Bagian Halfmoon Dilapisi Tantalum Carbide untuk LPE

VeTek Semiconductor adalah Part Halfmoon Dilapisi Tantalum Carbide berskala besar untuk produsen dan inovator LPE di China. Kami telah mengkhususkan diri dalam pelapisan TaC selama bertahun-tahun. Produk kami dapat menahan suhu di atas 2000 derajat Celcius, memperpanjang umur bahan habis pakai. Kami menantikannya untuk menjadi mitra jangka panjang Anda di Tiongkok.

mengirimkan permintaan

Deskripsi Produk

Sebagai produsen profesional, VeTek Semiconductor ingin memberi Anda Bagian Halfmoon Dilapisi Tantalum Karbida berkualitas tinggi untuk LPE.

VeTek Semiconductor adalah pemimpin profesional China SiC, lapisan TaC, produsen SiC padat dengan kualitas tinggi dan harga yang wajar. Bagian Halfmoon Dilapisi Tantalum Carbide kami untuk LPE digunakan di ruang reaksi peralatan epitaksi horizontal dan vertikal untuk membawa substrat, pengatur suhu, panas pelestarian, ventilasi, perlindungan dan fungsi lainnya, untuk bersama-sama mengontrol ketebalan, doping, cacat dan karakteristik material lainnya dari pertumbuhan lapisan epitaksi SiC di dalam ruang reaksi.

Produk terkait Semikonduktor VeTek: halfmoon atas, halfmoon bawah, penutup pelindung, penutup insulasi, antarmuka pengalihan udara proses. Perusahaan kami berkomitmen untuk menyediakan kepada pelanggan rangkaian lengkap solusi komponen berlapis SiC dan berlapis TaC ruang reaksi.

Parameter produk Bagian Halfmoon Dilapisi Tantalum Carbide untuk LPE

Sifat fisik lapisan TaC
Kepadatan	14,3 (g/cm³)
Emisivitas spesifik	0.3
Koefisien ekspansi termal	6.3 10-6/K
Kekerasan (HK)	2000HK
Perlawanan	1×10-5 Ohm*cm
Stabilitas termal	<2500℃
Perubahan ukuran grafit	-10~-20um
Ketebalan lapisan	Nilai tipikal ≥20um (35um±10um)