Pelat Penopang Alas Lapisan TaC

VeTek Semiconductor adalah produsen & pemasok China yang terutama memproduksi susceptor pelapis CVD TaC, cincin saluran masuk, Wafer Chunck, dudukan berlapis TaC, Pelat Penopang Alas Lapisan TaC dengan pengalaman bertahun-tahun. Berharap untuk membangun hubungan bisnis dengan Anda.

Keramik TaC memiliki titik leleh hingga 3880℃, kekerasan tinggi (kekerasan Mohs 9 ~ 10), konduktivitas termal besar (22W·m-1·K−1), kekuatan lentur besar (340 ~ 400MPa), dan ekspansi termal kecil koefisien (6,6×10−6K−1), dan menunjukkan stabilitas termokimia yang sangat baik dan sifat fisik yang sangat baik. Ini memiliki kompatibilitas kimia dan mekanik yang baik dengan material komposit grafit dan C/C, sehingga lapisan TaC banyak digunakan dalam perlindungan termal ruang angkasa, pertumbuhan kristal tunggal dan reaktor epitaksi seperti Aixtron, reaktor LPE EPI di industri semikonduktor. Grafit berlapis TaC memiliki ketahanan korosi kimia yang lebih baik daripada tinta batu kosong atau grafit berlapis SiC, dapat digunakan secara stabil pada suhu tinggi 2200°, tidak bereaksi dengan banyak elemen logam, merupakan generasi ketiga dari pertumbuhan kristal tunggal semikonduktor, adegan etsa epitaksi dan wafer dari lapisan kinerja terbaik, dapat secara signifikan meningkatkan proses pengendalian suhu dan pengotor, Pembuatan wafer silikon karbida berkualitas tinggi dan wafer epitaksi terkait. Ini sangat cocok untuk menumbuhkan kristal tunggal GaN atau AlN pada peralatan MOCVD dan kristal tunggal SiC pada peralatan PVT, dan kualitas kristal tunggal yang ditanam jelas meningkat.

Pelapisan TaC dan pelapisan SiC Suku cadang yang dapat kami lakukan:

Parameter lapisan TaC:

Rantai Industri:

Toko Produksi