Lapisan karbida unik VeTek Semiconductor memberikan perlindungan unggul untuk bagian grafit dalam Proses Epitaxy SiC untuk pemrosesan bahan semikonduktor dan semikonduktor komposit yang menuntut. Hasilnya adalah masa pakai komponen grafit yang lebih lama, stoikiometri reaksi yang terjaga, penghambatan migrasi pengotor ke aplikasi epitaksi dan pertumbuhan kristal, sehingga menghasilkan peningkatan hasil dan kualitas.
Lapisan tantalum karbida (TaC) kami melindungi komponen penting tungku dan reaktor pada suhu tinggi (hingga 2200°C) dari amonia panas, hidrogen, uap silikon, dan logam cair. VeTek Semiconductor memiliki beragam kemampuan pemrosesan dan pengukuran grafit untuk memenuhi kebutuhan khusus Anda, sehingga kami dapat menawarkan pelapisan berbayar atau layanan lengkap, dengan tim insinyur ahli kami siap merancang solusi yang tepat untuk Anda dan aplikasi spesifik Anda. .
Kristal semikonduktor majemuk
VeTek Semiconductor dapat menyediakan pelapis TaC khusus untuk berbagai komponen dan pembawa. Melalui proses pelapisan terdepan di industri VeTek Semiconductor, pelapisan TaC dapat memperoleh kemurnian tinggi, stabilitas suhu tinggi, dan ketahanan kimia yang tinggi, sehingga meningkatkan kualitas produk lapisan kristal TaC/GaN) dan EPl, serta memperpanjang masa pakai komponen reaktor penting.
Isolator termal
Komponen pertumbuhan kristal SiC, GaN dan AlN termasuk cawan lebur, penahan benih, deflektor dan filter. Rakitan industri termasuk elemen pemanas resistif, nozel, cincin pelindung dan perlengkapan mematri, komponen reaktor CVD epitaksi GaN dan SiC termasuk pembawa wafer, baki satelit, kepala pancuran, tutup dan alas, komponen MOCVD.
Pembawa Wafer LED (Dioda Pemancar Cahaya).
Penerima ALD (Semikonduktor).
Reseptor EPI (Proses Epitaksi SiC)
Susceptor Satelit berlapis TaC Susceptor & Cincin Lapisan TaC Bagian Lapisan TaC Bagian Halfmoon dengan Lapisan TaC
SiC | TaC | |
Fitur utama | Kemurnian ultra tinggi, ketahanan Plasma yang sangat baik | Stabilitas suhu tinggi yang sangat baik (kesesuaian proses suhu tinggi) |
Kemurnian | >99,9999% | >99,9999% |
Kepadatan (g/cm 3) | 3.21 | 15 |
Kekerasan (kg/mm 2) | 2900-3300 | 6.7-7.2 |
Resistivitas [Ωcm] | 0,1-15.000 | <1 |
Konduktivitas termal (W/m-K) | 200-360 | 22 |
Koefisien muai panas (10-6/℃) | 4.5-5 | 6.3 |
Aplikasi | Peralatan Semikonduktor Jig Keramik (Cincin Fokus, Kepala Pancuran, Wafer Dummy) | SiC Pertumbuhan kristal tunggal, Epi, bagian Peralatan LED UV |
VeTek Semiconductor adalah produsen dan inovator Cincin Tiga Kelopak Berlapis TaC terkemuka di China. Kami telah mengkhususkan diri dalam pelapisan TaC dan SiC selama bertahun-tahun. Produk kami memiliki ketahanan terhadap korosi, kekuatan tinggi. Kami berharap dapat menjadi mitra jangka panjang Anda di Tiongkok.
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanVeTek Semiconductor adalah produsen dan inovator Tantalum Carbide Coated Chuck terkemuka di China. Kami telah mengkhususkan diri dalam pelapisan TaC selama bertahun-tahun. Produk kami memiliki kemurnian tinggi dan ketahanan suhu tinggi hingga 2000 ℃. Kami berharap dapat menjadi jangka panjang Anda mitra di Tiongkok.
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanVeTek Semiconductor adalah produsen dan inovator Tantalum Carbide Coated Cover terkemuka di China. Kami telah mengkhususkan diri dalam pelapisan TaC dan SiC selama bertahun-tahun. Produk kami memiliki ketahanan terhadap korosi, kekuatan tinggi. Kami berharap dapat menjadi mitra jangka panjang Anda di Tiongkok.
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanVeTek Semiconductor adalah pemasok terkemuka Halfmoon Bawah Grafit Ultra Murni yang disesuaikan di Tiongkok, yang mengkhususkan diri pada material canggih selama bertahun-tahun. Halfmoon Bawah Grafit Ultra Murni kami dirancang khusus untuk peralatan epitaksi SiC, memastikan kinerja yang sangat baik. Terbuat dari grafit impor ultra murni, ia menawarkan keandalan dan daya tahan. Kunjungi pabrik kami di Tiongkok untuk menjelajahi Halfmoon Bawah Grafit Ultra Murni kami yang berkualitas tinggi secara langsung.
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanVeTek Semiconductor adalah pemasok terkemuka SiC Bagian Halfmoon Atas yang dilapisi khusus di Tiongkok, yang mengkhususkan diri pada material canggih selama lebih dari 20 tahun. VeTek Semiconductor Upper Halfmoon Part SiC dilapisi dirancang khusus untuk peralatan epitaksi SiC, berfungsi sebagai komponen penting dalam ruang reaksi. Terbuat dari grafit tingkat semikonduktor ultra murni, memastikan kinerja luar biasa. Kami mengundang Anda untuk mengunjungi pabrik kami di Cina.
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanVeTek Semiconductor adalah pemasok Wafer Epitaxy Silicon Carbide terkemuka yang disesuaikan di China. Kami telah mengkhususkan diri dalam material canggih lebih dari 20 tahun. Pembawa Wafer Epitaxy Silikon Karbida ini adalah bagian penting yang dilapisi SiC pada bagian setengah bulan, tahan suhu tinggi, tahan oksidasi, tahan aus. Kami menyambut Anda untuk mengunjungi pabrik kami di Cina.
Baca selengkapnyamengirimkan permintaan