Cincin Pendukung Dilapisi SiC

Semikonduktor VeTek, produsen dan pemasok terkemuka yang berbasis di Tiongkok, mengkhususkan diri dalam memproduksi berbagai produk termasukCincin penyangga berlapis SiC, pelapis silikon karbida CVD, pelapis tantalum karbida, SiC curah, bubuk SiC, dan bahan SiC dengan kemurnian tinggi. Dedikasi kami terletak pada menawarkan bantuan teknis yang komprehensif dan resolusi produk optimal yang disesuaikan untuk sektor semikonduktor. Jangan ragu untuk menghubungi kami untuk informasi dan bantuan lebih lanjut.

Semikonduktor VeTek'SCincin penyangga berlapis SiCadalah generasi baru bahan tahan suhu tinggi. Sebagai pelapis tahan korosi, pelapis tahan oksidasi, dan pelapis tahan aus, pelapis ini dapat digunakan di lingkungan di atas 1650℃, dan banyak digunakan di bidang semikonduktor.

Karakteristik berkualitas tinggi dariCincin penyangga berlapis SiCmemainkan peran yang sangat penting dalam pertumbuhan epitaksi komponen semikonduktor generasi ketiga.

Menjaga keseragaman suhu: Cincin pendukung berlapis SiC memiliki konduktivitas termal yang sangat baik dan dapat memberikan distribusi suhu yang seragam selama pertumbuhan epitaksi. Hal ini membantu mengurangi gradien termal dan tekanan pada permukaan wafer, sehingga meningkatkan kualitas lapisan epitaksial.

Stabilitas Kimia Ekstrim: Selama proses pertumbuhan epitaksi,Cincin penyangga berlapis SiCmampu menahan serangan kimia dari gas reaksi, memperpanjang umur cincin pendukung dan menjaga integritas proses. Stabilitas kimia ini membantu mengurangi risiko kontaminasi dan meningkatkan kemurnian serta kinerja perangkat semikonduktor.

Penentuan Posisi Yang Tepat: Cincin pendukung berlapis SiC mampu mempertahankan posisi wafer yang tepat, yang sangat penting untuk mencapai deposisi lapisan yang seragam. Penempatan yang tepat ini membantu memastikan konsistensi ketebalan dan kualitas lapisan epitaksial.

Sifat fisik dasar lapisan CVD SiC:

Toko Produksi Semikonduktor VeTek:

Tinjauan umum rantai industri epitaksi chip semikonduktor: