VeTek Semiconductor mengkhususkan diri dalam produksi produk Lapisan Silikon Karbida ultra murni, lapisan ini dirancang untuk diterapkan pada komponen logam grafit, keramik, dan tahan api yang dimurnikan.
Pelapis dengan kemurnian tinggi kami terutama ditargetkan untuk digunakan dalam industri semikonduktor dan elektronik. Mereka berfungsi sebagai lapisan pelindung untuk pembawa wafer, susceptor, dan elemen pemanas, melindunginya dari lingkungan korosif dan reaktif yang ditemui dalam proses seperti MOCVD dan EPI. Proses-proses ini merupakan bagian integral dari pemrosesan wafer dan pembuatan perangkat. Selain itu, pelapis kami sangat cocok untuk aplikasi dalam tungku vakum dan pemanasan sampel, di mana terdapat lingkungan vakum, reaktif, dan oksigen tinggi.
Di VeTek Semiconductor, kami menawarkan solusi komprehensif dengan kemampuan bengkel mesin canggih kami. Hal ini memungkinkan kami memproduksi komponen dasar menggunakan grafit, keramik, atau logam tahan api dan menerapkan pelapis keramik SiC atau TaC sendiri. Kami juga menyediakan layanan pelapisan untuk suku cadang yang dipasok pelanggan, memastikan fleksibilitas untuk memenuhi beragam kebutuhan.
Produk Silicon Carbide Coating kami banyak digunakan pada epitaksi Si, epitaksi SiC, sistem MOCVD, proses RTP/RTA, proses etsa, proses etsa ICP/PSS, proses berbagai jenis LED, antara lain LED biru dan hijau, LED UV dan UV dalam. LED dll, yang disesuaikan dengan peralatan dari LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI dan sebagainya.
Sifat fisik dasar lapisan CVD SiC | |
Milik | Nilai Khas |
Struktur Kristal | Polikristalin fase β FCC, terutama berorientasi (111). |
Kepadatan | 3,21 gram/cm³ |
Kekerasan | Kekerasan Vickers 2500(beban 500g) |
Ukuran Butir | 2~10μm |
Kemurnian Kimia | 99,99995% |
Kapasitas Panas | 640 J·kg-1·K-1 |
Suhu Sublimasi | 2700℃ |
Kekuatan Lentur | 415 MPa RT 4 titik |
Modulus Muda | tikungan 430 Gpa 4pt, 1300℃ |
Konduktivitas Termal | 300W·m-1·K-1 |
Ekspansi Termal (CTE) | 4,5×10-6K-1 |
VeTek Semiconductor adalah produsen dan pemasok susceptor pelapis SiC MOCVD terkemuka di Tiongkok, dengan fokus pada Litbang dan produksi produk pelapis SiC selama bertahun-tahun. Susceptor lapisan SiC MOCVD kami memiliki toleransi suhu tinggi yang sangat baik, konduktivitas termal yang baik, dan koefisien ekspansi termal yang rendah, memainkan peran penting dalam mendukung dan memanaskan wafer silikon atau silikon karbida (SiC) dan pengendapan gas yang seragam. Selamat datang untuk berkonsultasi lebih lanjut.
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanSebagai produsen dan pemasok semikonduktor profesional, VeTek Semiconductor dapat menyediakan berbagai komponen grafit yang diperlukan untuk sistem pertumbuhan epitaksi SiC. Bagian grafit setengah bulan pelapis SiC ini dirancang untuk bagian saluran masuk gas reaktor epitaksi dan memainkan peran penting dalam mengoptimalkan proses pembuatan semikonduktor. VeTek Semiconductor selalu berusaha menyediakan produk dengan kualitas terbaik dan harga paling kompetitif kepada pelanggan. VeTek Semiconductor berharap dapat menjadi mitra jangka panjang Anda di Tiongkok.
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanPemanas grafit Zona Panas Semikonduktor VeTek dirancang untuk menangani kondisi ekstrem di tungku suhu tinggi dan menjaga kinerja dan stabilitas yang sangat baik dalam proses kompleks seperti deposisi uap kimia (CVD), pertumbuhan epitaksi, dan anil suhu tinggi. VeTekSemi selalu fokus memproduksi dan menyediakan pemanas grafit Hot Zone berkualitas tinggi untuk memastikan efektivitas biaya terbaik bagi pelanggan. Kami dengan tulus mengundang Anda untuk menghubungi kami.
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanVeTek Semiconductor adalah produsen dan pemasok produk pemanas VEECO MOCVD terkemuka di Cina. Pemanas MOCVD memiliki kemurnian kimia yang sangat baik, stabilitas termal dan ketahanan terhadap korosi. Ini adalah produk yang sangat diperlukan dalam proses pengendapan uap kimia organik logam (MOCVD). Selamat datang di pertanyaan Anda lebih lanjut.
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanSebagai produsen dan pemasok produk Susceptor VEECO MOCVD terkemuka di Tiongkok, Susceptor MOCVD Semikonduktor VeTek mewakili puncak inovasi dan keunggulan teknik, yang disesuaikan secara khusus untuk memenuhi persyaratan kompleks proses manufaktur semikonduktor kontemporer. Selamat datang pertanyaan Anda lebih lanjut.
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanSebagai produsen dan pabrik produk Bagian Penyegelan SiC canggih di Cina. VeTek Semiconducto SiC Sealing Part adalah komponen penyegelan berkinerja tinggi yang banyak digunakan dalam pemrosesan semikonduktor dan proses suhu tinggi dan tekanan tinggi ekstrem lainnya. Selamat datang konsultasi Anda lebih lanjut.
Baca selengkapnyamengirimkan permintaan