Cincin Tiga Kelopak Dilapisi TaC

VeTek Semiconductor adalah produsen dan inovator Cincin Tiga Kelopak Berlapis TaC terkemuka di China. Kami telah mengkhususkan diri dalam pelapisan TaC dan SiC selama bertahun-tahun. Produk kami memiliki ketahanan terhadap korosi, kekuatan tinggi. Kami berharap dapat menjadi mitra jangka panjang Anda di Tiongkok.

mengirimkan permintaan

Deskripsi Produk

VeTek Semiconductor adalah produsen dan pemasok Cincin Tiga Kelopak TaC China profesional. Cincin Tiga Kelopak Dilapisi TaC digunakan dalam sistem deposisi Aixtron G10 untuk semikonduktor majemuk, epitaksi throughput tinggi G10-GaN 150/200 mm untuk daya GaN & RF aplikasi.

Lapisan VeTek Semiconductor TaC adalah generasi baru bahan tahan suhu tinggi, dengan stabilitas suhu tinggi yang lebih baik daripada SiC, sebagai lapisan tahan korosi, lapisan tahan oksidasi, lapisan tahan aus, dapat digunakan di lingkungan di atas 2000℃, banyak digunakan di bagian ujung panas suhu ultra-tinggi dirgantara, pertumbuhan kristal tunggal semikonduktor generasi ketiga dan bidang lainnya.

Fitur Produk:

1. Kemurnian tinggi, kandungan pengotor <5ppm

2. Tahan suhu tinggi, ketahanan korosi, kepadatan tinggi, kepadatan tinggi

3. Secara kimiawi inert terhadap amonia, hidrogen, silan dan silikon pada suhu tinggi dan memiliki stabilitas termal yang baik.

4. Tahan guncangan termal, dapat mempercepat siklus operasi

5. Adhesi grafit yang kuat memastikan masa pakai yang lama dan tidak ada delaminasi lapisan.

6. Toleransi dimensi yang ketat.

Aplikasi utama:

1. Pertumbuhan epitaksi

2. Pertumbuhan kristal tunggal

3. Pengalihan korosi suhu tinggi

4. Nosel tahan suhu tinggi dan oksidasi

5. Bilah turbin gas

Parameter produk Cincin Tiga Kelopak Dilapisi TaC

Sifat fisik lapisan TaC
Kepadatan	14,3 (g/cm³)
Emisivitas spesifik	0.3
Koefisien ekspansi termal	6.3 10-6/K
Kekerasan (HK)	2000HK
Perlawanan	1×10-5 Ohm*cm
Stabilitas termal	<2500℃
Perubahan ukuran grafit	-10~-20um
Ketebalan lapisan	Nilai tipikal ≥20um (35um±10um)