VeTek Semiconductor adalah produsen dan inovator Kepala Pancuran SiC terkemuka di China. Kami telah mengkhususkan diri dalam bahan SiC selama bertahun-tahun. Kepala Pancuran SiC dipilih sebagai bahan cincin pemfokusan karena stabilitas termokimia yang sangat baik, kekuatan mekanik yang tinggi, dan ketahanan terhadap erosi plasma. .Kami berharap dapat menjadi mitra jangka panjang Anda di Tiongkok.
Anda dapat yakin untuk membeli Kepala Pancuran SiC dari pabrik kami.
Bahan silikon karbida memiliki kombinasi unik antara sifat termal, listrik, dan kimia yang sangat baik, menjadikannya ideal untuk aplikasi di industri semikonduktor yang memerlukan bahan berkinerja tinggi.
Teknologi revolusioner VeTek Semiconductor memungkinkan produksi SiC Shower Head, bahan silikon karbida dengan kemurnian sangat tinggi yang dibuat melalui proses Deposisi Uap Kimia.
Kepala Pancuran SiC adalah komponen penting dalam manufaktur semikonduktor, yang dirancang khusus untuk sistem MOCVD, epitaksi silikon, dan proses epitaksi SiC. Terbuat dari silikon karbida padat (SiC) yang kuat, komponen ini tahan terhadap kondisi ekstrem pemrosesan plasma dan aplikasi suhu tinggi.
Silikon karbida (SiC) dikenal dengan konduktivitas termal yang tinggi, ketahanan terhadap korosi kimia, dan kekuatan mekanik yang luar biasa, menjadikannya bahan yang ideal untuk komponen SiC massal seperti Kepala Pancuran SiC. Kepala pancuran gas memastikan pemerataan gas proses di atas permukaan wafer, yang penting untuk menghasilkan lapisan epitaksi berkualitas tinggi. Cincin fokus dan cincin tepi, sering kali dibuat dari CVD-SiC, menjaga distribusi plasma seragam dan melindungi ruangan dari kontaminasi, meningkatkan efisiensi dan hasil pertumbuhan epitaksi.
Dengan kontrol aliran gas yang presisi dan sifat material yang luar biasa, Kepala Pancuran SiC adalah komponen kunci dalam pemrosesan semikonduktor modern, mendukung aplikasi tingkat lanjut dalam epitaksi silikon dan epitaksi SiC.
VeTek Semiconductor menawarkan kepala pancuran semikonduktor silikon karbida sinter resistivitas rendah. Kami memiliki kemampuan untuk merekayasa dan memasok bahan keramik canggih dengan memanfaatkan berbagai kemampuan unik.
Sifat fisik SiC Padat | |||
Kepadatan | 3.21 | gram/cm3 | |
Resistivitas Listrik | 102 | ohm/cm | |
Kekuatan Lentur | 590 | MPa | (6000kgf/cm2) |
Modulus Young | 450 | IPK | (6000kgf/mm2) |
Kekerasan Vickers | 26 | IPK | (2650kgf/mm2) |
CTE(RT-1000℃) | 4.0 | x10-6/K | |
Konduktivitas Termal (RT) | 250 | W/mK |