VeTek Semiconductor adalah mitra inovatif Anda di bidang pemrosesan semikonduktor. Dengan portofolio kami yang luas untuk kombinasi material Keramik Silikon Karbida tingkat semikonduktor, kemampuan manufaktur komponen, dan layanan rekayasa aplikasi, kami dapat membantu Anda mengatasi tantangan yang signifikan. Teknik teknis Keramik Silikon Karbida banyak diterapkan di industri semikonduktor karena kinerja materialnya yang luar biasa. Keramik Silikon Karbida ultra-murni VeTek Semiconductor sering digunakan di seluruh siklus pembuatan dan pemrosesan semikonduktor.
VeTek Semiconductor menyediakan komponen keramik rekayasa yang dirancang khusus untuk difusi batch dan persyaratan LPCVD termasuk:
• Penyekat & penahan
• Injektor
• Liner & tabung proses
• Dayung Kantilever Silikon Karbida
• Perahu wafer dan alasnya
Dayung Kantilever SiC Tabung Proses SiC Tabung Proses Silikon Karbida perahu wafer vertikal SiC perahu wafer horizontal SiC Perahu wafer persegi horizontal SiC perahu wafer SiC LPCVD Perahu pelat horizontal SiC Perahu wafer bundar SiC
Minimalkan kontaminasi dan pemeliharaan tak terjadwal dengan komponen dengan kemurnian tinggi yang dirancang untuk pemrosesan etsa plasma yang ketat, termasuk:
Cincin fokus
Nozel
Perisai
Pancuran
Jendela / Tutup
Komponen khusus lainnya
VeTek Semiconductor menyediakan komponen material canggih yang disesuaikan untuk aplikasi pemrosesan termal suhu tinggi di industri semikonduktor. Aplikasi ini mencakup RTP, proses Epi, difusi, oksidasi, dan anil. Keramik teknis kami dirancang untuk tahan terhadap guncangan termal, memberikan kinerja yang andal dan konsisten. Dengan komponen VeTek Semiconductor, produsen semikonduktor dapat mencapai pemrosesan termal yang efisien dan berkualitas tinggi, sehingga berkontribusi terhadap keberhasilan produksi semikonduktor secara keseluruhan.
• Diffuser
• Isolator
• Reseptor
• Komponen termal khusus lainnya
Sifat fisik Silikon Karbida Rekristalisasi | |
Properti | Nilai khas |
Suhu kerja (°C) | 1600°C (dengan oksigen), 1700°C (mengurangi lingkungan) |
Konten SiC / SiC | > 99,96% |
Konten Si / Si Gratis | < 0,1% |
Kepadatan massal | 2,60-2,70 gram/cm3 |
Porositas yang tampak | < 16% |
Kekuatan kompresi | > 600 MPa |
Kekuatan lentur dingin | 80-90 MPa (20°C) |
Kekuatan lentur panas | 90-100 MPa (1400°C) |
Ekspansi termal @1500°C | 4,70 10-6/°C |
Konduktivitas termal @1200°C | 23 W/m·K |
Modulus elastis | 240 IPK |
Ketahanan terhadap guncangan termal | Sangat bagus |
VeTek Semiconductor menyediakan Tabung Proses SiC berkinerja tinggi untuk manufaktur semikonduktor. Tabung Proses SiC kami unggul dalam proses oksidasi dan difusi. Dengan kualitas dan pengerjaan yang unggul, tabung ini menawarkan stabilitas suhu tinggi dan konduktivitas termal untuk pemrosesan semikonduktor yang efisien. Kami menawarkan harga yang kompetitif dan berupaya menjadi mitra jangka panjang Anda di Tiongkok.
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanSiC Cantilever Paddle dari VeTek Semiconductor adalah produk berkinerja sangat tinggi. SiC Cantilever Paddle kami biasanya digunakan dalam tungku perlakuan panas untuk menangani dan mendukung wafer silikon, deposisi uap kimia (CVD) dan proses pemrosesan lainnya dalam proses pembuatan semikonduktor. Stabilitas suhu tinggi dan konduktivitas termal yang tinggi dari bahan SiC memastikan efisiensi dan keandalan yang tinggi dalam proses pemrosesan semikonduktor. Kami berkomitmen untuk menyediakan produk berkualitas tinggi dengan harga bersaing dan berharap dapat menjadi mitra jangka panjang Anda di Tiongkok.
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanVeTek Semiconductor adalah produsen dan pemasok profesional di China untuk perahu wafer silikon karbida untuk tungku horizontal, dengan pengalaman bertahun-tahun dalam R&D dan produksi, dapat mengontrol kualitas dengan baik dan menawarkan harga yang kompetitif. Anda dapat yakin untuk membeli perahu wafer silikon karbida untuk tungku horizontal dari kami.
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanVeTek Semiconductor adalah produsen dan pemasok profesional di China untuk perahu wafer silikon karbida berlapis SiC, dengan pengalaman bertahun-tahun dalam R&D dan produksi, dapat mengontrol kualitas dengan baik dan menawarkan harga yang kompetitif. Selamat datang untuk mengunjungi pabrik kami dan berdiskusi lebih lanjut tentang kerja sama.
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanSilicon Carbide Cantilever Paddle dari VeTek Semiconductor merupakan komponen penting dalam proses pembuatan semikonduktor, terutama cocok untuk tungku difusi atau tungku LPCVD dalam proses suhu tinggi seperti difusi dan RTP. Silicon Carbide Cantilever Paddle kami dirancang dan diproduksi dengan cermat dengan ketahanan suhu tinggi dan kekuatan mekanis yang sangat baik, dan dapat dengan aman dan andal mengangkut wafer ke tabung proses dalam kondisi proses yang keras untuk berbagai proses suhu tinggi seperti difusi dan RTP. Kami berharap dapat menjadi mitra jangka panjang Anda di Tiongkok.
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanVeTek Semiconductor High Pure Silicon Carbide Wafer Carrier adalah komponen penting dalam pemrosesan semikonduktor, dirancang untuk menampung dan mengangkut wafer silikon halus dengan aman, memainkan peran penting dalam semua tahap produksi. Pembawa Wafer Silikon Karbida Murni Tinggi Semikonduktor VeTek dirancang dan diproduksi dengan cermat untuk memastikan kinerja dan keandalan yang sangat baik. VeTek Semiconductor berkomitmen untuk menyediakan produk berkualitas dengan harga bersaing, dan kami berharap dapat menjadi mitra jangka panjang Anda di Tiongkok.
Baca selengkapnyamengirimkan permintaan