Chuck Wafer Silikon Karbida

Sebagai produsen dan pemasok terkemuka produk Silicon Carbide Wafer Chuck di China, Silicon Carbide Wafer Chuck dari VeTek Semiconductor memainkan peran yang tak tergantikan dalam proses pertumbuhan epitaksi dengan ketahanan suhu tinggi yang sangat baik, ketahanan terhadap korosi kimia, dan ketahanan guncangan termal. Selamat datang konsultasi Anda lebih lanjut.

mengirimkan permintaan

Deskripsi Produk

VeTek Semiconductor Silicon Carbide Wafer Chuck menggunakan sifat bahan Silicon Carbide yang sangat baik untuk memenuhi persyaratan ketat produksi semikonduktor, terutama dalam pemrosesan semikonduktor yang memerlukan presisi dan keandalan yang sangat tinggi.

Dalam proses pemrosesan semikonduktor,Silikon Karbidamemiliki ketahanan suhu tinggi yang sangat baik (dapat bekerja secara stabil hingga 1400°C), konduktivitas rendah (SiC memiliki konduktivitas yang relatif rendah, biasanya 10^^-3S/m) dan koefisien muai panas yang rendah (sekitar 4,0 × 10^^-6/°C), yang merupakan bahan yang sangat diperlukan dan penting, terutama cocok untuk pembuatan Silicon Carbide Wafer Chuck.

Selamaproses pertumbuhan epitaksial, lapisan tipis bahan semikonduktor diendapkan pada substrat, memerlukan stabilitas mutlak dari wafer untuk memastikan lapisan pengendapan film yang seragam dan berkualitas tinggi. SiC Vacuum Chuck mencapai hal ini dengan menciptakan penahan vakum yang kuat dan konsisten untuk mencegah pergerakan atau deformasi wafer.

Silikon Karbida Wafer Chuck juga menawarkan ketahanan yang sangat baik terhadap guncangan termal. Perubahan suhu yang cepat biasa terjadi pada manufaktur semikonduktor, dan material yang tidak dapat menahan fluktuasi ini dapat retak, bengkok, atau rusak. Silikon karbida memiliki koefisien muai panas yang rendah dan dapat mempertahankan bentuk dan fungsinya bahkan di bawah perubahan suhu yang drastis, memastikan wafer tetap aman selama proses epitaksi tanpa pergerakan atau ketidaksejajaran.

Selain itu,proses epitaksisering kali melibatkan gas reaktif dan bahan kimia korosif lainnya. Kelambanan kimiawi dari SiC Wafer Chuck memastikan bahwa ia tidak terpengaruh oleh lingkungan yang keras ini, sehingga mempertahankan kinerjanya dan memperpanjang masa pakainya. Daya tahan bahan kimia ini tidak hanya mengurangi frekuensi penggantian Wafer Chuck, namun juga memastikan kinerja produk yang konsisten selama beberapa siklus produksi, membantu meningkatkan efisiensi keseluruhan dan efektivitas biaya proses manufaktur semikonduktor.

VeTek Semiconductor adalah produsen dan pemasok produk Silicon Carbide Wafer Chuck terkemuka di Cina. Kami dapat menyediakan berbagai jenis produk Chuck sepertiChuck Keramik SiC Berpori, Chuck Vakum SiC Berpori, Chuck Vakum Keramik BerporiDanChuck Dilapisi TaC, dll. VeTek Semiconductor berkomitmen untuk menyediakan teknologi canggih dan solusi produk untuk industri semikonduktor. Kami sangat berharap dapat menjadi mitra jangka panjang Anda di Tiongkok.

DATA SEM DARI CVDSTRUKTUR KRISTAL FILM SIC：

CVD SIC FILM CRYSTAL STRUCTURE