Semikonduktor VeTek adalah produsen terkemuka bahan Pelapis Tantalum Karbida untuk industri semikonduktor. Penawaran produk utama kami meliputi komponen pelapis tantalum karbida CVD, komponen pelapis TaC sinter untuk pertumbuhan kristal SiC, atau proses epitaksi semikonduktor. Lulus ISO9001, VeTek Semiconductor memiliki kontrol kualitas yang baik. VeTek Semiconductor berdedikasi untuk menjadi inovator dalam industri Pelapisan Tantalum Karbida melalui penelitian berkelanjutan dan pengembangan teknologi berulang.
Produk utamanya adalahCincin pembelot pelapis Tantalum Carbide, cincin pengalih berlapis TaC, bagian halfmoon berlapis TaC, Disk Rotasi Planet Berlapis Tantalum Carbide (Aixtron G10), Wadah Berlapis TaC; Cincin Dilapisi TaC; Grafit Berpori Berlapis TaC; Suseptor Grafit Lapisan Karbida Tantalum; Cincin Panduan Dilapisi TaC; Pelat Dilapisi Tantalum Karbida TaC; Penerima Wafer Berlapis TaC; Cincin Pelapis TaC; Penutup Grafit Lapisan TaC; Potongan Dilapisi TaCdll., kemurniannya di bawah 5ppm, dapat memenuhi kebutuhan pelanggan.
Grafit pelapis TaC dibuat dengan melapisi permukaan substrat grafit dengan kemurnian tinggi dengan lapisan halus tantalum karbida melalui proses Deposisi Uap Kimia (CVD) yang dipatenkan. Keuntungannya ditunjukkan pada gambar di bawah ini:
Lapisan tantalum karbida (TaC) telah mendapat perhatian karena titik lelehnya yang tinggi hingga 3880°C, kekuatan mekanik yang sangat baik, kekerasan, dan ketahanan terhadap guncangan termal, menjadikannya alternatif yang menarik untuk proses epitaksi semikonduktor majemuk dengan persyaratan suhu lebih tinggi, seperti sistem Aixtron MOCVD dan proses epitaksi LPE SiC. Ini juga memiliki aplikasi luas dalam proses pertumbuhan kristal SiC metode PVT.
●Stabilitas suhu
●Kemurnian sangat tinggi
●Ketahanan terhadap H2, NH3, SiH4,Si
●Ketahanan terhadap stok termal
●Daya rekat kuat pada grafit
●Cakupan lapisan konformal
● Ukuran diameter hingga 750 mm (Satu-satunya pabrikan di China yang mencapai ukuran ini)
● Penerima pemanasan induktif
● Elemen pemanas resistif
● Pelindung panas
Sifat fisik lapisan TaC | |
Kepadatan | 14,3 (g/cm³) |
Emisivitas spesifik | 0.3 |
Koefisien ekspansi termal | 6.3 10-6/K |
Kekerasan (HK) | 2000HK |
Perlawanan | 1×10-5Ohm*cm |
Stabilitas termal | <2500℃ |
Perubahan ukuran grafit | -10~-20um |
Ketebalan lapisan | Nilai tipikal ≥20um (35um±10um) |
Elemen | Persen atom | |||
Pt. 1 | Pt. 2 | Pt. 3 | Rata-rata | |
CK | 52.10 | 57.41 | 52.37 | 53.96 |
Mereka | 47.90 | 42.59 | 47.63 | 46.04 |
Cincin Pelapis CVD TaC VeTek Semiconductor adalah komponen sangat menguntungkan yang dirancang untuk memenuhi persyaratan proses pertumbuhan kristal silikon karbida (SiC). Cincin Pelapis CVD TaC memberikan ketahanan suhu tinggi dan kelembaman bahan kimia yang luar biasa, menjadikannya pilihan ideal untuk lingkungan yang ditandai dengan suhu tinggi dan kondisi korosif. Kami berkomitmen untuk menyediakan produk berkualitas dengan harga bersaing dan berharap dapat menjadi mitra jangka panjang Anda Di Tiongkok.
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanLPE SiC Epi Halfmoon oleh VeTek Semiconductor, produk revolusioner yang dirancang untuk meningkatkan proses epitaksi SiC reaktor LPE. Solusi mutakhir ini menawarkan beberapa fitur utama yang memastikan kinerja dan efisiensi unggul di seluruh operasi manufaktur Anda. Saya berharap dapat menjalin kerja sama jangka panjang dengan Anda.
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanVeTek Semiconductor adalah pemasok terkemuka pelapis TaC dan komponen grafit pelapis SiC. Kami berspesialisasi dalam produksi Susceptors EPI LED mutakhir, yang penting untuk proses epitaksi LED. Dengan fokus kuat pada inovasi dan kualitas, kami menawarkan solusi andal yang memenuhi persyaratan ketat industri LED. Hubungi kami hari ini untuk mendiskusikan pertanyaan Anda dan mengetahui bagaimana produk kami dapat meningkatkan proses produksi Anda.
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanVeTek Semiconductor adalah pemasok komprehensif yang terlibat dalam penelitian, pengembangan, produksi, desain, dan penjualan pelapis TaC dan komponen pelapis SiC. Keahlian kami terletak pada produksi Susceptor MOCVD yang canggih dengan Lapisan TaC, yang memainkan peran penting dalam proses epitaksi LED. Kami menyambut Anda untuk berdiskusi dengan kami pertanyaan dan informasi lebih lanjut.
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanVeTek Semiconductor adalah pemasok terintegrasi yang bergerak dalam penelitian dan pengembangan, produksi, desain, dan penjualan pelapis TaC. Kami mengkhususkan diri dalam pembuatan Susceptors LED UV TaC Coated yang canggih, yang merupakan komponen penting dalam proses epitaksi LED. Susceptor LED UV Dalam Berlapis TaC kami menawarkan konduktivitas termal yang tinggi, kekuatan mekanik yang tinggi, peningkatan efisiensi produksi, dan perlindungan wafer epitaksi. Selamat datang untuk menanyakan kami.
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanVeTek Semiconductor adalah produsen dan pemasok terkemuka di China untuk Tantalum Carbide TaC Coated Halfmoon, kami mengkhususkan diri dalam R&D dan produksi, dapat mengontrol kualitas dengan baik dan menawarkan harga yang kompetitif. Anda dipersilakan untuk mengunjungi pabrik kami untuk diskusi lebih lanjut mengenai kerjasama jangka panjang.
Baca selengkapnyamengirimkan permintaan