Pelat Pembawa Etsa PSS untuk Semikonduktor

Pelat Pembawa Etsa PSS VeTek Semiconductor untuk Semikonduktor adalah pembawa grafit ultra-murni berkualitas tinggi yang dirancang untuk proses penanganan wafer. Operator kami memiliki kinerja yang sangat baik dan dapat bekerja dengan baik di lingkungan yang keras, suhu tinggi, dan kondisi pembersihan bahan kimia yang keras. Produk kami banyak digunakan di banyak pasar Eropa dan Amerika, dan kami berharap dapat menjadi mitra jangka panjang Anda di Tiongkok.

mengirimkan permintaan

Deskripsi Produk

Sebagai produsen profesional, kami ingin memberi Anda Pelat Pembawa Etsa PSS berkualitas tinggi untuk Semikonduktor. Pelat Pembawa Etsa PSS VeTek Semikonduktor untuk Semikonduktor adalah komponen khusus yang digunakan dalam industri semikonduktor untuk proses etsa Spektroskopi Sumber Plasma (PSS). Pelat ini memainkan peran penting dalam mendukung dan membawa wafer semikonduktor selama proses etsa. Selamat datang untuk bertanya kepada kami!

Fitur Utama:

Desain Presisi: Pelat pembawa dirancang dengan dimensi dan kerataan permukaan yang presisi untuk memastikan pengetsaan yang seragam dan konsisten di seluruh wafer semikonduktor. Ini menyediakan platform wafer yang stabil dan terkontrol, memungkinkan hasil etsa yang akurat dan andal.

Resistensi Plasma: Pelat pembawa menunjukkan ketahanan yang sangat baik terhadap plasma yang digunakan dalam proses etsa. Produk ini tetap tidak terpengaruh oleh gas reaktif dan plasma berenergi tinggi, sehingga memastikan masa pakai yang lama dan kinerja yang konsisten.

Konduktivitas Termal: Pelat pembawa memiliki konduktivitas termal yang tinggi untuk menghilangkan panas yang dihasilkan selama proses etsa secara efisien. Hal ini membantu menjaga kontrol suhu optimal dan mencegah panas berlebih pada wafer semikonduktor.

Kompatibilitas: Pelat Pembawa Etsa PSS dirancang agar kompatibel dengan berbagai ukuran wafer semikonduktor yang umum digunakan di industri, memastikan keserbagunaan dan kemudahan penggunaan di berbagai proses manufaktur.

Parameter produk Pelat Pembawa Etsa PSS untuk Semikonduktor

Sifat fisik dasar lapisan CVD SiC
Properti	Nilai khas
Struktur kristal	Polikristalin fase β FCC, terutama berorientasi (111).
Kepadatan	3,21 gram/cm³
Kekerasan	Kekerasan Vickers 2500（beban 500g）
Ukuran butir	2~10μm
Kemurnian Kimia	99,99995%
Kapasitas Panas	640 J·kg-1·K-1
Suhu Sublimasi	2700℃
Kekuatan Lentur	415 MPa RT 4 titik
Modulus Muda	tikungan 430 Gpa 4pt, 1300℃
Konduktivitas termal	300W·m-1·K-1
Ekspansi Termal (CTE)	4,5×10-6K-1