Semikonduktor VeTek adalah produsen terkemuka bahan Pelapis Tantalum Karbida untuk industri semikonduktor. Penawaran produk utama kami meliputi komponen pelapis tantalum karbida CVD, komponen pelapis TaC sinter untuk pertumbuhan kristal SiC, atau proses epitaksi semikonduktor. Lulus ISO9001, VeTek Semiconductor memiliki kontrol kualitas yang baik. VeTek Semiconductor berdedikasi untuk menjadi inovator dalam industri Pelapisan Tantalum Karbida melalui penelitian berkelanjutan dan pengembangan teknologi berulang.
Produk utamanya adalahCincin pembelot pelapis Tantalum Carbide, cincin pengalih berlapis TaC, bagian halfmoon berlapis TaC, Disk Rotasi Planet Berlapis Tantalum Carbide (Aixtron G10), Wadah Berlapis TaC; Cincin Dilapisi TaC; Grafit Berpori Berlapis TaC; Suseptor Grafit Lapisan Karbida Tantalum; Cincin Panduan Dilapisi TaC; Pelat Dilapisi Tantalum Karbida TaC; Penerima Wafer Berlapis TaC; Cincin Pelapis TaC; Penutup Grafit Lapisan TaC; Potongan Dilapisi TaCdll., kemurniannya di bawah 5ppm, dapat memenuhi kebutuhan pelanggan.
Grafit pelapis TaC dibuat dengan melapisi permukaan substrat grafit dengan kemurnian tinggi dengan lapisan halus tantalum karbida melalui proses Deposisi Uap Kimia (CVD) yang dipatenkan. Keuntungannya ditunjukkan pada gambar di bawah ini:
Lapisan tantalum karbida (TaC) telah mendapat perhatian karena titik lelehnya yang tinggi hingga 3880°C, kekuatan mekanik yang sangat baik, kekerasan, dan ketahanan terhadap guncangan termal, menjadikannya alternatif yang menarik untuk proses epitaksi semikonduktor majemuk dengan persyaratan suhu lebih tinggi, seperti sistem Aixtron MOCVD dan proses epitaksi LPE SiC. Ini juga memiliki aplikasi luas dalam proses pertumbuhan kristal SiC metode PVT.
●Stabilitas suhu
●Kemurnian sangat tinggi
●Ketahanan terhadap H2, NH3, SiH4,Si
●Ketahanan terhadap stok termal
●Daya rekat kuat pada grafit
●Cakupan lapisan konformal
● Ukuran diameter hingga 750 mm (Satu-satunya pabrikan di China yang mencapai ukuran ini)
● Penerima pemanasan induktif
● Elemen pemanas resistif
● Pelindung panas
Sifat fisik lapisan TaC | |
Kepadatan | 14,3 (g/cm³) |
Emisivitas spesifik | 0.3 |
Koefisien ekspansi termal | 6.3 10-6/K |
Kekerasan (HK) | 2000HK |
Perlawanan | 1×10-5Ohm*cm |
Stabilitas termal | <2500℃ |
Perubahan ukuran grafit | -10~-20um |
Ketebalan lapisan | Nilai tipikal ≥20um (35um±10um) |
Elemen | Persen atom | |||
Pt. 1 | Pt. 2 | Pt. 3 | Rata-rata | |
CK | 52.10 | 57.41 | 52.37 | 53.96 |
Mereka | 47.90 | 42.59 | 47.63 | 46.04 |
Sebagai inovator profesional dan pemimpin produk Tantalum Carbide Coated Ring di Tiongkok, semikonduktor Tantalum Carbide Coated Ring VeTek memainkan peran yang tak tergantikan dalam pertumbuhan kristal SiC dengan ketahanan suhu tinggi yang sangat baik, ketahanan aus, dan konduktivitas termal yang sangat baik. Selamat datang konsultasi Anda lebih lanjut.
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanVeTek Semiconductor adalah produsen profesional dan pemimpin produk Porous Tantalum Carbide di Cina. Porous Tantalum Carbide biasanya diproduksi dengan metode deposisi uap kimia (CVD), memastikan kontrol yang tepat atas ukuran dan distribusi pori-porinya, dan merupakan alat material yang didedikasikan untuk lingkungan ekstrim bersuhu tinggi. Selamat datang konsultasi Anda lebih lanjut.
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanSebagai produsen maju dan produsen produk Cincin Tantalum Karbida di Cina, Cincin Tantalum Karbida Semikonduktor VeTek memiliki kekerasan yang sangat tinggi, ketahanan aus, ketahanan suhu tinggi dan stabilitas kimia, dan banyak digunakan di bidang manufaktur semikonduktor. Khususnya dalam CVD, PVD, proses implantasi ion, proses etsa, serta pemrosesan dan transportasi wafer, ini adalah produk yang sangat diperlukan untuk pemrosesan dan manufaktur semikonduktor. Menantikan konsultasi Anda selanjutnya.
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanSebagai produsen dan pabrik produk Tantalum Carbide Coating Support profesional di China, VeTek Semiconductor Tantalum Carbide Coating Support biasanya digunakan untuk pelapisan permukaan komponen struktural atau komponen pendukung pada peralatan semikonduktor, terutama untuk perlindungan permukaan komponen peralatan utama dalam proses manufaktur semikonduktor seperti sebagai CVD dan PVD. Selamat datang konsultasi Anda lebih lanjut.
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanVeTek Semiconductor adalah produsen profesional dan pemimpin produk Cincin Panduan Tantalum Carbide di Cina. Cincin Pemandu Tantalum Karbida (TaC) kami adalah komponen cincin berkinerja tinggi yang terbuat dari tantalum karbida, yang biasa digunakan dalam peralatan pemrosesan semikonduktor, terutama di lingkungan bersuhu tinggi dan sangat korosif seperti CVD, PVD, etsa, dan difusi. VeTek Semiconductor berkomitmen untuk menyediakan teknologi canggih dan solusi produk untuk industri semikonduktor, dan menyambut pertanyaan Anda lebih lanjut.
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanSebagai produsen profesional, inovator dan pemimpin produk Susceptor Rotasi Lapisan TaC di Cina. Susceptor Rotasi Pelapisan TaC Semikonduktor VeTek biasanya dipasang pada peralatan deposisi uap kimia (CVD) dan epitaksi berkas molekul (MBE) untuk mendukung dan memutar wafer guna memastikan deposisi material yang seragam dan reaksi yang efisien. Ini adalah komponen kunci dalam pemrosesan semikonduktor. Selamat datang konsultasi Anda lebih lanjut.
Baca selengkapnyamengirimkan permintaan