> Produk > Lapisan Tantalum Karbida

produk baru

Cina Lapisan Tantalum Karbida Produsen, Pemasok, Pabrik

Semikonduktor VeTek adalah produsen terkemuka bahan Pelapis Tantalum Karbida untuk industri semikonduktor. Penawaran produk utama kami meliputi komponen pelapis tantalum karbida CVD, komponen pelapis TaC sinter untuk pertumbuhan kristal SiC, atau proses epitaksi semikonduktor. Lulus ISO9001, VeTek Semiconductor memiliki kontrol kualitas yang baik. VeTek Semiconductor berdedikasi untuk menjadi inovator dalam industri Pelapisan Tantalum Karbida melalui penelitian berkelanjutan dan pengembangan teknologi berulang.

Produk utamanya adalahCincin pembelot pelapis Tantalum Carbide, cincin pengalih berlapis TaC, bagian halfmoon berlapis TaC, Disk Rotasi Planet Berlapis Tantalum Carbide (Aixtron G10), Wadah Berlapis TaC; Cincin Dilapisi TaC; Grafit Berpori Berlapis TaC; Suseptor Grafit Lapisan Karbida Tantalum; Cincin Panduan Dilapisi TaC; Pelat Dilapisi Tantalum Karbida TaC; Penerima Wafer Berlapis TaC; Cincin Pelapis TaC; Penutup Grafit Lapisan TaC; Potongan Dilapisi TaCdll., kemurniannya di bawah 5ppm, dapat memenuhi kebutuhan pelanggan.

Grafit pelapis TaC dibuat dengan melapisi permukaan substrat grafit dengan kemurnian tinggi dengan lapisan halus tantalum karbida melalui proses Deposisi Uap Kimia (CVD) yang dipatenkan. Keuntungannya ditunjukkan pada gambar di bawah ini:

Excellent properties of TaC coating graphite

Lapisan tantalum karbida (TaC) telah mendapat perhatian karena titik lelehnya yang tinggi hingga 3880°C, kekuatan mekanik yang sangat baik, kekerasan, dan ketahanan terhadap guncangan termal, menjadikannya alternatif yang menarik untuk proses epitaksi semikonduktor majemuk dengan persyaratan suhu lebih tinggi, seperti sistem Aixtron MOCVD dan proses epitaksi LPE SiC. Ini juga memiliki aplikasi luas dalam proses pertumbuhan kristal SiC metode PVT.

Fitur Utama:

●Stabilitas suhu

●Kemurnian sangat tinggi

●Ketahanan terhadap H2, NH3, SiH4,Si

●Ketahanan terhadap stok termal

●Daya rekat kuat pada grafit

●Cakupan lapisan konformal

● Ukuran diameter hingga 750 mm (Satu-satunya pabrikan di China yang mencapai ukuran ini)

Aplikasi:

●Pembawa wafer

● Penerima pemanasan induktif

● Elemen pemanas resistif

●Disk satelit

●Kepala pancuran

●Cincin panduan

●Penerima Epi LED

●Nosel injeksi

●Cincin penyamaran

● Pelindung panas

Lapisan Tantalum karbida (TaC) pada penampang mikroskopis:

the microscopic cross-section of Tantalum carbide (TaC) coating

Parameter Lapisan Tantalum Karbida Semikonduktor VeTek:

Sifat fisik lapisan TaC
Kepadatan	14,3 (g/cm³)
Emisivitas spesifik	0.3
Koefisien ekspansi termal	6.3 10^-6/K
Kekerasan (HK)	2000HK
Perlawanan	1×10^-5Ohm*cm
Stabilitas termal	<2500℃
Perubahan ukuran grafit	-10~-20um
Ketebalan lapisan	Nilai tipikal ≥20um (35um±10um)

Data EDX pelapisan TaC：

EDX data of TaC coating

Data struktur kristal pelapis TaC:

Elemen	Persen atom
	Pt. 1	Pt. 2	Pt. 3	Rata-rata
CK	52.10	57.41	52.37	53.96
Mereka	47.90	42.59	47.63	46.04

Chuck Pelapis TaC Disk Planet Lapisan TaC Pelat Dilapisi TaC Pelat Rotasi Lapisan TaC Penerima lapisan TaC Penutup lapisan CVD TaC Cincin Pelapis CVD TaC Pelat Pelapis TaC

View as

Wadah Pelapis CVD TaC

VeTek Semiconductor adalah produsen profesional dan pemimpin produk CVD TaC Coating Crucible di Cina. Wadah Pelapis CVD TaC didasarkan pada lapisan karbon tantalum (TaC). Lapisan karbon tantalum dilapisi secara merata pada permukaan wadah melalui proses deposisi uap kimia (CVD) untuk meningkatkan ketahanan panas dan ketahanan korosi. Ini adalah alat material yang khusus digunakan di lingkungan ekstrim bersuhu tinggi. Selamat datang konsultasi Anda lebih lanjut.

Baca selengkapnya mengirimkan permintaan

Pembawa Wafer Pelapis CVD TaC

Sebagai produsen dan pabrik produk CVD TaC Coating Wafer Carrier profesional di China, VeTek Semiconductor CVD TaC Coating Wafer Carrier adalah alat pembawa wafer yang dirancang khusus untuk suhu tinggi dan lingkungan korosif dalam manufaktur semikonduktor. dan CVD TaC Coating Wafer Carrier memiliki kekuatan mekanik yang tinggi, ketahanan korosi yang sangat baik, dan stabilitas termal, memberikan jaminan yang diperlukan untuk pembuatan perangkat semikonduktor berkualitas tinggi. Pertanyaan lebih lanjut Anda dipersilakan.

Baca selengkapnya mengirimkan permintaan

Pemanas Lapisan TaC

VeTek Semiconductor adalah produsen dan inovator TaC Coating Heater terkemuka di Cina. Produk ini memiliki titik leleh yang sangat tinggi (sekitar 3880°C). Titik leleh TaC Coating Heater yang tinggi memungkinkannya beroperasi pada suhu yang sangat tinggi, terutama pada pertumbuhan lapisan epitaksi galium nitrida (GaN) dalam proses pengendapan uap kimia organik logam (MOCVD). VeTek Semiconductor berkomitmen untuk menyediakan teknologi canggih dan solusi produk untuk industri semikonduktor. Kami berharap dapat menjadi mitra jangka panjang Anda di Tiongkok.

Baca selengkapnya mengirimkan permintaan

Chuck Dilapisi TaC

Sebagai produsen dan pemasok TaC Coated Chuck profesional di China, TaC Coating Chuck VeTek Semiconductor dirancang khusus untuk tungku semikonduktor. Dengan ketahanan suhu tinggi, kelembaman kimia, dan kinerja luar biasa, teknologi inovatif Vetek Semiconductor memberikan solusi andal bagi industri manufaktur semikonduktor untuk memastikan standar produksi berkualitas tinggi. Kami percaya bahwa produk kami dapat memberi Anda teknologi canggih dan solusi produk berkualitas tinggi.

Baca selengkapnya mengirimkan permintaan

Tabung Pelapis TaC

Sebagai produsen dan pemasok Tabung Pelapis TaC profesional di Cina, tabung pelapis TaC Semikonduktor VeTek adalah komponen kunci untuk keberhasilan pertumbuhan kristal tunggal silikon karbida. Dengan ketahanan suhu tinggi, kelembaman kimia, dan kinerja luar biasa, ini memastikan produksi kristal berkualitas tinggi dengan hasil yang konsisten. Percayai solusi inovatif kami untuk meningkatkan proses pertumbuhan kristal SiC metode PVT Anda dan mencapai hasil yang luar biasa. Selamat datang untuk bertanya kepada kami.

Baca selengkapnya mengirimkan permintaan

Lapisan CVD TAC

VeTek Semiconductor adalah produsen terkemuka, inovator dan pemimpin CVD TAC Coating di Cina. Selama bertahun-tahun, kami telah berfokus pada berbagai produk CVD TAC Coating seperti penutup pelapis CVD TaC, Cincin Pelapis CVD TaC, pembawa Pelapis CVD TaC, dll. VeTek Semiconductor mendukung layanan produk yang disesuaikan dan harga produk yang memuaskan, dan menantikan masa depan Anda konsultasi.

Baca selengkapnya mengirimkan permintaan

<1 2 3 4 5...9 >

Sebagai produsen dan pemasok Lapisan Tantalum Karbida profesional di Tiongkok, kami memiliki pabrik sendiri. Apakah Anda memerlukan layanan khusus untuk memenuhi kebutuhan spesifik wilayah Anda atau ingin membeli Lapisan Tantalum Karbida canggih dan tahan lama buatan Tiongkok, Anda dapat meninggalkan pesan kepada kami.