VeTek Semiconductor mengkhususkan diri dalam produksi produk Lapisan Silikon Karbida ultra murni, lapisan ini dirancang untuk diterapkan pada komponen logam grafit, keramik, dan tahan api yang dimurnikan.
Pelapis dengan kemurnian tinggi kami terutama ditargetkan untuk digunakan dalam industri semikonduktor dan elektronik. Mereka berfungsi sebagai lapisan pelindung untuk pembawa wafer, susceptor, dan elemen pemanas, melindunginya dari lingkungan korosif dan reaktif yang ditemui dalam proses seperti MOCVD dan EPI. Proses-proses ini merupakan bagian integral dari pemrosesan wafer dan pembuatan perangkat. Selain itu, pelapis kami sangat cocok untuk aplikasi dalam tungku vakum dan pemanasan sampel, di mana terdapat lingkungan vakum, reaktif, dan oksigen tinggi.
Di VeTek Semiconductor, kami menawarkan solusi komprehensif dengan kemampuan bengkel mesin canggih kami. Hal ini memungkinkan kami memproduksi komponen dasar menggunakan grafit, keramik, atau logam tahan api dan menerapkan pelapis keramik SiC atau TaC sendiri. Kami juga menyediakan layanan pelapisan untuk suku cadang yang dipasok pelanggan, memastikan fleksibilitas untuk memenuhi beragam kebutuhan.
Produk Silicon Carbide Coating kami banyak digunakan pada epitaksi Si, epitaksi SiC, sistem MOCVD, proses RTP/RTA, proses etsa, proses etsa ICP/PSS, proses berbagai jenis LED, antara lain LED biru dan hijau, LED UV dan UV dalam. LED dll, yang disesuaikan dengan peralatan dari LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI dan sebagainya.
Sifat fisik dasar lapisan CVD SiC | |
Milik | Nilai Khas |
Struktur Kristal | Polikristalin fase β FCC, terutama berorientasi (111). |
Kepadatan | 3,21 gram/cm³ |
Kekerasan | Kekerasan Vickers 2500(beban 500g) |
Ukuran Butir | 2~10μm |
Kemurnian Kimia | 99,99995% |
Kapasitas Panas | 640 J·kg-1·K-1 |
Suhu Sublimasi | 2700℃ |
Kekuatan Lentur | 415 MPa RT 4 titik |
Modulus Muda | tikungan 430 Gpa 4pt, 1300℃ |
Konduktivitas Termal | 300W·m-1·K-1 |
Ekspansi Termal (CTE) | 4,5×10-6K-1 |
VeTek Semiconductor adalah produsen, pemasok dan eksportir profesional untuk susceptor barel grafit berlapis SiC untuk EPI. Didukung oleh tim profesional dan teknologi terdepan, VeTek Semiconductor dapat memberikan Anda kualitas tinggi dengan harga pantas. kami menyambut Anda untuk mengunjungi pabrik kami untuk diskusi lebih lanjut.
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanVeTek Semiconductor memiliki pengalaman bertahun-tahun dalam produksi deflektor wadah grafit berlapis SiC berkualitas tinggi. Kami memiliki laboratorium sendiri untuk penelitian dan pengembangan material, dapat mendukung desain khusus Anda dengan kualitas unggul. kami menyambut Anda untuk mengunjungi pabrik kami untuk diskusi lebih lanjut.
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanVeTek Semiconductor adalah produsen dan pemasok profesional, yang berdedikasi untuk menyediakan MOCVD Epitaxial Susceptor berkualitas tinggi untuk Wafer 4". dengan pengalaman industri yang kaya dan tim profesional, kami dapat memberikan solusi ahli dan efisien kepada klien kami.
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanVeTek Semiconductor adalah produsen dan pemasok profesional, yang berdedikasi untuk menyediakan susceptor Grafit Epitaksial GaN Untuk G5 berkualitas tinggi. kami telah menjalin kemitraan jangka panjang dan stabil dengan banyak perusahaan terkenal di dalam dan luar negeri, mendapatkan kepercayaan dan rasa hormat dari pelanggan kami.
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanBlok susceptor semikonduktor VeTek Semiconductor yang dilapisi SiC adalah perangkat yang sangat andal dan tahan lama. Ini dirancang untuk tahan terhadap suhu tinggi dan lingkungan kimia yang keras sambil mempertahankan kinerja yang stabil dan umur yang panjang. Dengan kemampuan prosesnya yang sangat baik, Semiconductor Susceptor Block SiC Coated mengurangi frekuensi penggantian dan pemeliharaan, sehingga meningkatkan efisiensi produksi. Kami menantikan kesempatan untuk berkolaborasi dengan Anda.
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanSusceptor MOCVD Berlapis SiC Semikonduktor VeTek adalah perangkat dengan proses, daya tahan, dan keandalan yang sangat baik. Mereka dapat menahan suhu tinggi dan lingkungan kimia, mempertahankan kinerja yang stabil dan umur panjang, sehingga mengurangi frekuensi penggantian dan pemeliharaan serta meningkatkan efisiensi produksi. Susceptor Epitaxial MOCVD kami terkenal dengan kepadatannya yang tinggi, kerataan yang sangat baik, dan kontrol termal yang sangat baik, menjadikannya peralatan pilihan di lingkungan manufaktur yang keras. Berharap untuk bekerja sama dengan Anda.
Baca selengkapnyamengirimkan permintaan