VeTek Semiconductor mengkhususkan diri dalam produksi produk Lapisan Silikon Karbida ultra murni, lapisan ini dirancang untuk diterapkan pada komponen logam grafit, keramik, dan tahan api yang dimurnikan.
Pelapis dengan kemurnian tinggi kami terutama ditargetkan untuk digunakan dalam industri semikonduktor dan elektronik. Mereka berfungsi sebagai lapisan pelindung untuk pembawa wafer, susceptor, dan elemen pemanas, melindunginya dari lingkungan korosif dan reaktif yang ditemui dalam proses seperti MOCVD dan EPI. Proses-proses ini merupakan bagian integral dari pemrosesan wafer dan pembuatan perangkat. Selain itu, pelapis kami sangat cocok untuk aplikasi dalam tungku vakum dan pemanasan sampel, di mana terdapat lingkungan vakum, reaktif, dan oksigen tinggi.
Di VeTek Semiconductor, kami menawarkan solusi komprehensif dengan kemampuan bengkel mesin canggih kami. Hal ini memungkinkan kami memproduksi komponen dasar menggunakan grafit, keramik, atau logam tahan api dan menerapkan pelapis keramik SiC atau TaC sendiri. Kami juga menyediakan layanan pelapisan untuk suku cadang yang dipasok pelanggan, memastikan fleksibilitas untuk memenuhi beragam kebutuhan.
Produk Silicon Carbide Coating kami banyak digunakan pada epitaksi Si, epitaksi SiC, sistem MOCVD, proses RTP/RTA, proses etsa, proses etsa ICP/PSS, proses berbagai jenis LED, antara lain LED biru dan hijau, LED UV dan UV dalam. LED dll, yang disesuaikan dengan peralatan dari LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI dan sebagainya.
Sifat fisik dasar lapisan CVD SiC | |
Milik | Nilai Khas |
Struktur Kristal | Polikristalin fase β FCC, terutama berorientasi (111). |
Kepadatan | 3,21 gram/cm³ |
Kekerasan | Kekerasan Vickers 2500(beban 500g) |
Ukuran Butir | 2~10μm |
Kemurnian Kimia | 99,99995% |
Kapasitas Panas | 640 J·kg-1·K-1 |
Suhu Sublimasi | 2700℃ |
Kekuatan Lentur | 415 MPa RT 4 titik |
Modulus Muda | tikungan 430 Gpa 4pt, 1300℃ |
Konduktivitas Termal | 300W·m-1·K-1 |
Ekspansi Termal (CTE) | 4,5×10-6K-1 |
Sebagai produsen dan pemasok terkemuka produk Silicon Carbide Wafer Chuck di China, Silicon Carbide Wafer Chuck dari VeTek Semiconductor memainkan peran yang tak tergantikan dalam proses pertumbuhan epitaksi dengan ketahanan suhu tinggi yang sangat baik, ketahanan terhadap korosi kimia, dan ketahanan guncangan termal. Selamat datang konsultasi Anda lebih lanjut.
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanVeTek Semiconductor adalah produsen dan pemasok produk Kepala Pancuran Silikon Karbida terkemuka di Cina. Kepala Pancuran SiC memiliki toleransi suhu tinggi yang sangat baik, stabilitas kimia, konduktivitas termal, dan kinerja distribusi gas yang baik, yang dapat mencapai distribusi gas yang seragam dan meningkatkan kualitas film. Oleh karena itu, biasanya digunakan dalam proses suhu tinggi seperti proses deposisi uap kimia (CVD) atau deposisi uap fisik (PVD). Selamat datang konsultasi Anda lebih lanjut.
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanSebagai produsen dan pabrik produk Cincin Segel Silikon Karbida profesional di Cina, Cincin Segel Silikon Karbida Semikonduktor VeTek banyak digunakan dalam peralatan pemrosesan semikonduktor karena ketahanan panasnya yang sangat baik, ketahanan terhadap korosi, kekuatan mekanik, dan konduktivitas termal. Ini sangat cocok untuk proses yang melibatkan suhu tinggi dan gas reaktif seperti CVD, PVD, dan etsa plasma, dan merupakan pilihan material utama dalam proses manufaktur semikonduktor. Pertanyaan lebih lanjut Anda dipersilakan.
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanVeTek Semiconductor adalah produsen profesional dan pemimpin produk pemegang wafer berlapis SiC di Cina. Tempat wafer berlapis SiC merupakan tempat wafer untuk proses epitaksi dalam pemrosesan semikonduktor. Ini adalah perangkat yang sangat diperlukan yang menstabilkan wafer dan memastikan pertumbuhan seragam lapisan epitaksi. Selamat datang konsultasi Anda lebih lanjut.
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanVeTek Semiconductor adalah produsen dan pabrik Epi Wafer Holder profesional di Cina. Epi Wafer Holder adalah wafer holder untuk proses epitaksi pada pengolahan semikonduktor. Ini adalah alat utama untuk menstabilkan wafer dan memastikan pertumbuhan lapisan epitaksial yang seragam. Ini banyak digunakan dalam peralatan epitaksi seperti MOCVD dan LPCVD. Ini adalah perangkat yang sangat diperlukan dalam proses epitaksi. Selamat datang konsultasi Anda lebih lanjut.
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanSebagai produsen dan inovator produk Aixtron Satellite Wafer Carrier profesional di Tiongkok, Aixtron Satellite Wafer Carrier dari VeTek Semiconductor adalah pembawa wafer yang digunakan dalam peralatan AIXTRON, terutama digunakan dalam proses MOCVD dalam pemrosesan semikonduktor, dan sangat cocok untuk suhu tinggi dan presisi tinggi. proses pengolahan semikonduktor. Pembawa dapat memberikan dukungan wafer yang stabil dan deposisi film yang seragam selama pertumbuhan epitaksi MOCVD, yang penting untuk proses deposisi lapisan. Selamat datang konsultasi Anda lebih lanjut.
Baca selengkapnyamengirimkan permintaan