um (35um±10um) |
Elemen | Persen atom | |||
Pt. 1 | Pt. 2 | Pt. 3 | Rata-rata | |
CK | 52.10 | 57.41 | 52.37 | 53.96 |
Mereka | 47.90 | 42.59 | 47.63 | 46.04 |
VeTek Semiconductor adalah produsen dan inovator Cincin Tiga Kelopak Berlapis TaC terkemuka di China. Kami telah mengkhususkan diri dalam pelapisan TaC dan SiC selama bertahun-tahun. Produk kami memiliki ketahanan terhadap korosi, kekuatan tinggi. Kami berharap dapat menjadi mitra jangka panjang Anda di Tiongkok.
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanVeTek Semiconductor adalah produsen dan inovator Tantalum Carbide Coated Chuck terkemuka di China. Kami telah mengkhususkan diri dalam pelapisan TaC selama bertahun-tahun. Produk kami memiliki kemurnian tinggi dan ketahanan suhu tinggi hingga 2000 ℃. Kami berharap dapat menjadi jangka panjang Anda mitra di Tiongkok.
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanVeTek Semiconductor adalah produsen dan inovator Tantalum Carbide Coated Cover terkemuka di China. Kami telah mengkhususkan diri dalam pelapisan TaC dan SiC selama bertahun-tahun. Produk kami memiliki ketahanan terhadap korosi, kekuatan tinggi. Kami berharap dapat menjadi mitra jangka panjang Anda di Tiongkok.
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanVeTek Semiconductor adalah pemasok terkemuka Halfmoon Bawah Grafit Ultra Murni yang disesuaikan di Tiongkok, yang mengkhususkan diri pada material canggih selama bertahun-tahun. Halfmoon Bawah Grafit Ultra Murni kami dirancang khusus untuk peralatan epitaksi SiC, memastikan kinerja yang sangat baik. Terbuat dari grafit impor ultra murni, ia menawarkan keandalan dan daya tahan. Kunjungi pabrik kami di Tiongkok untuk menjelajahi Halfmoon Bawah Grafit Ultra Murni kami yang berkualitas tinggi secara langsung.
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanVeTek Semiconductor adalah pemasok terkemuka SiC Bagian Halfmoon Atas yang dilapisi khusus di Tiongkok, yang mengkhususkan diri pada material canggih selama lebih dari 20 tahun. VeTek Semiconductor Upper Halfmoon Part SiC dilapisi dirancang khusus untuk peralatan epitaksi SiC, berfungsi sebagai komponen penting dalam ruang reaksi. Terbuat dari grafit tingkat semikonduktor ultra murni, memastikan kinerja luar biasa. Kami mengundang Anda untuk mengunjungi pabrik kami di Cina.
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanVeTek Semiconductor adalah pemasok Wafer Epitaxy Silicon Carbide terkemuka yang disesuaikan di China. Kami telah mengkhususkan diri dalam material canggih lebih dari 20 tahun. Pembawa Wafer Epitaxy Silikon Karbida ini adalah bagian penting yang dilapisi SiC pada bagian setengah bulan, tahan suhu tinggi, tahan oksidasi, tahan aus. Kami menyambut Anda untuk mengunjungi pabrik kami di Cina.
Baca selengkapnyamengirimkan permintaan