VeTek Semiconductor mengkhususkan diri dalam produksi produk Lapisan Silikon Karbida ultra murni, lapisan ini dirancang untuk diterapkan pada komponen logam grafit, keramik, dan tahan api yang dimurnikan.
Pelapis dengan kemurnian tinggi kami terutama ditargetkan untuk digunakan dalam industri semikonduktor dan elektronik. Mereka berfungsi sebagai lapisan pelindung untuk pembawa wafer, susceptor, dan elemen pemanas, melindunginya dari lingkungan korosif dan reaktif yang ditemui dalam proses seperti MOCVD dan EPI. Proses-proses ini merupakan bagian integral dari pemrosesan wafer dan pembuatan perangkat. Selain itu, pelapis kami sangat cocok untuk aplikasi dalam tungku vakum dan pemanasan sampel, di mana terdapat lingkungan vakum, reaktif, dan oksigen tinggi.
Di VeTek Semiconductor, kami menawarkan solusi komprehensif dengan kemampuan bengkel mesin canggih kami. Hal ini memungkinkan kami memproduksi komponen dasar menggunakan grafit, keramik, atau logam tahan api dan menerapkan pelapis keramik SiC atau TaC sendiri. Kami juga menyediakan layanan pelapisan untuk suku cadang yang dipasok pelanggan, memastikan fleksibilitas untuk memenuhi beragam kebutuhan.
Produk Silicon Carbide Coating kami banyak digunakan pada epitaksi Si, epitaksi SiC, sistem MOCVD, proses RTP/RTA, proses etsa, proses etsa ICP/PSS, proses berbagai jenis LED, antara lain LED biru dan hijau, LED UV dan UV dalam. LED dll, yang disesuaikan dengan peralatan dari LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI dan sebagainya.
Sifat fisik dasar lapisan CVD SiC | |
Milik | Nilai Khas |
Struktur Kristal | Polikristalin fase β FCC, terutama berorientasi (111). |
Kepadatan | 3,21 gram/cm³ |
Kekerasan | Kekerasan Vickers 2500(beban 500g) |
Ukuran Butir | 2~10μm |
Kemurnian Kimia | 99,99995% |
Kapasitas Panas | 640 J·kg-1·K-1 |
Suhu Sublimasi | 2700℃ |
Kekuatan Lentur | 415 MPa RT 4 titik |
Modulus Muda | tikungan 430 Gpa 4pt, 1300℃ |
Konduktivitas Termal | 300W·m-1·K-1 |
Ekspansi Termal (CTE) | 4,5×10-6K-1 |
Pembawa Etsa ICP Berlapis SiC Semikonduktor VeTek dirancang untuk aplikasi peralatan epitaksi yang paling menuntut. Terbuat dari bahan grafit ultra murni berkualitas tinggi, Pembawa Etsa ICP Berlapis SiC kami memiliki permukaan yang sangat rata dan ketahanan terhadap korosi yang sangat baik untuk menahan kondisi keras selama penanganan. Konduktivitas termal yang tinggi dari pembawa berlapis SiC memastikan distribusi panas yang merata untuk hasil etsa yang sangat baik. VeTek Semiconductor berharap dapat membangun kemitraan jangka panjang dengan Anda.
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanPelat Pembawa Etsa PSS VeTek Semiconductor untuk Semikonduktor adalah pembawa grafit ultra-murni berkualitas tinggi yang dirancang untuk proses penanganan wafer. Operator kami memiliki kinerja yang sangat baik dan dapat bekerja dengan baik di lingkungan yang keras, suhu tinggi, dan kondisi pembersihan bahan kimia yang keras. Produk kami banyak digunakan di banyak pasar Eropa dan Amerika, dan kami berharap dapat menjadi mitra jangka panjang Anda di Tiongkok.
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanVeTek Semiconductor adalah produsen dan inovator Rapid Thermal Annealing Susceptor terkemuka di China. Kami telah mengkhususkan diri dalam bahan pelapis SiC selama bertahun-tahun. Kami menawarkan Rapid Thermal Annealing Susceptor dengan kualitas tinggi, tahan suhu tinggi, super tipis. Kami menyambut Anda untuk mengunjungi kami pabrik di Cina.
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanVeTek Semiconductor adalah produsen dan pemasok profesional, yang berdedikasi untuk menyediakan GaN Epitaxial Susceptor berbasis Silikon berkualitas tinggi. Semikonduktor susceptor digunakan dalam sistem VEECO K465i GaN MOCVD, kemurnian tinggi, tahan suhu tinggi, tahan korosi, selamat datang untuk bertanya dan bekerja sama dengan kami!
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanVeTek Semiconductor adalah Suku Cadang Halfmoon 8 Inci untuk Reaktor LPE produsen dan inovator di China. Kami telah mengkhususkan diri dalam bahan pelapis SiC selama bertahun-tahun. Kami menawarkan Suku Cadang Halfmoon 8 Inci untuk Reaktor LPE yang dirancang khusus untuk reaktor epitaksi LPE SiC. Halfmoon ini merupakan solusi serbaguna dan efisien untuk manufaktur semikonduktor dengan ukuran optimal, kompatibilitas, dan produktivitas tinggi. Kami menyambut Anda untuk mengunjungi pabrik kami di China.
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanVeTek Semiconductor adalah Susceptor Pancake Berlapis SiC terkemuka untuk produsen dan inovator wafer LPE PE3061S 6'' di Tiongkok. Kami telah mengkhususkan diri dalam bahan pelapis SiC selama bertahun-tahun. Kami menawarkan susceptor pancake berlapis SiC yang dirancang khusus untuk wafer LPE PE3061S 6” . Susceptor epitaksi ini memiliki ketahanan korosi yang tinggi, kinerja konduksi panas yang baik, keseragaman yang baik. Kami menyambut Anda untuk mengunjungi pabrik kami di Cina.
Baca selengkapnyamengirimkan permintaan