Perahu Wafer Silikon Karbida untuk Tungku Horisontal

VeTek Semiconductor adalah produsen dan pemasok profesional di China untuk perahu wafer silikon karbida untuk tungku horizontal, dengan pengalaman bertahun-tahun dalam R&D dan produksi, dapat mengontrol kualitas dengan baik dan menawarkan harga yang kompetitif. Anda dapat yakin untuk membeli perahu wafer silikon karbida untuk tungku horizontal dari kami.

mengirimkan permintaan

Deskripsi Produk

Perahu wafer silikon karbida berkualitas tinggi untuk tungku horizontal ditawarkan oleh pabrikan Cina VeTek Semiconductor. Beli perahu wafer silikon karbida untuk tungku horizontal yang berkualitas tinggi langsung dari pabrik dengan harga murah. Perahu wafer silikon karbida untuk tungku horizontal digunakan dalam tabung tungku untuk memuat dan memindahkan wafer selama perawatan suhu tinggi. Karena sifat bahan silikon karbida yang sangat baik seperti ketahanan suhu tinggi, ketahanan korosi kimia, dan stabilitas termal, bahan ini banyak digunakan dalam berbagai proses perlakuan panas seperti difusi, oksidasi, CVD, dan anil.

Perahu wafer silikon karbida untuk tungku horizontal terbuat dari bahan silikon karbida dan memiliki ciri-ciri sebagai berikut:

1. Kekerasan tinggi dan ketahanan aus: Silikon karbida memiliki kekerasan kedua setelah berlian, sehingga sangat tahan aus. Hal ini memungkinkan perahu silikon karbida menahan benturan dan gesekan mekanis yang berulang, sehingga memperpanjang masa pakainya.

2. Ketahanan suhu tinggi: Silikon karbida memiliki titik leleh 2730°C, membuat perahu silikon karbida cocok untuk lingkungan bersuhu tinggi dan berbagai proses manufaktur semikonduktor, seperti oksidasi dan difusi suhu tinggi.

3. Koefisien muai panas yang rendah: Silikon karbida memiliki koefisien muai panas yang rendah, yang membantu menjaga stabilitas dimensi pada suhu tinggi, mencegah deformasi kapal dan mempengaruhi keakuratan pemrosesan wafer.

4. Stabilitas kimia yang baik: Silikon karbida tahan terhadap sebagian besar bahan kimia dan tidak bereaksi dengan larutan asam dan basa pada umumnya, sehingga menjamin keamanan dan kebersihan wafer.

Kami dapat memproduksi berbagai jenis perahu wafer silikon karbida seperti perahu wafer horizontal, perahu wafer vertikal, dan perahu khusus lainnya.

Kami menggunakan silikon karbida rekristalisasi dengan kemurnian tinggi dengan parameter di bawah ini:

Sifat fisik Silikon Karbida Rekristalisasi
Properti	Nilai khas
Suhu kerja (°C)	1600°C (dengan oksigen), 1700°C (mengurangi lingkungan)
konten SiC	> 99,96%
Konten Si gratis	< 0,1%
Kepadatan massal	2,60-2,70 gram/cm3
Porositas yang tampak	< 16%
Kekuatan kompresi	> 600MPa
Kekuatan lentur dingin	80-90 MPa (20°C)
Kekuatan lentur panas	90-100 MPa (1400°C)
Ekspansi termal @1500°C	4,70 10-6/°C
Konduktivitas termal @1200°C	23 W/m·K
Modulus elastis	240 IPK
Ketahanan terhadap guncangan termal	Sangat bagus

Aplikasi

Perahu wafer silikon karbida untuk tungku horizontal menemukan aplikasi luas di industri semikonduktor dan fotovoltaik:

Pembersihan dan pengetsaan wafer

Difusi dan oksidasi

Elektroplating dan etsa

Pemolesan Mekanis Kimia (CMP)

Perawatan panas

Pemindahan dan penyimpanan wafer

Toko Produksi Semikonduktor VeTek

Tag Panas: Perahu Wafer Silikon Karbida untuk Tungku Horisontal, Cina, Produsen, Pemasok, Pabrik, Disesuaikan, Beli, Canggih, Tahan Lama, Buatan China