Cincin Dilapisi Tantalum Karbida

Cincin Dilapisi Tantalum Karbida semikonduktor VeTek dibuat darigrafitdan dilapisi dengan tantalum karbida, kombinasi yang memanfaatkan sifat terbaik dari kedua material untuk memastikan kinerja unggul dan umur panjang. 

Lapisan TaC pada Cincin Pelapis Tantalum Karbida memastikan lapisan tersebut tetap inert secara kimiawi di atmosfer reaktif tungku pertumbuhan kristal SiC, yang sering kali melibatkan gas seperti hidrogen, argon, dan nitrogen. Kelambanan kimia ini sangat penting untuk mencegah kontaminasi pada kristal yang sedang tumbuh, yang dapat menyebabkan cacat dan penurunan kinerja produk semikonduktor akhir. Selain itu, stabilitas termal yang diberikan oleh lapisan TaC memungkinkan Cincin Pelapis Tantalum Carbide beroperasi secara efektif pada suhu tinggi yang diperlukan untuk pertumbuhan kristal SiC, biasanya melebihi 2000°C.

Sifat mekanik TaC sangat mengurangi keausan pada Cincin Pelapis Tantalum Carbide. Hal ini penting karena sifat proses pertumbuhan kristal yang berulang, yang membuat cincin pemandu sering mengalami siklus termal dan tekanan mekanis. Kekerasan dan ketahanan aus TaC memastikan bahwa Cincin Dilapisi TaC mempertahankan integritas struktural dan dimensi yang tepat dalam jangka waktu lama, meminimalkan kebutuhan akan penggantian yang sering dan mengurangi waktu henti dalam proses produksi. 

Selain itu, kombinasi grafit dan TaC pada Tantalum Carbide Coating Ring mengoptimalkan manajemen termal dalam tungku pertumbuhan kristal. Konduktivitas termal grafit yang tinggi secara efisien mendistribusikan panas, mencegah titik panas, dan mendorong pertumbuhan kristal yang seragam. Sementara itu, lapisan TaC berfungsi sebagai penghalang termal, melindungi inti grafit dari paparan langsung suhu tinggi dan gas reaktif. Sinergi antara bahan inti dan pelapis menghasilkan cincin pemandu yang tidak hanya tahan terhadap kondisi keraspertumbuhan kristal SiCtetapi juga meningkatkan efisiensi dan kualitas proses secara keseluruhan.

Semikonduktor VeTek Tantalum Carbide Coated Ring adalah komponen penting dalam industri semikonduktor, yang dirancang khusus untuk pertumbuhanKristal Silikon Karbida. Desainnya memanfaatkan kekuatan grafit dan tantalum karbida untuk menghasilkan kinerja luar biasa di lingkungan bersuhu tinggi dan bertekanan tinggi. Lapisan TaC memastikan kelembaman kimia, ketahanan mekanis, dan stabilitas termal, yang semuanya penting untuk menghasilkan kristal SiC berkualitas tinggi. Dengan menjaga integritas dan fungsinya dalam kondisi ekstrem, cincin ini mendukung pertumbuhan kristal SiC yang efisien dan bebas cacat, sehingga berkontribusi terhadap kemajuan perangkat semikonduktor berdaya tinggi dan frekuensi tinggi.

VeTek Semiconductor adalah produsen dan pemasok terkemukaLapisan Tantalum Karbida, Lapisan Silikon KarbidaDanGrafit Khususdi Tiongkok. Kami telah lama berkomitmen untuk menyediakan teknologi canggih dan solusi produk untuk industri semikonduktor, dan sangat berharap dapat menjadi mitra jangka panjang Anda di Tiongkok.

Lapisan Tantalum karbida (TaC).pada penampang mikroskopis：

Sekilas tentangrantai industri epitaksi chip semikonduktor：