Suku Cadang Lapisan TaC

VeTek Semiconductor adalah produsen profesional Pelat Pelapis TaC dan suku cadang Pelapis TaC lainnya di Cina. Lapisan TaC saat ini terutama digunakan dalam proses seperti pertumbuhan kristal tunggal silikon karbida (metode PVT), disk epitaksi (termasuk epitaksi silikon karbida, epitaksi LED), dll. Dikombinasikan dengan stabilitas jangka panjang yang baik dari Pelat Pelapis TaC, VeTek Semiconductor TaC Coating Plate sudah menjadi patokan spare part TaC Coating. Kami menantikan Anda menjadi mitra jangka panjang kami.

mengirimkan permintaan

Deskripsi Produk

Semikonduktor VeTekPelat Pelapis TaCadalah bahan khusus yang banyak digunakan disemikonduktorproses manufaktur. Dikombinasikan dengan kekerasan tinggi dan ketahanan aus, ketahanan suhu tinggi, ketahanan korosi, koefisien gesekan rendah dan konduktivitas termal yang baik, Pelat Pelapis TaC memainkan peran yang tak tergantikan dalam banyak bidang pemrosesan semikonduktor.

Umumnya, aplikasi dariPelat berlapis TaCdalam pemrosesan semikonduktor adalah sebagai berikut:

Substrat pertumbuhan CVD/ALD: Ketahanan suhu tinggi, stabilitas kimia, dan koefisien gesekan rendah dari pelat berlapis TaC menjadikannya substrat pertumbuhan CVD/ALD yang ideal. Ini dapat menyediakan lingkungan pertumbuhan yang stabil untuk memastikan keseragaman dan kepadatan film.

Mengetsa pelat topeng: Kekerasan tinggi dan ketahanan korosi pada pelat berlapis TaC memungkinkan pelat tersebut tahan terhadap proses berenergi tinggi seperti pengetsaan plasma, sebagai pelat topeng pengetsaan, dan melindungi film di bawahnya.

Bantalan pemoles CMP: Ketahanan aus dan koefisien gesekan yang rendah pada pelat berlapis TaC menjadikannya bahan yang ideal untuk bantalan pemoles CMP, yang secara efektif dapat menghilangkan partikel dan cacat pada permukaan film.

Tabung tungku suhu tinggi: Ketahanan suhu tinggi dan ketahanan korosi pada pelat berlapis TaC memungkinkan pelat tersebut digunakan sebagai tabung tungku dalam tungku suhu tinggi untuk anil suhu tinggi, difusi, dan proses lainnya.

Dikombinasikan dengan karakteristik produkPelat Pelapis TaC, hal ini menentukan bahwa produk ini memainkan peran kunci yang tak tergantikan dalam meningkatkan kinerja perangkat, memperpanjang umur peralatan, dan meningkatkan efisiensi produksi.

Sebagai produsen profesionalGaN pada akseptor epi SiC, Grafit BerporiDanPelat Pelapis TaCdi Tiongkok, VeTek Semiconductor selalu bersikeras menyediakan layanan produk yang disesuaikan, dan berkomitmen untuk menyediakan teknologi dan solusi produk terbaik bagi industri. Kami dengan tulus menantikan konsultasi Anda selanjutnya.

Parameter Teknis PELAPISAN TAC CVD：