VeTek Semiconductor adalah mitra inovatif Anda di bidang pemrosesan semikonduktor. Dengan portofolio kami yang luas untuk kombinasi material Keramik Silikon Karbida tingkat semikonduktor, kemampuan manufaktur komponen, dan layanan rekayasa aplikasi, kami dapat membantu Anda mengatasi tantangan yang signifikan. Teknik teknis Keramik Silikon Karbida banyak diterapkan di industri semikonduktor karena kinerja materialnya yang luar biasa. Keramik Silikon Karbida ultra-murni VeTek Semiconductor sering digunakan di seluruh siklus pembuatan dan pemrosesan semikonduktor.
VeTek Semiconductor menyediakan komponen keramik rekayasa yang dirancang khusus untuk difusi batch dan persyaratan LPCVD termasuk:
• Penyekat & penahan
• Injektor
• Liner & tabung proses
• Dayung Kantilever Silikon Karbida
• Perahu wafer dan alasnya
Dayung Kantilever SiC Tabung Proses SiC Tabung Proses Silikon Karbida perahu wafer vertikal SiC perahu wafer horizontal SiC Perahu wafer persegi horizontal SiC perahu wafer SiC LPCVD Perahu pelat horizontal SiC Perahu wafer bundar SiC
Minimalkan kontaminasi dan pemeliharaan tak terjadwal dengan komponen dengan kemurnian tinggi yang dirancang untuk pemrosesan etsa plasma yang ketat, termasuk:
Cincin fokus
Nozel
Perisai
Pancuran
Jendela / Tutup
Komponen khusus lainnya
VeTek Semiconductor menyediakan komponen material canggih yang disesuaikan untuk aplikasi pemrosesan termal suhu tinggi di industri semikonduktor. Aplikasi ini mencakup RTP, proses Epi, difusi, oksidasi, dan anil. Keramik teknis kami dirancang untuk tahan terhadap guncangan termal, memberikan kinerja yang andal dan konsisten. Dengan komponen VeTek Semiconductor, produsen semikonduktor dapat mencapai pemrosesan termal yang efisien dan berkualitas tinggi, sehingga berkontribusi terhadap keberhasilan produksi semikonduktor secara keseluruhan.
• Diffuser
• Isolator
• Reseptor
• Komponen termal khusus lainnya
Sifat fisik Silikon Karbida Rekristalisasi | |
Properti | Nilai khas |
Suhu kerja (°C) | 1600°C (dengan oksigen), 1700°C (mengurangi lingkungan) |
Konten SiC / SiC | > 99,96% |
Konten Si / Si Gratis | < 0,1% |
Kepadatan massal | 2,60-2,70 gram/cm3 |
Porositas yang tampak | < 16% |
Kekuatan kompresi | > 600 MPa |
Kekuatan lentur dingin | 80-90 MPa (20°C) |
Kekuatan lentur panas | 90-100 MPa (1400°C) |
Ekspansi termal @1500°C | 4,70 10-6/°C |
Konduktivitas termal @1200°C | 23 W/m·K |
Modulus elastis | 240 IPK |
Ketahanan terhadap guncangan termal | Sangat bagus |
Perahu Wafer Silikon Karbida VeTek Semiconductor dengan kemurnian tinggi terbuat dari bahan silikon karbida yang sangat murni dengan stabilitas termal, kekuatan mekanik, dan ketahanan kimia yang sangat baik. Perahu Wafer Silikon Karbida dengan kemurnian tinggi digunakan dalam aplikasi zona panas dalam manufaktur semikonduktor, terutama di lingkungan bersuhu tinggi, dan memainkan peran penting dalam melindungi wafer, mengangkut material, dan menjaga kestabilan proses. VeTek Semiconductor akan terus bekerja keras untuk berinovasi dan meningkatkan kinerja Silicon Carbide Wafer Boat dengan kemurnian tinggi untuk memenuhi kebutuhan manufaktur semikonduktor yang terus berkembang. Kami berharap dapat menjadi mitra jangka panjang Anda di Tiongkok.
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanVeTek Semiconductor adalah produsen dan pemasok profesional, yang berdedikasi untuk menyediakan Bubuk Silikon Karbida Ultra Murni berkualitas tinggi untuk Pertumbuhan Kristal. Dengan kemurnian hingga 99,999% berat dan tingkat pengotor nitrogen, boron, aluminium, dan kontaminan lainnya yang sangat rendah, produk ini dirancang khusus untuk meningkatkan sifat semi-isolasi silikon karbida dengan kemurnian tinggi. Selamat datang untuk menanyakan dan bekerja sama dengan kami!
Baca selengkapnyamengirimkan permintaan