pemanas lapisan keramik silikon karbida

Semikonduktor VeTekSilicon Carbide Ceramic Coating Heater adalah pemanas yang dirancang untuk suhu tinggi dan lingkungan yang keras. Ini melapisi lapisan lapisan keramik karbon silikon (SiC) pada permukaan elemen pemanas untuk memberikan peralatan ketahanan panas, ketahanan korosi, dan konduktivitas termal yang sangat baik. 

Pemanas lapisan keramik silikon karbidaterutama digunakan dalam peralatan pelapisan vakum (penguapan). Metode yang umum digunakan adalah PCD (Plasma Chemical Drying) dan PVD (Physical vapor deposition), yang banyak digunakan dalam manufaktur semikonduktor dan aplikasi industri dengan permintaan tinggi lainnya.

Dikombinasikan dengan desain pelapis berkinerja tinggi dari Silicon Carbide Ceramic Coating Heater,ini dapat memberikan solusi pemanasan yang sangat baik untuk proses suhu tinggi.

Konduktivitas termal yang sangat baik: Bahan SiC memiliki konduktivitas termal yang sangat baik, memastikan pemanas dapat mencapai distribusi panas yang seragam di area kerja dan mengurangi gradien suhu.

Memberikan distribusi panas yang seragam: Pemanas Lapisan Keramik Silikon Karbida menggunakan konduktivitas termal yang tinggi dari bahan SiC untuk mencapai distribusi suhu yang seragam di seluruh area pemanasan. Hal ini penting untuk memastikan perlakuan panas yang seragam pada wafer semikonduktor dalam berbagai proses suhu tinggi seperti pemrosesan termal cepat (RTP), difusi dan oksidasi, menghindari cacat produk yang disebabkan oleh panas berlebih lokal atau suhu yang tidak merata.

Toleransi suhu tinggi: Lapisan SiC memungkinkan pemanas menahan suhu yang sangat tinggi, biasanya hingga 1600°C, cocok untuk berbagai proses pemrosesan suhu tinggi.

Meningkatkan ketahanan panas: Karena lapisan ini dapat menahan suhu yang sangat tinggi, maka lapisan ini bekerja dengan baik dalam proses yang memerlukan pengoperasian suhu tinggi dalam jangka panjang. Misalnya, dalam proses deposisi uap kimia (CVD), Pemanas Pelapis Keramik Silikon Karbida dapat memastikan pengoperasian peralatan yang stabil dalam jangka panjang pada suhu tinggi dan mempertahankan kinerja pemanasan yang konsisten, sehingga meningkatkan pengulangan dan keandalan proses.

Ketahanan korosi kimia: Lapisan SiC memiliki ketahanan yang sangat tinggi terhadap asam, alkali, dan gas korosif, dan dapat tetap stabil untuk waktu yang lama di lingkungan atmosfer kimia yang kompleks, sehingga memperpanjang umur peralatan. 

Memperpanjang umur peralatan: Lapisan SiC memiliki ketahanan oksidasi dan ketahanan korosi yang sangat baik, dan secara efektif dapat menahan erosi kimia dan oksidasi pada suhu tinggi. Hal ini sangat penting dalam proses pembuatan semikonduktor, terutama di lingkungan yang menangani gas dan bahan kimia korosif. Efek perlindungan lapisan dapat memperpanjang masa pakai pemanas secara signifikan dan mengurangi frekuensi penggantian peralatan dan biaya pemeliharaan.

Sifat fisik dasar pemanas lapisan keramik silikon karbida:

Toko pemanas lapisan keramik silikon karbida semikonduktor VeTek:

Ikhtisar rantai industri epitaksi chip semikonduktor VeTek: