> Produk > Lapisan Silikon Karbida > Epitaksi Silikon > Susceptor Pancake Lapis SiC untuk Wafer LPE PE3061S 6''

produk baru

Susceptor Pancake Lapis SiC untuk Wafer LPE PE3061S 6''

VeTek Semiconductor adalah Susceptor Pancake Berlapis SiC terkemuka untuk produsen dan inovator wafer LPE PE3061S 6'' di Tiongkok. Kami telah mengkhususkan diri dalam bahan pelapis SiC selama bertahun-tahun. Kami menawarkan susceptor pancake berlapis SiC yang dirancang khusus untuk wafer LPE PE3061S 6” . Susceptor epitaksi ini memiliki ketahanan korosi yang tinggi, kinerja konduksi panas yang baik, keseragaman yang baik. Kami menyambut Anda untuk mengunjungi pabrik kami di Cina.

mengirimkan permintaan

Deskripsi Produk

Sebagai produsen profesional, VeTek Semiconductor ingin memberi Anda Susceptor Pancake Berlapis SiC berkualitas tinggi untuk wafer LPE PE3061S 6''.

Susceptor Pancake Berlapis SiC Semikonduktor VeTeK untuk wafer LPE PE3061S 6" adalah peralatan penting yang digunakan dalam proses manufaktur semikonduktor.

Susceptor Pancake Dilapisi SiC untuk wafer LPE PE3061S 6" Fitur Produk:

Stabilitas suhu tinggi: SiC menunjukkan stabilitas suhu tinggi yang sangat baik, mempertahankan struktur dan kinerjanya di lingkungan suhu tinggi.

Konduktivitas termal yang luar biasa: SiC memiliki konduktivitas termal yang luar biasa, memungkinkan perpindahan panas yang cepat dan seragam untuk pemanasan yang cepat dan merata.

Ketahanan korosi: SiC memiliki stabilitas kimia yang sangat baik, tahan terhadap korosi dan oksidasi di berbagai lingkungan pemanasan.

Distribusi pemanasan yang seragam: Pembawa wafer berlapis SiC memberikan distribusi pemanasan yang seragam, memastikan suhu merata di seluruh permukaan wafer selama pemanasan.

Cocok untuk produksi semikonduktor: Pembawa wafer epitaksi Si banyak digunakan dalam proses pembuatan semikonduktor, khususnya untuk pertumbuhan epitaksi Si dan proses pemanasan suhu tinggi lainnya.

Keunggulan Produk:

Peningkatan efisiensi produksi: Susceptor pancake berlapis SiC memungkinkan pemanasan yang cepat dan seragam, mengurangi waktu pemanasan dan meningkatkan efisiensi produksi.

Kualitas produk yang terjamin: Distribusi pemanasan yang seragam memastikan konsistensi selama pemrosesan wafer, sehingga menghasilkan peningkatan kualitas produk.

Masa pakai peralatan yang lebih lama: Bahan SiC menawarkan ketahanan panas dan stabilitas kimia yang sangat baik, sehingga berkontribusi pada masa pakai suseptor pancake yang lebih lama.

Solusi khusus: Susceptor berlapis SiC, pembawa wafer epitaksi Si dapat disesuaikan dengan berbagai ukuran dan spesifikasi berdasarkan kebutuhan pelanggan.

SEM data and structure of CVD SIC films

Sifat fisik dasar lapisan CVD SiC:

Sifat fisik dasar lapisan CVD SiC
Milik	Nilai Khas
Struktur Kristal	Polikristalin fase β FCC, terutama berorientasi (111).
Kepadatan	3,21 gram/cm³
Kekerasan	Kekerasan Vickers 2500（beban 500g）
Ukuran Butir	2~10μm
Kemurnian Kimia	99,99995%
Kapasitas Panas	640 J·kg-1·K-1
Suhu Sublimasi	2700℃
Kekuatan Lentur	415 MPa RT 4 titik
Modulus Muda	tikungan 430 Gpa 4pt, 1300℃
Konduktivitas Termal	300W·m-1·K-1
Ekspansi Termal (CTE)	4,5×10-6K-1

Toko Produksi Semikonduktor VeTek

VeTek Semiconductor Production Shop

Ikhtisar rantai industri epitaksi chip semikonduktor:

Overview of the semiconductor chip epitaxy industry chain

Tag Panas: Susceptor Pancake Dilapisi SiC untuk Wafer LPE PE3061S 6'', Cina, Produsen, Pemasok, Pabrik, Disesuaikan, Beli, Canggih, Tahan Lama, Buatan China