Cincin Tantalum Karbida

Cincin Tantalum Carbide (TaC) Semikonduktor VeTek menggunakan grafit berkualitas tinggi sebagai bahan inti dan, berkat strukturnya yang unik, mampu mempertahankan bentuk dan sifat mekaniknya di bawah kondisi ekstrim tungku pertumbuhan kristal. Ketahanan panas tinggi grafit memberikan stabilitas yang sangat baik di seluruh permukaanproses pertumbuhan kristal.

Lapisan luar Cincin TaC ditutupi dengan alapisan tantalum karbida, bahan yang terkenal dengan kekerasannya yang sangat tinggi, titik leleh lebih dari 3880°C, dan ketahanan yang sangat baik terhadap korosi kimia, sehingga sangat cocok untuk lingkungan pengoperasian bersuhu tinggi. Lapisan tantalum karbida memberikan penghalang yang kuat untuk secara efektif mencegah reaksi kimia yang hebat dan memastikan bahwa inti grafit tidak terkorosi oleh gas tungku bersuhu tinggi.

Selamapertumbuhan kristal silikon karbida (SiC)., kondisi pertumbuhan yang stabil dan seragam adalah kunci untuk memastikan kristal berkualitas tinggi. Cincin Pelapis Tantalum Karbida memainkan peran penting dalam mengatur aliran gas dan mengoptimalkan distribusi suhu di dalam tungku. Sebagai cincin pemandu gas, Cincin TaC memastikan distribusi energi panas dan gas reaksi yang seragam, memastikan pertumbuhan dan stabilitas kristal SiC yang seragam.

Selain itu, konduktivitas termal grafit yang tinggi dikombinasikan dengan efek perlindungan dari Tantalum Carbide Coated memungkinkan TaC Guide Ring beroperasi secara stabil di lingkungan bersuhu tinggi yang diperlukan untuk pertumbuhan kristal SiC. Kekuatan struktural dan stabilitas dimensinya sangat penting untuk menjaga kondisi di dalam tungku, yang secara langsung mempengaruhi kualitas kristal yang dihasilkan. Dengan mengurangi fluktuasi termal dan reaksi kimia di dalam tungku, TaC Coating Ring membantu menghasilkan kristal dengan sifat elektronik yang sangat baik untuk aplikasi semikonduktor berkinerja tinggi.

Cincin Tantalum Karbida Semikonduktor VeTek adalah komponen kuncitungku pertumbuhan kristal silikon karbidadan menonjol karena daya tahannya yang luar biasa, stabilitas termal, dan ketahanan terhadap bahan kimia. Kombinasi unik antara inti grafit dan lapisan TaC memungkinkannya mempertahankan integritas struktural dan fungsionalitas dalam kondisi yang sulit. Dengan mengontrol suhu dan aliran gas secara tepat di dalam tungku, Cincin Pelapis TaC menyediakan kondisi yang diperlukan untuk produksi kristal SiC berkualitas tinggi, yang sangat penting untuk produksi komponen semikonduktor mutakhir.

Lapisan Tantalum karbida (TaC) pada penampang mikroskopis：