Semikonduktor VeTek adalah produsen terkemuka bahan Pelapis Tantalum Karbida untuk industri semikonduktor. Penawaran produk utama kami meliputi komponen pelapis tantalum karbida CVD, komponen pelapis TaC sinter untuk pertumbuhan kristal SiC, atau proses epitaksi semikonduktor. Lulus ISO9001, VeTek Semiconductor memiliki kontrol kualitas yang baik. VeTek Semiconductor berdedikasi untuk menjadi inovator dalam industri Pelapisan Tantalum Karbida melalui penelitian berkelanjutan dan pengembangan teknologi berulang.
Produk utamanya adalahCincin pembelot pelapis Tantalum Carbide, cincin pengalih berlapis TaC, bagian halfmoon berlapis TaC, Disk Rotasi Planet Berlapis Tantalum Carbide (Aixtron G10), Wadah Berlapis TaC; Cincin Dilapisi TaC; Grafit Berpori Berlapis TaC; Suseptor Grafit Lapisan Karbida Tantalum; Cincin Panduan Dilapisi TaC; Pelat Dilapisi Tantalum Karbida TaC; Penerima Wafer Berlapis TaC; Cincin Pelapis TaC; Penutup Grafit Lapisan TaC; Potongan Dilapisi TaCdll., kemurniannya di bawah 5ppm, dapat memenuhi kebutuhan pelanggan.
Grafit pelapis TaC dibuat dengan melapisi permukaan substrat grafit dengan kemurnian tinggi dengan lapisan halus tantalum karbida melalui proses Deposisi Uap Kimia (CVD) yang dipatenkan. Keuntungannya ditunjukkan pada gambar di bawah ini:
Lapisan tantalum karbida (TaC) telah mendapat perhatian karena titik lelehnya yang tinggi hingga 3880°C, kekuatan mekanik yang sangat baik, kekerasan, dan ketahanan terhadap guncangan termal, menjadikannya alternatif yang menarik untuk proses epitaksi semikonduktor majemuk dengan persyaratan suhu lebih tinggi, seperti sistem Aixtron MOCVD dan proses epitaksi LPE SiC. Ini juga memiliki aplikasi luas dalam proses pertumbuhan kristal SiC metode PVT.
●Stabilitas suhu
●Kemurnian sangat tinggi
●Ketahanan terhadap H2, NH3, SiH4,Si
●Ketahanan terhadap stok termal
●Daya rekat kuat pada grafit
●Cakupan lapisan konformal
● Ukuran diameter hingga 750 mm (Satu-satunya pabrikan di China yang mencapai ukuran ini)
● Penerima pemanasan induktif
● Elemen pemanas resistif
● Pelindung panas
Sifat fisik lapisan TaC | |
Kepadatan | 14,3 (g/cm³) |
Emisivitas spesifik | 0.3 |
Koefisien ekspansi termal | 6.3 10-6/K |
Kekerasan (HK) | 2000HK |
Perlawanan | 1×10-5Ohm*cm |
Stabilitas termal | <2500℃ |
Perubahan ukuran grafit | -10~-20um |
Ketebalan lapisan | Nilai tipikal ≥20um (35um±10um) |
Elemen | Persen atom | |||
Pt. 1 | Pt. 2 | Pt. 3 | Rata-rata | |
CK | 52.10 | 57.41 | 52.37 | 53.96 |
Mereka | 47.90 | 42.59 | 47.63 | 46.04 |
Grafit Berpori dengan TaC Coated adalah bahan pemrosesan semikonduktor canggih yang disediakan oleh VeTek Semiconductor. Grafit Berpori dengan Lapisan TaC menggabungkan keunggulan grafit berpori dan lapisan tantalum karbida (TaC), dengan konduktivitas termal dan permeabilitas gas yang baik. VeTek Semiconductor berkomitmen untuk menyediakan produk berkualitas dengan harga bersaing, dan kami berharap dapat menjadi mitra jangka panjang Anda di Tiongkok.
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanVeTek Semiconductor adalah produsen dan inovator terkemuka Tantalum Carbide Coating Cover di Cina. Kami fokus pada penyediaan produk tantalum karbida dengan kemurnian tinggi dan tahan suhu tinggi. Penutup berlapis tantalum karbida kami memiliki kinerja dan keandalan yang sangat baik, dan dapat secara efektif melindungi material dalam suhu yang sangat tinggi dan lingkungan korosif. Kami berharap dapat menjadi mitra jangka panjang Anda di Tiongkok.
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanCincin Deflektor Berlapis TaC Semikonduktor VeTek adalah komponen yang sangat khusus yang dirancang untuk proses pertumbuhan kristal SiC. Lapisan TaC memberikan ketahanan suhu tinggi dan kelembaman kimia yang sangat baik untuk mengatasi suhu tinggi dan lingkungan korosif selama proses pertumbuhan kristal. Hal ini menjamin kinerja yang stabil dan masa pakai komponen yang lama, sehingga mengurangi frekuensi penggantian dan waktu henti. Kami berkomitmen untuk menyediakan produk berkualitas dengan harga bersaing dan berharap dapat menjadi mitra jangka panjang Anda di China.
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanVeTek Semiconductor adalah produsen dan inovator Tantalum Carbide Coated Tube untuk Pertumbuhan Kristal terkemuka di China. Kami telah mengkhususkan diri dalam pelapisan keramik selama bertahun-tahun. Produk kami memiliki kemurnian tinggi dan tahan suhu tinggi. Kami berharap dapat menjadi mitra jangka panjang Anda di Tiongkok.
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanVeTek Semiconductor adalah Cincin Dilapisi TaC skala besar untuk produsen dan inovator Reaktor Epitaksi SiC di China. Kami telah mengkhususkan diri dalam pelapisan TaC selama bertahun-tahun. Produk kami memiliki kemurnian tinggi, stabilitas tinggi, ketahanan korosi yang sangat baik, kekuatan ikatan yang tinggi. Kami melihat berharap untuk menjadi mitra jangka panjang Anda di Tiongkok.
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanVeTek Semiconductor adalah Part Halfmoon Dilapisi Tantalum Carbide berskala besar untuk produsen dan inovator LPE di China. Kami telah mengkhususkan diri dalam pelapisan TaC selama bertahun-tahun. Produk kami dapat menahan suhu di atas 2000 derajat Celcius, memperpanjang umur bahan habis pakai. Kami menantikannya untuk menjadi mitra jangka panjang Anda di Tiongkok.
Baca selengkapnyamengirimkan permintaan