VeTek Semiconductor mengkhususkan diri dalam produksi produk Lapisan Silikon Karbida ultra murni, lapisan ini dirancang untuk diterapkan pada komponen logam grafit, keramik, dan tahan api yang dimurnikan.
Pelapis dengan kemurnian tinggi kami terutama ditargetkan untuk digunakan dalam industri semikonduktor dan elektronik. Mereka berfungsi sebagai lapisan pelindung untuk pembawa wafer, susceptor, dan elemen pemanas, melindunginya dari lingkungan korosif dan reaktif yang ditemui dalam proses seperti MOCVD dan EPI. Proses-proses ini merupakan bagian integral dari pemrosesan wafer dan pembuatan perangkat. Selain itu, pelapis kami sangat cocok untuk aplikasi dalam tungku vakum dan pemanasan sampel, di mana terdapat lingkungan vakum, reaktif, dan oksigen tinggi.
Di VeTek Semiconductor, kami menawarkan solusi komprehensif dengan kemampuan bengkel mesin canggih kami. Hal ini memungkinkan kami memproduksi komponen dasar menggunakan grafit, keramik, atau logam tahan api dan menerapkan pelapis keramik SiC atau TaC sendiri. Kami juga menyediakan layanan pelapisan untuk suku cadang yang dipasok pelanggan, memastikan fleksibilitas untuk memenuhi beragam kebutuhan.
Produk Silicon Carbide Coating kami banyak digunakan pada epitaksi Si, epitaksi SiC, sistem MOCVD, proses RTP/RTA, proses etsa, proses etsa ICP/PSS, proses berbagai jenis LED, antara lain LED biru dan hijau, LED UV dan UV dalam. LED dll, yang disesuaikan dengan peralatan dari LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI dan sebagainya.
Sifat fisik dasar lapisan CVD SiC | |
Milik | Nilai Khas |
Struktur Kristal | Polikristalin fase β FCC, terutama berorientasi (111). |
Kepadatan | 3,21 gram/cm³ |
Kekerasan | Kekerasan Vickers 2500(beban 500g) |
Ukuran Butir | 2~10μm |
Kemurnian Kimia | 99,99995% |
Kapasitas Panas | 640 J·kg-1·K-1 |
Suhu Sublimasi | 2700℃ |
Kekuatan Lentur | 415 MPa RT 4 titik |
Modulus Muda | tikungan 430 Gpa 4pt, 1300℃ |
Konduktivitas Termal | 300W·m-1·K-1 |
Ekspansi Termal (CTE) | 4,5×10-6K-1 |
Vetek Semiconductor profesional dalam pembuatan lapisan CVD SiC, lapisan TaC pada bahan grafit dan silikon karbida. Kami menyediakan produk OEM dan ODM seperti Alas Dilapisi SiC, pembawa wafer, chuck wafer, baki pembawa wafer, disk planet, dan sebagainya. Dengan ruang bersih kelas 1000 dan perangkat pemurnian, kami dapat menyediakan produk dengan pengotor di bawah 5ppm. Menantikan pendengaran darimu segera.
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanVetek Semiconductor unggul dalam berkolaborasi erat dengan klien untuk membuat desain khusus untuk Cincin Saluran Masuk Lapisan SiC yang disesuaikan dengan kebutuhan spesifik. Cincin Saluran Masuk Lapisan SiC ini dirancang dengan cermat untuk beragam aplikasi seperti peralatan CVD SiC dan epitaksi silikon karbida. Untuk solusi Cincin Saluran Masuk Lapisan SiC yang disesuaikan, jangan ragu untuk menghubungi Vetek Semiconductor untuk mendapatkan bantuan yang dipersonalisasi.
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanVeTek Semiconductor adalah produsen dan pemasok Tiongkok profesional, yang terutama memproduksi cincin pendukung berlapis SiC, pelapis silikon karbida (SiC) CVD, pelapis tantalum karbida (TaC), SiC massal, bubuk SiC, dan bahan SiC dengan kemurnian tinggi. Kami berkomitmen untuk memberikan dukungan teknis yang sempurna dan solusi produk terbaik untuk industri semikonduktor, selamat datang untuk menghubungi kami.
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanWafer chuck Vetek Semiconductor memainkan peran penting dalam produksi semikonduktor, memungkinkan keluaran yang cepat dan berkualitas tinggi. Dengan manufaktur internal, harga kompetitif, dan dukungan R&D yang kuat, Vetek Semiconductor unggul dalam layanan OEM/ODM untuk komponen presisi. Menantikan pertanyaan Anda.
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanProses ALD, berarti proses Epitaksi Lapisan Atom. Vetek Semiconductor dan produsen sistem ALD telah mengembangkan dan memproduksi ALD Planetary Susceptors berlapis SiC yang memenuhi persyaratan tinggi proses ALD untuk mendistribusikan aliran udara secara merata di atas substrat. Pada saat yang sama, lapisan CVD SiC dengan kemurnian tinggi dari Vetek Semiconductor memastikan kemurnian dalam prosesnya. Selamat datang untuk mendiskusikan kerjasama dengan kami.
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanVetek Semiconductor berfokus pada penelitian dan pengembangan serta industrialisasi pelapisan CVD SiC dan pelapisan CVD TaC. Mengambil contoh lapisan SiC, produk ini diproses dengan presisi tinggi, lapisan CVD SIC yang padat, tahan suhu tinggi, dan ketahanan korosi yang kuat. Penyelidikan kepada kami dipersilakan.
Baca selengkapnyamengirimkan permintaan