Rumah > Produk > Lapisan Silikon Karbida

Cina Lapisan Silikon Karbida Produsen, Pemasok, Pabrik

VeTek Semiconductor mengkhususkan diri dalam produksi produk Lapisan Silikon Karbida ultra murni, lapisan ini dirancang untuk diterapkan pada komponen logam grafit, keramik, dan tahan api yang dimurnikan.


Pelapis dengan kemurnian tinggi kami terutama ditargetkan untuk digunakan dalam industri semikonduktor dan elektronik. Mereka berfungsi sebagai lapisan pelindung untuk pembawa wafer, susceptor, dan elemen pemanas, melindunginya dari lingkungan korosif dan reaktif yang ditemui dalam proses seperti MOCVD dan EPI. Proses-proses ini merupakan bagian integral dari pemrosesan wafer dan pembuatan perangkat. Selain itu, pelapis kami sangat cocok untuk aplikasi dalam tungku vakum dan pemanasan sampel, di mana terdapat lingkungan vakum, reaktif, dan oksigen tinggi.


Di VeTek Semiconductor, kami menawarkan solusi komprehensif dengan kemampuan bengkel mesin canggih kami. Hal ini memungkinkan kami memproduksi komponen dasar menggunakan grafit, keramik, atau logam tahan api dan menerapkan pelapis keramik SiC atau TaC sendiri. Kami juga menyediakan layanan pelapisan untuk suku cadang yang dipasok pelanggan, memastikan fleksibilitas untuk memenuhi beragam kebutuhan.


Produk Silicon Carbide Coating kami banyak digunakan pada epitaksi Si, epitaksi SiC, sistem MOCVD, proses RTP/RTA, proses etsa, proses etsa ICP/PSS, proses berbagai jenis LED, antara lain LED biru dan hijau, LED UV dan UV dalam. LED dll, yang disesuaikan dengan peralatan dari LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI dan sebagainya.


Bagian reaktor yang bisa kita lakukan:


Aixtron G5 MOCVD Susceptors


Lapisan Silikon Karbida memiliki beberapa keunggulan unik:

Silicon Carbide Coating several unique advantages



Parameter Lapisan Silikon Karbida Semikonduktor VeTek

Sifat fisik dasar lapisan CVD SiC
Milik Nilai Khas
Struktur Kristal Polikristalin fase β FCC, terutama berorientasi (111).
Kepadatan lapisan SiC 3,21 gram/cm³
Lapisan SiCKekerasan Kekerasan Vickers 2500(beban 500g)
Ukuran Butir 2~10μm
Kemurnian Kimia 99,99995%
Kapasitas Panas 640J·kg-1·K-1
Suhu Sublimasi 2700℃
Kekuatan Lentur 415 MPa RT 4 titik
Modulus Muda tikungan 430 Gpa 4pt, 1300℃
Konduktivitas Termal 300W·m-1·K-1
Ekspansi Termal (CTE) 4,5×10-6K-1

STRUKTUR KRISTAL FILM CVD SIC

CVD SIC FILM CRYSTAL STRUCTURE



View as  
 
Susceptor Epitaxial GaN berbasis silikon

Susceptor Epitaxial GaN berbasis silikon

GaN Epitaxial Susceptor berbasis silikon adalah komponen inti yang diperlukan untuk produksi GaN Epitaxial. VeTek Semiconductor, sebagai produsen dan pemasok profesional, berkomitmen untuk menyediakan GaN Epitaxial Susceptor berbasis Silikon berkualitas tinggi. Susceptor Epitaxial GaN berbasis Silikon kami dirancang untuk sistem reaktor Epitaxial GaN berbasis Silikon dan memiliki kemurnian tinggi, ketahanan suhu tinggi yang sangat baik, dan ketahanan terhadap korosi. VeTek Semiconductor berkomitmen untuk menyediakan produk berkualitas dengan harga bersaing, selamat datang untuk bertanya.

Baca selengkapnyamengirimkan permintaan
Bagian Halfmoon 8 Inci untuk Reaktor LPE

Bagian Halfmoon 8 Inci untuk Reaktor LPE

VeTek Semiconductor adalah produsen peralatan semikonduktor terkemuka di Tiongkok, dengan fokus pada Litbang dan produksi Bagian Halfmoon 8 Inci untuk Reaktor LPE. Kami telah mengumpulkan banyak pengalaman selama bertahun-tahun, terutama dalam bahan pelapis SiC, dan berkomitmen untuk menyediakan solusi efisien yang disesuaikan untuk reaktor epitaksi LPE. Bagian Halfmoon 8 Inci kami untuk Reaktor LPE memiliki kinerja dan kompatibilitas yang sangat baik, dan merupakan komponen kunci yang sangat diperlukan dalam manufaktur epitaksi. Selamat datang pertanyaan Anda untuk mempelajari lebih lanjut tentang produk kami.

Baca selengkapnyamengirimkan permintaan
Susceptor Pancake Lapis SiC untuk Wafer LPE PE3061S 6''

Susceptor Pancake Lapis SiC untuk Wafer LPE PE3061S 6''

Susceptor Pancake Dilapisi SiC untuk wafer LPE PE3061S 6'' adalah salah satu komponen inti yang digunakan dalam pemrosesan wafer epitaksi wafer 6''. VeTek Semiconductor saat ini merupakan produsen dan pemasok terkemuka SiC Coated Pancake Susceptor untuk wafer LPE PE3061S 6'' di Cina. Susceptor Pancake Berlapis SiC yang disediakannya memiliki karakteristik yang sangat baik seperti ketahanan korosi yang tinggi, konduktivitas termal yang baik, dan keseragaman yang baik. Menantikan pertanyaan Anda.

Baca selengkapnyamengirimkan permintaan
Dukungan Berlapis SiC untuk LPE PE2061S

Dukungan Berlapis SiC untuk LPE PE2061S

VeTek Semiconductor adalah produsen dan pemasok SiC Coated Support terkemuka untuk LPE PE2061S di Cina. Dukungan Dilapisi SiC untuk LPE PE2061S cocok untuk reaktor epitaksi silikon LPE. Sebagai bagian bawah dasar barel, Dukungan Dilapisi SiC untuk LPE PE2061S dapat menahan suhu tinggi 1600 derajat Celcius, sehingga mencapai masa pakai produk yang sangat lama dan mengurangi biaya pelanggan. Menantikan pertanyaan Anda dan komunikasi lebih lanjut.

Baca selengkapnyamengirimkan permintaan
Pelat Atas Dilapisi SiC untuk LPE PE2061S

Pelat Atas Dilapisi SiC untuk LPE PE2061S

VeTek Semiconductor telah terlibat secara mendalam dalam produk pelapisan SiC selama bertahun-tahun dan telah menjadi produsen dan pemasok Pelat Atas Dilapisi SiC terkemuka untuk LPE PE2061S di Cina. Pelat Atas Berlapis SiC untuk LPE PE2061S yang kami sediakan dirancang untuk reaktor epitaksi silikon LPE dan terletak di bagian atas bersama dengan dasar barel. Pelat Atas Berlapis SiC untuk LPE PE2061S ini memiliki karakteristik luar biasa seperti kemurnian tinggi, stabilitas dan keseragaman termal yang sangat baik, yang membantu menumbuhkan lapisan epitaksi berkualitas tinggi. Apa pun produk yang Anda butuhkan, kami menantikan pertanyaan Anda.

Baca selengkapnyamengirimkan permintaan
Susceptor Barel Dilapisi SiC untuk LPE PE2061S

Susceptor Barel Dilapisi SiC untuk LPE PE2061S

Sebagai salah satu pabrik pembuatan suseptor wafer terkemuka di Tiongkok, VeTek Semiconductor telah membuat kemajuan berkelanjutan dalam produk suseptor wafer dan telah menjadi pilihan pertama bagi banyak produsen wafer epitaksi. Susceptor Barrel Dilapisi SiC untuk LPE PE2061S yang disediakan oleh VeTek Semiconductor dirancang untuk wafer LPE PE2061S 4''. Susceptor memiliki lapisan silikon karbida tahan lama yang meningkatkan kinerja dan daya tahan selama proses LPE (liquidphase epitaxy). Selamat datang pertanyaan Anda, kami berharap dapat menjadi mitra jangka panjang Anda.

Baca selengkapnyamengirimkan permintaan
Sebagai produsen dan pemasok Lapisan Silikon Karbida profesional di Tiongkok, kami memiliki pabrik sendiri. Apakah Anda memerlukan layanan khusus untuk memenuhi kebutuhan spesifik wilayah Anda atau ingin membeli Lapisan Silikon Karbida canggih dan tahan lama buatan Tiongkok, Anda dapat meninggalkan pesan kepada kami.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept