> Produk > Lapisan Tantalum Karbida

produk baru

Cina Lapisan Tantalum Karbida Produsen, Pemasok, Pabrik

Semikonduktor VeTek adalah produsen terkemuka bahan Pelapis Tantalum Karbida untuk industri semikonduktor. Penawaran produk utama kami meliputi komponen pelapis tantalum karbida CVD, komponen pelapis TaC sinter untuk pertumbuhan kristal SiC, atau proses epitaksi semikonduktor. Lulus ISO9001, VeTek Semiconductor memiliki kontrol kualitas yang baik. VeTek Semiconductor berdedikasi untuk menjadi inovator dalam industri Pelapisan Tantalum Karbida melalui penelitian berkelanjutan dan pengembangan teknologi berulang.

Produk utamanya adalahCincin pembelot pelapis Tantalum Carbide, cincin pengalih berlapis TaC, bagian halfmoon berlapis TaC, Disk Rotasi Planet Berlapis Tantalum Carbide (Aixtron G10), Wadah Berlapis TaC; Cincin Dilapisi TaC; Grafit Berpori Berlapis TaC; Suseptor Grafit Lapisan Karbida Tantalum; Cincin Panduan Dilapisi TaC; Pelat Dilapisi Tantalum Karbida TaC; Penerima Wafer Berlapis TaC; Cincin Pelapis TaC; Penutup Grafit Lapisan TaC; Potongan Dilapisi TaCdll., kemurniannya di bawah 5ppm, dapat memenuhi kebutuhan pelanggan.

Grafit pelapis TaC dibuat dengan melapisi permukaan substrat grafit dengan kemurnian tinggi dengan lapisan halus tantalum karbida melalui proses Deposisi Uap Kimia (CVD) yang dipatenkan. Keuntungannya ditunjukkan pada gambar di bawah ini:

Excellent properties of TaC coating graphite

Lapisan tantalum karbida (TaC) telah mendapat perhatian karena titik lelehnya yang tinggi hingga 3880°C, kekuatan mekanik yang sangat baik, kekerasan, dan ketahanan terhadap guncangan termal, menjadikannya alternatif yang menarik untuk proses epitaksi semikonduktor majemuk dengan persyaratan suhu lebih tinggi, seperti sistem Aixtron MOCVD dan proses epitaksi LPE SiC. Ini juga memiliki aplikasi luas dalam proses pertumbuhan kristal SiC metode PVT.

Fitur Utama:

●Stabilitas suhu

●Kemurnian sangat tinggi

●Ketahanan terhadap H2, NH3, SiH4,Si

●Ketahanan terhadap stok termal

●Daya rekat kuat pada grafit

●Cakupan lapisan konformal

● Ukuran diameter hingga 750 mm (Satu-satunya pabrikan di China yang mencapai ukuran ini)

Aplikasi:

●Pembawa wafer

● Penerima pemanasan induktif

● Elemen pemanas resistif

●Disk satelit

●Kepala pancuran

●Cincin panduan

●Penerima Epi LED

●Nosel injeksi

●Cincin penyamaran

● Pelindung panas

Lapisan Tantalum karbida (TaC) pada penampang mikroskopis:

the microscopic cross-section of Tantalum carbide (TaC) coating

Parameter Lapisan Tantalum Karbida Semikonduktor VeTek:

Sifat fisik lapisan TaC
Kepadatan	14,3 (g/cm³)
Emisivitas spesifik	0.3
Koefisien ekspansi termal	6.3 10^-6/K
Kekerasan (HK)	2000HK
Perlawanan	1×10^-5Ohm*cm
Stabilitas termal	<2500℃
Perubahan ukuran grafit	-10~-20um
Ketebalan lapisan	Nilai tipikal ≥20um (35um±10um)

Data EDX pelapisan TaC：

EDX data of TaC coating

Data struktur kristal pelapis TaC:

Elemen	Persen atom
	Pt. 1	Pt. 2	Pt. 3	Rata-rata
CK	52.10	57.41	52.37	53.96
Mereka	47.90	42.59	47.63	46.04

Chuck Pelapis TaC Disk Planet Lapisan TaC Pelat Dilapisi TaC Pelat Rotasi Lapisan TaC Penerima lapisan TaC Penutup lapisan CVD TaC Cincin Pelapis CVD TaC Pelat Pelapis TaC

View as

Suku Cadang Lapisan TaC

VeTek Semiconductor adalah produsen profesional Pelat Pelapis TaC dan suku cadang Pelapis TaC lainnya di Cina. Lapisan TaC saat ini terutama digunakan dalam proses seperti pertumbuhan kristal tunggal silikon karbida (metode PVT), disk epitaksi (termasuk epitaksi silikon karbida, epitaksi LED), dll. Dikombinasikan dengan stabilitas jangka panjang yang baik dari Pelat Pelapis TaC, VeTek Semiconductor TaC Coating Plate sudah menjadi patokan spare part TaC Coating. Kami menantikan Anda menjadi mitra jangka panjang kami.

Baca selengkapnya mengirimkan permintaan

GaN pada akseptor epi SiC

VeTek Semiconductor adalah produsen profesional GaN pada susceptor epi SiC, lapisan CVD SiC, dan susceptor grafit CVD TAC COATING di Cina. Diantaranya, GaN pada epi susceptor SiC memainkan peran penting dalam pemrosesan semikonduktor. Melalui konduktivitas termal yang sangat baik, kemampuan pemrosesan suhu tinggi, dan stabilitas kimia, ini memastikan efisiensi tinggi dan kualitas material dari proses pertumbuhan epitaksi GaN. Kami dengan tulus menantikan konsultasi Anda selanjutnya.

Baca selengkapnya mengirimkan permintaan

Pembawa Lapisan CVD TaC

Pembawa CVD TaC Coating VeTek Semiconductor terutama dirancang untuk proses epitaksi manufaktur semikonduktor. Titik leleh ultra-tinggi dari pembawa CVD TaC Coating, ketahanan terhadap korosi yang sangat baik, dan stabilitas termal yang luar biasa menentukan sangat diperlukannya produk ini dalam proses epitaksi semikonduktor. Kami dengan tulus berharap dapat membangun hubungan bisnis jangka panjang dengan Anda.

Baca selengkapnya mengirimkan permintaan

Cincin Panduan Pelapisan TaC

Cincin Panduan Pelapisan TaC Semikonduktor VeTek dibuat dengan menerapkan lapisan tantalum karbida ke bagian grafit menggunakan teknik canggih yang disebut deposisi uap kimia (CVD). Metode ini sudah mapan dan menawarkan sifat pelapisan yang luar biasa. Dengan memanfaatkan Cincin Panduan Pelapisan TaC, masa pakai komponen grafit dapat diperpanjang secara signifikan, pergerakan pengotor grafit dapat ditekan, dan kualitas kristal tunggal SiC dan AIN dapat dipertahankan dengan andal. Selamat datang untuk menanyakan kami.

Baca selengkapnya mengirimkan permintaan

Suseptor Grafit Berlapis TaC

Susceptor Grafit Berlapis TaC Semikonduktor VeTek menggunakan metode deposisi uap kimia (CVD) untuk menyiapkan lapisan tantalum karbida pada permukaan bagian grafit. Proses ini merupakan proses yang paling matang dan mempunyai sifat pelapisan terbaik. Susceptor Grafit Berlapis TaC dapat memperpanjang masa pakai komponen grafit, menghambat migrasi pengotor grafit, dan memastikan kualitas epitaksi. Semikonduktor VeTek menantikan pertanyaan Anda.

Baca selengkapnya mengirimkan permintaan

Penerima Lapisan TaC

VeTek Semiconductor menghadirkan TaC Coating Susceptor, Dengan lapisan TaC yang luar biasa, susceptor ini menawarkan banyak keunggulan yang membedakannya dari solusi konvensional. Terintegrasi secara mulus ke dalam sistem yang ada, TaC Coating Susceptor dari VeTek Semiconductor menjamin kompatibilitas dan pengoperasian yang efisien. Kinerjanya yang andal dan lapisan TaC berkualitas tinggi secara konsisten memberikan hasil luar biasa dalam proses epitaksi SiC. Kami berkomitmen untuk menyediakan produk berkualitas dengan harga bersaing dan berharap dapat menjadi mitra jangka panjang Anda di Tiongkok.

Baca selengkapnya mengirimkan permintaan

<...2 3 4 5 6...9 >

Sebagai produsen dan pemasok Lapisan Tantalum Karbida profesional di Tiongkok, kami memiliki pabrik sendiri. Apakah Anda memerlukan layanan khusus untuk memenuhi kebutuhan spesifik wilayah Anda atau ingin membeli Lapisan Tantalum Karbida canggih dan tahan lama buatan Tiongkok, Anda dapat meninggalkan pesan kepada kami.