Lapisan Keramik Silikon Karbida

Semikonduktor Vetek Lapisan Keramik Silikon Karbidaadalah lapisan pelindung berkinerja tinggi yang terbuat dari bahan silikon karbida (SiC) yang sangat keras dan tahan aus, yang memberikan ketahanan korosi kimia yang sangat baik dan stabilitas suhu tinggi. Sifat-sifat ini sangat penting dalam produksi semikonduktor, sehingga Lapisan Keramik Silikon Karbida banyak digunakan pada komponen utama peralatan manufaktur semikonduktor.

Peran spesifik yang dimainkan oleh Lapisan Keramik Silikon Karbida Semikonduktor Vetek dalam produksi semikonduktor adalahsebagai berikut:

Meningkatkan daya tahan peralatan: Lapisan Keramik Silikon Karbida memberikan perlindungan permukaan yang sangat baik untuk peralatan manufaktur semikonduktor dengan kekerasan dan ketahanan aus yang sangat tinggi. Terutama di lingkungan proses bersuhu tinggi dan sangat korosif, seperti deposisi uap kimia (CVD) dan etsa plasma, lapisan keramik silikon karbida dapat secara efektif mencegah kerusakan pada permukaan peralatan akibat erosi kimia atau keausan fisik, sehingga memperpanjang masa pakai secara signifikan. peralatan dan mengurangi waktu henti yang disebabkan oleh penggantian dan pemeliharaan yang sering.

Meningkatkan kemurnian proses: Dalam proses pembuatan semikonduktor, kontaminasi sekecil apa pun dapat menyebabkan cacat produk. Kelambanan kimiawi lapisan keramik silikon karbida memungkinkannya tetap stabil dalam kondisi ekstrem, mencegah material melepaskan partikel atau kotoran, dan memastikan kemurnian lingkungan selama proses. Hal ini sangat penting terutama untuk langkah produksi yang memerlukan presisi tinggi dan kebersihan tinggi, seperti PECVD dan implantasi ion.

Mengoptimalkan manajemen termal: Dalam pemrosesan semikonduktor suhu tinggi, seperti pemrosesan termal cepat (RTP) dan proses oksidasi, konduktivitas termal yang tinggi dari Lapisan Keramik Silikon Karbida memungkinkan distribusi suhu yang seragam di dalam peralatan. Hal ini membantu mengurangi tekanan termal dan deformasi material yang disebabkan oleh fluktuasi suhu, sehingga meningkatkan akurasi dan konsistensi pembuatan produk.

Mendukung lingkungan proses yang kompleks: Dalam proses yang memerlukan kontrol atmosfer yang kompleks, seperti proses etsa ICP dan proses etsa PSS, stabilitas dan ketahanan oksidasi pemanas lapisan keramik silikon karbida memastikan kinerja peralatan yang stabil dalam pengoperasian jangka panjang, mengurangi risiko degradasi material atau peralatan kerusakan akibat perubahan lingkungan.

Semikonduktor Vetekberfokus pada manufaktur dan penyediaan kinerja tinggiLapisan Keramik Silikon Karbida, dan berkomitmen untuk menyediakan teknologi canggih dan solusi produk untuk industri semikonduktor.Kami sangat berharap dapat menjadi mitra jangka panjang Anda di Tiongkok.

Sifat fisik dasar dariLapisan Keramik Silikon Karbida:

Toko Lapisan Keramik Silikon Karbida Semikonduktor VeTek:

Tinjauan umum rantai industri epitaksi chip semikonduktor: