VeTek Semiconductor mengkhususkan diri dalam produksi produk Lapisan Silikon Karbida ultra murni, lapisan ini dirancang untuk diterapkan pada komponen logam grafit, keramik, dan tahan api yang dimurnikan.
Pelapis dengan kemurnian tinggi kami terutama ditargetkan untuk digunakan dalam industri semikonduktor dan elektronik. Mereka berfungsi sebagai lapisan pelindung untuk pembawa wafer, susceptor, dan elemen pemanas, melindunginya dari lingkungan korosif dan reaktif yang ditemui dalam proses seperti MOCVD dan EPI. Proses-proses ini merupakan bagian integral dari pemrosesan wafer dan pembuatan perangkat. Selain itu, pelapis kami sangat cocok untuk aplikasi dalam tungku vakum dan pemanasan sampel, di mana terdapat lingkungan vakum, reaktif, dan oksigen tinggi.
Di VeTek Semiconductor, kami menawarkan solusi komprehensif dengan kemampuan bengkel mesin canggih kami. Hal ini memungkinkan kami memproduksi komponen dasar menggunakan grafit, keramik, atau logam tahan api dan menerapkan pelapis keramik SiC atau TaC sendiri. Kami juga menyediakan layanan pelapisan untuk suku cadang yang dipasok pelanggan, memastikan fleksibilitas untuk memenuhi beragam kebutuhan.
Produk Silicon Carbide Coating kami banyak digunakan pada epitaksi Si, epitaksi SiC, sistem MOCVD, proses RTP/RTA, proses etsa, proses etsa ICP/PSS, proses berbagai jenis LED, antara lain LED biru dan hijau, LED UV dan UV dalam. LED dll, yang disesuaikan dengan peralatan dari LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI dan sebagainya.
Sifat fisik dasar lapisan CVD SiC | |
Milik | Nilai Khas |
Struktur Kristal | Polikristalin fase β FCC, terutama berorientasi (111). |
Kepadatan | 3,21 gram/cm³ |
Kekerasan | Kekerasan Vickers 2500(beban 500g) |
Ukuran Butir | 2~10μm |
Kemurnian Kimia | 99,99995% |
Kapasitas Panas | 640 J·kg-1·K-1 |
Suhu Sublimasi | 2700℃ |
Kekuatan Lentur | 415 MPa RT 4 titik |
Modulus Muda | tikungan 430 Gpa 4pt, 1300℃ |
Konduktivitas Termal | 300W·m-1·K-1 |
Ekspansi Termal (CTE) | 4,5×10-6K-1 |
VeTek Semiconductor berfokus pada penelitian dan pengembangan serta industrialisasi sumber massal CVD-SiC, pelapis CVD SiC, dan pelapis CVD TaC. Mengambil blok CVD SiC untuk Pertumbuhan Kristal SiC sebagai contoh, teknologi pemrosesan produk maju, laju pertumbuhan cepat, ketahanan suhu tinggi, dan ketahanan korosi yang kuat. Selamat datang untuk menanyakan.
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanSilikon karbida (SiC) dengan kemurnian sangat tinggi dari Vetek Semiconductor yang dibentuk oleh deposisi uap kimia (CVD) dapat digunakan sebagai bahan sumber untuk menumbuhkan kristal silikon karbida melalui transportasi uap fisik (PVT). Dalam Teknologi Baru Pertumbuhan Kristal SiC, bahan sumber dimasukkan ke dalam wadah dan disublimasikan ke kristal benih. Gunakan blok CVD-SiC yang dibuang untuk mendaur ulang material sebagai sumber untuk menumbuhkan kristal SiC. Selamat datang untuk menjalin kemitraan dengan kami.
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanVeTek Semiconductor adalah produsen dan inovator Kepala Pancuran CVD SiC terkemuka di Tiongkok. Kami telah mengkhususkan diri dalam bahan SiC selama bertahun-tahun. Kepala Pancuran SiC CVD dipilih sebagai bahan cincin fokus karena stabilitas termokimia yang sangat baik, kekuatan mekanik yang tinggi, dan ketahanan terhadap erosi plasma. Kami berharap dapat menjadi mitra jangka panjang Anda di Tiongkok.
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanVeTek Semiconductor adalah produsen dan inovator Kepala Pancuran SiC terkemuka di China. Kami telah mengkhususkan diri dalam bahan SiC selama bertahun-tahun. Kepala Pancuran SiC dipilih sebagai bahan cincin pemfokusan karena stabilitas termokimia yang sangat baik, kekuatan mekanik yang tinggi, dan ketahanan terhadap erosi plasma. .Kami berharap dapat menjadi mitra jangka panjang Anda di Tiongkok.
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanVeTek Semiconductor, produsen pelapis CVD SiC terkemuka, menawarkan Cakram Set Pelapis SiC di Reaktor Aixtron MOCVD. Cakram Set Pelapis SiC ini dibuat menggunakan grafit dengan kemurnian tinggi dan dilengkapi lapisan SiC CVD dengan pengotor di bawah 5ppm. Kami menyambut pertanyaan tentang produk ini.
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanVeTek Semiconductor, produsen pelapis SiC CVD yang memiliki reputasi baik, menghadirkan Pusat Pengumpul Lapisan SiC mutakhir dalam sistem Aixtron G5 MOCVD. Pusat Pengumpul Lapisan SiC ini dirancang dengan cermat dengan grafit dengan kemurnian tinggi dan memiliki lapisan SiC CVD yang canggih, memastikan stabilitas suhu tinggi, ketahanan terhadap korosi, kemurnian tinggi. Saya berharap dapat bekerja sama dengan Anda!
Baca selengkapnyamengirimkan permintaan