Cina Proses Epitaksi SiC Produsen, Pemasok, Pabrik

Lapisan karbida unik VeTek Semiconductor memberikan perlindungan unggul untuk bagian grafit dalam Proses Epitaxy SiC untuk pemrosesan bahan semikonduktor dan semikonduktor komposit yang menuntut. Hasilnya adalah masa pakai komponen grafit yang lebih lama, stoikiometri reaksi yang terjaga, penghambatan migrasi pengotor ke aplikasi epitaksi dan pertumbuhan kristal, sehingga menghasilkan peningkatan hasil dan kualitas.

Lapisan tantalum karbida (TaC) kami melindungi komponen penting tungku dan reaktor pada suhu tinggi (hingga 2200°C) dari amonia panas, hidrogen, uap silikon, dan logam cair. VeTek Semiconductor memiliki beragam kemampuan pemrosesan dan pengukuran grafit untuk memenuhi kebutuhan khusus Anda, sehingga kami dapat menawarkan pelapisan berbayar atau layanan lengkap, dengan tim insinyur ahli kami siap merancang solusi yang tepat untuk Anda dan aplikasi spesifik Anda. .

Kristal semikonduktor majemuk

VeTek Semiconductor dapat menyediakan pelapis TaC khusus untuk berbagai komponen dan pembawa. Melalui proses pelapisan terdepan di industri VeTek Semiconductor, pelapisan TaC dapat memperoleh kemurnian tinggi, stabilitas suhu tinggi, dan ketahanan kimia yang tinggi, sehingga meningkatkan kualitas produk lapisan kristal TaC/GaN) dan EPl, serta memperpanjang masa pakai komponen reaktor penting.

Isolator termal

Komponen pertumbuhan kristal SiC, GaN dan AlN termasuk cawan lebur, penahan benih, deflektor dan filter. Rakitan industri termasuk elemen pemanas resistif, nozel, cincin pelindung dan perlengkapan mematri, komponen reaktor CVD epitaksi GaN dan SiC termasuk pembawa wafer, baki satelit, kepala pancuran, tutup dan alas, komponen MOCVD.

Tujuan:

Pembawa Wafer LED (Dioda Pemancar Cahaya).

Penerima ALD (Semikonduktor).

Reseptor EPI (Proses Epitaksi SiC)

Susceptor Satelit berlapis TaC Susceptor & Cincin Lapisan TaC Bagian Lapisan TaC Bagian Halfmoon dengan Lapisan TaC

Perbandingan Lapisan SiC dan Lapisan TaC:

	SiC	TaC
Fitur utama	Kemurnian ultra tinggi, ketahanan Plasma yang sangat baik	Stabilitas suhu tinggi yang sangat baik (kesesuaian proses suhu tinggi)
Kemurnian	>99,9999%	>99,9999%
Kepadatan (g/cm 3)	3.21	15
Kekerasan (kg/mm 2)	2900-3300	6.7-7.2
Resistivitas [Ωcm]	0,1-15.000	<1
Konduktivitas termal (W/m-K)	200-360	22
Koefisien muai panas (10-6/℃)	4.5-5	6.3
Aplikasi	Peralatan Semikonduktor Jig Keramik (Cincin Fokus, Kepala Pancuran, Wafer Dummy)	SiC Pertumbuhan kristal tunggal, Epi, bagian Peralatan LED UV

View as

GaN pada akseptor epi SiC

VeTek Semiconductor adalah produsen profesional GaN pada susceptor epi SiC, lapisan CVD SiC, dan susceptor grafit CVD TAC COATING di Cina. Diantaranya, GaN pada epi susceptor SiC memainkan peran penting dalam pemrosesan semikonduktor. Melalui konduktivitas termal yang sangat baik, kemampuan pemrosesan suhu tinggi, dan stabilitas kimia, ini memastikan efisiensi tinggi dan kualitas material dari proses pertumbuhan epitaksi GaN. Kami dengan tulus menantikan konsultasi Anda selanjutnya.

Baca selengkapnya mengirimkan permintaan

Pembawa Lapisan CVD TaC

Pembawa CVD TaC Coating VeTek Semiconductor terutama dirancang untuk proses epitaksi manufaktur semikonduktor. Titik leleh ultra-tinggi dari pembawa CVD TaC Coating, ketahanan terhadap korosi yang sangat baik, dan stabilitas termal yang luar biasa menentukan sangat diperlukannya produk ini dalam proses epitaksi semikonduktor. Kami dengan tulus berharap dapat membangun hubungan bisnis jangka panjang dengan Anda.

Baca selengkapnya mengirimkan permintaan

Cincin Panduan Pelapisan TaC

Cincin Panduan Pelapisan TaC Semikonduktor VeTek dibuat dengan menerapkan lapisan tantalum karbida ke bagian grafit menggunakan teknik canggih yang disebut deposisi uap kimia (CVD). Metode ini sudah mapan dan menawarkan sifat pelapisan yang luar biasa. Dengan memanfaatkan Cincin Panduan Pelapisan TaC, masa pakai komponen grafit dapat diperpanjang secara signifikan, pergerakan pengotor grafit dapat ditekan, dan kualitas kristal tunggal SiC dan AIN dapat dipertahankan dengan andal. Selamat datang untuk menanyakan kami.

Baca selengkapnya mengirimkan permintaan

Suseptor Grafit Berlapis TaC

Susceptor Grafit Berlapis TaC Semikonduktor VeTek menggunakan metode deposisi uap kimia (CVD) untuk menyiapkan lapisan tantalum karbida pada permukaan bagian grafit. Proses ini merupakan proses yang paling matang dan mempunyai sifat pelapisan terbaik. Susceptor Grafit Berlapis TaC dapat memperpanjang masa pakai komponen grafit, menghambat migrasi pengotor grafit, dan memastikan kualitas epitaksi. Semikonduktor VeTek menantikan pertanyaan Anda.

Baca selengkapnya mengirimkan permintaan

Penerima Lapisan TaC

VeTek Semiconductor menghadirkan TaC Coating Susceptor, Dengan lapisan TaC yang luar biasa, susceptor ini menawarkan banyak keunggulan yang membedakannya dari solusi konvensional. Terintegrasi secara mulus ke dalam sistem yang ada, TaC Coating Susceptor dari VeTek Semiconductor menjamin kompatibilitas dan pengoperasian yang efisien. Kinerjanya yang andal dan lapisan TaC berkualitas tinggi secara konsisten memberikan hasil luar biasa dalam proses epitaksi SiC. Kami berkomitmen untuk menyediakan produk berkualitas dengan harga bersaing dan berharap dapat menjadi mitra jangka panjang Anda di Tiongkok.

Baca selengkapnya mengirimkan permintaan

Pelat Rotasi Lapisan TaC

Pelat Rotasi Lapisan TaC Semikonduktor VeTek menawarkan lapisan TaC yang luar biasa, Dengan lapisan TaC yang luar biasa, Pelat Rotasi Lapisan TaC memiliki ketahanan suhu tinggi dan kelembaman kimia yang luar biasa, yang membedakannya dari solusi tradisional. Kami berkomitmen untuk menyediakan produk berkualitas dengan daya saing harga dan berharap dapat menjadi mitra jangka panjang Anda di Tiongkok.

Baca selengkapnya mengirimkan permintaan

<1 2 3 4 5...6 >

Sebagai produsen dan pemasok Proses Epitaksi SiC profesional di Tiongkok, kami memiliki pabrik sendiri. Apakah Anda memerlukan layanan khusus untuk memenuhi kebutuhan spesifik wilayah Anda atau ingin membeli Proses Epitaksi SiC canggih dan tahan lama buatan Tiongkok, Anda dapat meninggalkan pesan kepada kami.