Dayung Kantilever Silikon Karbida

Silicon Carbide Cantilever Paddle dari VeTek Semiconductor merupakan komponen penting dalam proses pembuatan semikonduktor, terutama cocok untuk tungku difusi atau tungku LPCVD dalam proses suhu tinggi seperti difusi dan RTP. Silicon Carbide Cantilever Paddle kami dirancang dan diproduksi dengan cermat dengan ketahanan suhu tinggi dan kekuatan mekanis yang sangat baik, dan dapat dengan aman dan andal mengangkut wafer ke tabung proses dalam kondisi proses yang keras untuk berbagai proses suhu tinggi seperti difusi dan RTP. Kami berharap dapat menjadi mitra jangka panjang Anda di Tiongkok.

mengirimkan permintaan

Deskripsi Produk

Anda dapat yakin untuk membeli Dayung Kantilever Silikon Karbida khusus dari VeTek Semiconducto. Kami berharap dapat bekerja sama dengan Anda, jika Anda ingin tahu lebih banyak, Anda dapat berkonsultasi dengan kami sekarang, kami akan membalas Anda tepat waktu!

Silicon Carbide Cantilever Paddle dari VeTek Semiconductor terbuat dari silikon karbida dengan kemurnian tinggi dan memiliki ketahanan suhu tinggi dan kekuatan mekanik yang sangat baik. Ini adalah komponen kunci yang sangat diperlukan dalam proses manufaktur semikonduktor, terutama dalam tungku difusi atau LPCVD dan proses RTP. Desain dan manufaktur yang tepat dari Silicon Carbide Cantilever Paddle memastikan penempatan dan pemindahan wafer yang aman untuk memenuhi persyaratan proses presisi tinggi.

Paddle Kantilever Silikon Karbida Semikonduktor VeTek terbuat dari silikon karbida sebagai bahan utama. Silikon karbida memiliki karakteristik kekuatan tinggi dan stabilitas termal yang baik, sehingga dapat menahan kondisi keras di lingkungan proses suhu tinggi tungku semikonduktor. Salah satu alasan pemilihan silikon karbida adalah karena dapat beradaptasi dengan lingkungan bersuhu tinggi pada tungku semikonduktor.

Desain Dayung Kantilever Silikon Karbida memungkinkannya meluas ke dalam tabung proses di tungku dan dipasang dengan kuat di salah satu ujung di luar tabung. Desain ini memastikan bahwa wafer yang diproses tetap stabil dan tertopang selama proses berlangsung serta meminimalkan gangguan terhadap lingkungan termal di dalam tungku.

VeTek Semiconductor berkomitmen untuk menyediakan produk dayung kantilever SiC berkualitas tinggi. Produk kami dirancang dan diproduksi dengan cermat untuk memenuhi persyaratan ketat proses manufaktur semikonduktor. Performa dan keandalan luar biasa dari Silicon Carbide Cantilever Paddle menjadikannya komponen kunci yang sangat diperlukan dalam industri semikonduktor. VeTek Semiconductor berkomitmen untuk menyediakan produk berkualitas dengan harga bersaing, dan kami berharap dapat menjadi mitra jangka panjang Anda di Tiongkok.

Parameter produk dari Silicon Carbide Cantilever Paddle

Sifat fisik Silikon Karbida Rekristalisasi
Properti	Nilai khas
Suhu kerja (°C)	1600°C (dengan oksigen), 1700°C (mengurangi lingkungan)
konten SiC	> 99,96%
Konten Si gratis	< 0,1%
Kepadatan massal	2,60-2,70 gram/cm3
Porositas yang tampak	< 16%
Kekuatan kompresi	> 600 MPa
Kekuatan lentur dingin	80-90 MPa (20°C)
Kekuatan lentur panas	90-100 MPa (1400°C)
Ekspansi termal @1500°C	4,70 10-6/°C
Konduktivitas termal @1200°C	23 W/m·K
Modulus elastis	240 IPK
Ketahanan terhadap guncangan termal	Sangat bagus