Suseptor wafer berlapis TaC

eTek Semiconductor TaC Coated Wafer Susceptor adalah baki grafit yang dilapisi tantalum karbida untuk pertumbuhan epitaksi silikon karbida guna meningkatkan kualitas dan kinerja wafer. VeTek dipilih karena teknologi pelapisannya yang canggih dan solusi yang tahan lama untuk memastikan hasil epitaksi SiC yang sangat baik dan masa pakai susceptor yang lebih lama, menyambut pertanyaan Anda lebih lanjut.

mengirimkan permintaan

Deskripsi Produk

Susceptor wafer berlapis VeTek Semiconductor TaC adalah komponen kunci yang digunakan dalamDeposisi Uap Kimia Logam-Organik (MOCVD)reaktor untukproses epitaksi semikonduktor (epi).. Basis bundar khusus ini terbuat dari grafit berkualitas tinggi dan dilapisi dengan lapisan Tantalum Carbide (TaC), yang terkenal dengan sifat termal dan kimianya yang luar biasa.

Fungsi utama lapisan TaC adalah untuk meningkatkan kinerja dan daya tahan suseptor wafer dalam kondisi manufaktur semikonduktor yang keras. Tantalum Carbide terkenal dengan kekerasannya, titik lelehnya yang tinggi, dan ketahanan aus yang luar biasa, menjadikannya lapisan pelindung yang ideal. Lapisan ini melindungi dasar grafit di bawahnya dari reaksi kimia korosif dan tekanan mekanis yang terjadi di dalamnyaReaktor MOCVD, memperpanjang umur peralatan dan meningkatkan keandalan.

Selama pertumbuhan epitaksi bahan semikonduktor, susceptor wafer berlapis TaC memainkan peran penting dengan memastikan deposisi film yang tepat. Ketahanannya terhadap suhu tinggi dan lingkungan kimia yang keras sangat penting untuk produksi perangkat semikonduktor yang akurat, sehingga peralatan dapat berfungsi secara stabil dalam kondisi proses yang berat.

Kombinasi dari ainti grafitDanlapisan TaCmemastikan distribusi panas yang seragam di seluruh susceptor, yang penting untuk meningkatkan kemampuan pengulangan dan kualitas lapisan semikonduktor yang tumbuh selama proses MOCVD. Desain material canggih ini tidak hanya memberikan daya tahan tetapi juga memenuhi tuntutan ketat manufaktur semikonduktor modern untuk komponen elektronik berkinerja tinggi.

Sebagai pemasok dan produsen terkemuka susceptor wafer berlapis TaC, VeTek Semiconductor berkomitmen untuk memberikan solusi teknis berkualitas tinggi untuk industri semikonduktor. Kami berharap dapat menjadi mitra tepercaya jangka panjang Anda di Tiongkok, menawarkan produk yang dapat diandalkan dan disesuaikan.

Toko susceptor wafer berlapis VeTek Semiconductor TaC:

TaC coated wafer susceptor shops