Pelat Rotasi Lapisan TaC

Pelat Rotasi lapisan TaC Semikonduktor VeTek memiliki komposisi kemurnian tinggi, kandungan pengotor kurang dari 5ppm, dan struktur padat dan seragam, yang banyak digunakan dalam sistem LPE EPI, sistem Aixtron, sistem Nuflare, sistem TEL CVD, sistem VEECO, TSI sistem.

Sifat mekanik yang sangat baik:

Kekerasan lapisan hingga 2300HV, dengan ketahanan aus yang sangat baik.

Daya rekat antara lapisan dan substrat kuat, dan tidak mudah rontok atau terkelupas.

Lapisan tersebut masih dapat menjaga stabilitas struktur yang baik pada suhu tinggi.

Ketahanan korosi yang sangat baik:

Material TaC sendiri memiliki stabilitas kimia dan ketahanan korosi yang sangat baik.

Lapisan semikonduktor VeTek bekerja dengan baik di berbagai lingkungan gas yang agresif.

Dapat secara efektif melindungi komponen internal peralatan dari kerusakan korosi.

Permukaan akhir yang tinggi:

Semikonduktor VeTek menggunakan proses pelapisan yang presisi untuk menghasilkan hasil akhir yang diinginkan.

Kekasaran permukaan yang rendah membantu mengurangi akumulasi dan pengendapan partikel.

Konsistensi pelapisan bagus:

Semikonduktor VeTekmemiliki sistem kontrol kualitas suara untuk memastikan kinerja yang konsisten antar batch.

Ketebalan lapisan merata dan tidak ada cacat lokal yang terlihat jelas.

Performa aplikasi praktis yang luar biasa:

Lapisan TaC semikonduktor VeTek banyak digunakan di banyak produsen peralatan epitaksi terkenal di dalam dan luar negeri.

Parameter Fisik Produk dari Pelat Rotasi Dilapisi TaC: