VeTek Semiconductor mengkhususkan diri dalam produksi produk Lapisan Silikon Karbida ultra murni, lapisan ini dirancang untuk diterapkan pada komponen logam grafit, keramik, dan tahan api yang dimurnikan.
Pelapis dengan kemurnian tinggi kami terutama ditargetkan untuk digunakan dalam industri semikonduktor dan elektronik. Mereka berfungsi sebagai lapisan pelindung untuk pembawa wafer, susceptor, dan elemen pemanas, melindunginya dari lingkungan korosif dan reaktif yang ditemui dalam proses seperti MOCVD dan EPI. Proses-proses ini merupakan bagian integral dari pemrosesan wafer dan pembuatan perangkat. Selain itu, pelapis kami sangat cocok untuk aplikasi dalam tungku vakum dan pemanasan sampel, di mana terdapat lingkungan vakum, reaktif, dan oksigen tinggi.
Di VeTek Semiconductor, kami menawarkan solusi komprehensif dengan kemampuan bengkel mesin canggih kami. Hal ini memungkinkan kami memproduksi komponen dasar menggunakan grafit, keramik, atau logam tahan api dan menerapkan pelapis keramik SiC atau TaC sendiri. Kami juga menyediakan layanan pelapisan untuk suku cadang yang dipasok pelanggan, memastikan fleksibilitas untuk memenuhi beragam kebutuhan.
Produk Silicon Carbide Coating kami banyak digunakan pada epitaksi Si, epitaksi SiC, sistem MOCVD, proses RTP/RTA, proses etsa, proses etsa ICP/PSS, proses berbagai jenis LED, antara lain LED biru dan hijau, LED UV dan UV dalam. LED dll, yang disesuaikan dengan peralatan dari LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI dan sebagainya.
Sifat fisik dasar lapisan CVD SiC | |
Milik | Nilai Khas |
Struktur Kristal | Polikristalin fase β FCC, terutama berorientasi (111). |
Kepadatan | 3,21 gram/cm³ |
Kekerasan | Kekerasan Vickers 2500(beban 500g) |
Ukuran Butir | 2~10μm |
Kemurnian Kimia | 99,99995% |
Kapasitas Panas | 640 J·kg-1·K-1 |
Suhu Sublimasi | 2700℃ |
Kekuatan Lentur | 415 MPa RT 4 titik |
Modulus Muda | tikungan 430 Gpa 4pt, 1300℃ |
Konduktivitas Termal | 300W·m-1·K-1 |
Ekspansi Termal (CTE) | 4,5×10-6K-1 |
Sebagai produsen dan pemasok pembawa wafer pelapis SiC profesional di Tiongkok, pembawa wafer pelapis SiC Vetek Semiconductor terutama digunakan untuk meningkatkan keseragaman pertumbuhan lapisan epitaksi, memastikan stabilitas dan integritasnya dalam suhu tinggi dan lingkungan korosif. Menantikan pertanyaan Anda.
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanVeTek Semiconductor adalah produsen profesional ALD Susceptor, lapisan CVD SiC, basis grafit CVD TAC COATING di Cina. Vetek Semiconductor bersama-sama mengembangkan dan memproduksi pangkalan planet ALD berlapis SiC dengan produsen sistem ALD untuk memenuhi persyaratan tinggi proses ALD dan mendistribusikan aliran udara pada substrat secara merata. Kami menantikan kerjasama lebih lanjut dengan Anda.
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanSebagai produsen dan pemasok langit-langit berlapis CVD SiC profesional di Tiongkok, langit-langit berlapis CVD SiC VeTek Semiconductor memiliki sifat yang sangat baik seperti ketahanan suhu tinggi, ketahanan korosi, kekerasan tinggi, dan koefisien muai panas yang rendah, menjadikannya pilihan material yang ideal dalam manufaktur semikonduktor. Kami menantikan kerjasama lebih lanjut dengan Anda.
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanVeTek Semiconductor adalah produsen profesional MOCVD LED Epi Susceptor, ALD Planetary Susceptor, TaC Coated Graphite Susceptor di Cina. MOCVD LED Epi Susceptor dari VeTek Semiconductor dirancang untuk aplikasi peralatan epitaksi yang menuntut. Konduktivitas termal yang tinggi, stabilitas kimia, dan daya tahannya merupakan faktor kunci untuk memastikan proses pertumbuhan epitaksi yang stabil dan produksi film semikonduktor berkualitas tinggi. Kami menantikan kerjasama lebih lanjut dengan Anda.
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanSebagai produsen dan pemasok susceptor ALD pelapis SiC profesional di China, susceptor ALD pelapis SiC Semikonduktor VeTek adalah komponen pendukung yang khusus digunakan dalam proses pengendapan lapisan atom (ALD). Ini memainkan peran penting dalam peralatan ALD, memastikan keseragaman dan ketepatan proses pengendapan. Kami percaya bahwa produk ALD Planetary Susceptor kami dapat memberikan Anda solusi produk berkualitas tinggi.
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanVeTek Semiconductor adalah produsen, inovator, dan pemimpin produk SiC Coating Epi Susceptor terkemuka di Tiongkok. Selama bertahun-tahun, kami telah berfokus pada berbagai produk SiC Coating seperti SiC Coating Epi Susceptor, SiC Coating Wafer Carrier, SiC Coating Susceptor, SiC coating ALD susceptor, dll. VeTek Semiconductor berkomitmen untuk menyediakan teknologi canggih dan solusi produk untuk semikonduktor industri. Selamat datang konsultasi Anda lebih lanjut.
Baca selengkapnyamengirimkan permintaan