Susceptor MOCVD dengan Lapisan TaC

VeTek Semiconductor adalah produsen, pemasok, dan eksportir Tiongkok terkemuka yang berspesialisasi dalam Susceptor MOCVD dengan Lapisan TaC. Anda dipersilakan untuk datang ke pabrik kami untuk membeli Susceptor MOCVD terlaris terbaru, harga murah, dan berkualitas tinggi dengan Lapisan TaC. Kami berharap dapat bekerja sama dengan Anda.

Epitaksi LED menghadapi tantangan seperti kontrol kualitas kristal, pemilihan dan pencocokan material, desain dan optimalisasi struktural, kontrol dan konsistensi proses, serta efisiensi ekstraksi cahaya. Memilih bahan pembawa wafer epitaksi yang tepat sangatlah penting, dan melapisinya dengan lapisan tipis tantalum karbida (TaC) (lapisan TaC) memberikan keuntungan tambahan.

Saat memilih bahan pembawa wafer epitaksi, beberapa faktor utama perlu dipertimbangkan:

Toleransi suhu dan stabilitas kimia: Proses epitaksi LED melibatkan suhu tinggi dan mungkin melibatkan penggunaan bahan kimia. Oleh karena itu, penting untuk memilih bahan dengan toleransi suhu dan stabilitas kimia yang baik untuk menjamin stabilitas pembawa di lingkungan suhu tinggi dan kimia.

Kerataan permukaan dan ketahanan aus: Permukaan pembawa wafer epitaksi harus memiliki kerataan yang baik untuk memastikan kontak yang seragam dan pertumbuhan wafer epitaksi yang stabil. Selain itu, ketahanan aus penting untuk mencegah kerusakan permukaan dan abrasi.

Konduktivitas termal: Memilih bahan dengan konduktivitas termal yang baik membantu menghilangkan panas secara efektif, menjaga suhu pertumbuhan yang stabil untuk lapisan epitaksi dan meningkatkan stabilitas dan konsistensi proses.

Dalam hal ini, melapisi pembawa wafer epitaksi dengan TaC menawarkan keuntungan sebagai berikut:

Stabilitas suhu tinggi: Lapisan TaC menunjukkan stabilitas suhu tinggi yang sangat baik, memungkinkannya mempertahankan struktur dan kinerjanya selama proses epitaksi suhu tinggi dan memberikan toleransi suhu yang unggul.

Stabilitas kimia: Lapisan TaC tahan terhadap korosi dari bahan kimia dan atmosfer umum, melindungi bahan pembawa dari degradasi bahan kimia dan meningkatkan daya tahannya.

Kekerasan dan ketahanan aus: Lapisan TaC memiliki kekerasan dan ketahanan aus yang tinggi, memperkuat permukaan pembawa wafer epitaksi, mengurangi kerusakan dan keausan, serta memperpanjang umurnya.

Konduktivitas termal: Lapisan TaC menunjukkan konduktivitas termal yang baik, membantu pembuangan panas, mempertahankan suhu pertumbuhan yang stabil untuk lapisan epitaksi, dan meningkatkan stabilitas dan konsistensi proses.

Oleh karena itu, memilih pembawa wafer epitaksi dengan lapisan TaC membantu mengatasi tantangan epitaksi LED, memenuhi persyaratan suhu tinggi dan lingkungan kimia. Lapisan ini menawarkan keunggulan seperti stabilitas suhu tinggi, stabilitas kimia, kekerasan dan ketahanan aus, serta konduktivitas termal, berkontribusi terhadap peningkatan kinerja, masa pakai, dan efisiensi produksi pembawa wafer epitaksi.

Sifat fisik dasar lapisan TaC:

Toko Produksi Semikonduktor VeTek

Ikhtisar rantai industri epitaksi chip semikonduktor: