Pemanas grafit Zona Panas

Pemanas grafit Zona Panas Semikonduktor VeTek dirancang untuk menangani kondisi ekstrem yang ditemukan dalam tungku suhu tinggi. Pemanas mampu menahan lingkungan keras yang biasa ditemukan dalam pemrosesan suhu tinggi, bergantung pada fitur produk spesifik yang tercantum di bawah.

Distribusi suhu yang seragam: Pemanas grafit Hot Zone dikenal dengan karakteristik pemanasan seragamnya yang sangat baik, berkat kombinasi sempurna antara pemilihan material presisi tinggi dan teknologi pemrosesan presisi. Keseragaman tersebut memastikan distribusi suhu yang lancar di seluruh permukaan pemanas, secara efektif mengurangi pemrosesan wafer yang tidak merata akibat gradien termal, sehingga meningkatkan hasil produk dan konsistensi kinerja peralatan.

Ketahanan korosi yang sangat baik: pemanas grafit untuk Hot Zone menunjukkan ketahanan yang kuat terhadap berbagai gas korosif dan bahan kimia yang ditemui dalam proses pembuatan semikonduktor suhu tinggi. Kelambanan alami bahan grafit memungkinkan pemanas grafit menjaga stabilitas jangka panjang di lingkungan yang keras, secara signifikan mengurangi risiko kontaminasi dan memperpanjang masa pakai peralatan.

Kinerja anti-oksidasi yang sangat baik: Dibandingkan dengan bahan grafit tradisional, pemanas grafit Hot Zone masih memiliki kemampuan anti-oksidasi yang sangat baik pada suhu tinggi. Fitur ini sangat penting untuk mencegah kerusakan oksidatif pada permukaan pemanas selama pemrosesan suhu tinggi dan menghindari timbulnya kontaminasi partikel di ruang pemrosesan, sehingga menjamin pengoperasian peralatan yang efisien dan berkelanjutan.

Kemurnian kimia yang sangat tinggi: Setelah pemrosesan yang ketat, pemanas grafit kami telah mencapai tingkat kemurnian kimia yang sangat tinggi, yang secara efektif mencegah masuknya kotoran berbahaya ke dalam lingkungan pemrosesan semikonduktor. Kemurnian ini sangat penting untuk melindungi integritas bahan semikonduktor presisi dan menghasilkan perangkat yang memenuhi sifat listrik dan optik yang diharapkan.

Kekuatan dan stabilitas mekanik yang tinggi: Pemanas grafit Hot Zone VeTekSemi memiliki kekuatan mekanik dan stabilitas dimensi yang sangat baik, menjaga integritas struktural bahkan dalam kondisi pengoperasian suhu tinggi. Baik dihadapkan pada siklus termal yang sering terjadi atau tekanan mekanis yang berat, pemanas grafit untuk Hot Zone mempertahankan ketahanannya dan memberikan dukungan yang kokoh dan andal untuk lingkungan pemrosesan semikonduktor yang keras.

Selain itu, VeTeksemi juga menawarkan berbagai ukuran dan konfigurasi khusus pemanas grafit untuk memenuhi kebutuhan proses manufaktur semikonduktor yang berbeda. sepertigrafit pelapis keramik sicpemanas、Pemanas VEECO MOCVD, dll.  VeTek Semiconductor berkomitmen untuk menyediakan teknologi dan solusi produk yang canggih dan dapat disesuaikan untuk industri semikonduktor. Kami sangat berharap dapat menjadi mitra jangka panjang Anda di Tiongkok.