Cina Proses Epitaksi SiC Produsen, Pemasok, Pabrik

Lapisan karbida unik VeTek Semiconductor memberikan perlindungan unggul untuk bagian grafit dalam Proses Epitaxy SiC untuk pemrosesan bahan semikonduktor dan semikonduktor komposit yang menuntut. Hasilnya adalah masa pakai komponen grafit yang lebih lama, stoikiometri reaksi yang terjaga, penghambatan migrasi pengotor ke aplikasi epitaksi dan pertumbuhan kristal, sehingga menghasilkan peningkatan hasil dan kualitas.

Lapisan tantalum karbida (TaC) kami melindungi komponen penting tungku dan reaktor pada suhu tinggi (hingga 2200°C) dari amonia panas, hidrogen, uap silikon, dan logam cair. VeTek Semiconductor memiliki beragam kemampuan pemrosesan dan pengukuran grafit untuk memenuhi kebutuhan khusus Anda, sehingga kami dapat menawarkan pelapisan berbayar atau layanan lengkap, dengan tim insinyur ahli kami siap merancang solusi yang tepat untuk Anda dan aplikasi spesifik Anda. .

Kristal semikonduktor majemuk

VeTek Semiconductor dapat menyediakan pelapis TaC khusus untuk berbagai komponen dan pembawa. Melalui proses pelapisan terdepan di industri VeTek Semiconductor, pelapisan TaC dapat memperoleh kemurnian tinggi, stabilitas suhu tinggi, dan ketahanan kimia yang tinggi, sehingga meningkatkan kualitas produk lapisan kristal TaC/GaN) dan EPl, serta memperpanjang masa pakai komponen reaktor penting.

Isolator termal

Komponen pertumbuhan kristal SiC, GaN dan AlN termasuk cawan lebur, penahan benih, deflektor dan filter. Rakitan industri termasuk elemen pemanas resistif, nozel, cincin pelindung dan perlengkapan mematri, komponen reaktor CVD epitaksi GaN dan SiC termasuk pembawa wafer, baki satelit, kepala pancuran, tutup dan alas, komponen MOCVD.

Tujuan:

Pembawa Wafer LED (Dioda Pemancar Cahaya).

Penerima ALD (Semikonduktor).

Reseptor EPI (Proses Epitaksi SiC)

Susceptor Satelit berlapis TaC Susceptor & Cincin Lapisan TaC Bagian Lapisan TaC Bagian Halfmoon dengan Lapisan TaC

Perbandingan Lapisan SiC dan Lapisan TaC:

	SiC	TaC
Fitur utama	Kemurnian ultra tinggi, ketahanan Plasma yang sangat baik	Stabilitas suhu tinggi yang sangat baik (kesesuaian proses suhu tinggi)
Kemurnian	>99,9999%	>99,9999%
Kepadatan (g/cm 3)	3.21	15
Kekerasan (kg/mm 2)	2900-3300	6.7-7.2
Resistivitas [Ωcm]	0,1-15.000	<1
Konduktivitas termal (W/m-K)	200-360	22
Koefisien muai panas (10-6/℃)	4.5-5	6.3
Aplikasi	Peralatan Semikonduktor Jig Keramik (Cincin Fokus, Kepala Pancuran, Wafer Dummy)	SiC Pertumbuhan kristal tunggal, Epi, bagian Peralatan LED UV

View as

Cincin Tantalum Karbida

Sebagai produsen maju dan produsen produk Cincin Tantalum Karbida di Cina, Cincin Tantalum Karbida Semikonduktor VeTek memiliki kekerasan yang sangat tinggi, ketahanan aus, ketahanan suhu tinggi dan stabilitas kimia, dan banyak digunakan di bidang manufaktur semikonduktor. Khususnya dalam CVD, PVD, proses implantasi ion, proses etsa, serta pemrosesan dan transportasi wafer, ini adalah produk yang sangat diperlukan untuk pemrosesan dan manufaktur semikonduktor. Menantikan konsultasi Anda selanjutnya.

Baca selengkapnya mengirimkan permintaan

Dukungan Lapisan Tantalum Karbida

Sebagai produsen dan pabrik produk Tantalum Carbide Coating Support profesional di China, VeTek Semiconductor Tantalum Carbide Coating Support biasanya digunakan untuk pelapisan permukaan komponen struktural atau komponen pendukung pada peralatan semikonduktor, terutama untuk perlindungan permukaan komponen peralatan utama dalam proses manufaktur semikonduktor seperti sebagai CVD dan PVD. Selamat datang konsultasi Anda lebih lanjut.

Baca selengkapnya mengirimkan permintaan

Cincin Panduan Tantalum Karbida

VeTek Semiconductor adalah produsen profesional dan pemimpin produk Cincin Panduan Tantalum Carbide di Cina. Cincin Pemandu Tantalum Karbida (TaC) kami adalah komponen cincin berkinerja tinggi yang terbuat dari tantalum karbida, yang biasa digunakan dalam peralatan pemrosesan semikonduktor, terutama di lingkungan bersuhu tinggi dan sangat korosif seperti CVD, PVD, etsa, dan difusi. VeTek Semiconductor berkomitmen untuk menyediakan teknologi canggih dan solusi produk untuk industri semikonduktor, dan menyambut pertanyaan Anda lebih lanjut.

Baca selengkapnya mengirimkan permintaan

Suseptor Rotasi Lapisan TaC

Sebagai produsen profesional, inovator dan pemimpin produk Susceptor Rotasi Lapisan TaC di Cina. Susceptor Rotasi Pelapisan TaC Semikonduktor VeTek biasanya dipasang pada peralatan deposisi uap kimia (CVD) dan epitaksi berkas molekul (MBE) untuk mendukung dan memutar wafer guna memastikan deposisi material yang seragam dan reaksi yang efisien. Ini adalah komponen kunci dalam pemrosesan semikonduktor. Selamat datang konsultasi Anda lebih lanjut.

Baca selengkapnya mengirimkan permintaan

Wadah Pelapis CVD TaC

VeTek Semiconductor adalah produsen profesional dan pemimpin produk CVD TaC Coating Crucible di Cina. Wadah Pelapis CVD TaC didasarkan pada lapisan karbon tantalum (TaC). Lapisan karbon tantalum dilapisi secara merata pada permukaan wadah melalui proses deposisi uap kimia (CVD) untuk meningkatkan ketahanan panas dan ketahanan korosi. Ini adalah alat material yang khusus digunakan di lingkungan ekstrim bersuhu tinggi. Selamat datang konsultasi Anda lebih lanjut.

Baca selengkapnya mengirimkan permintaan

Pembawa Wafer Pelapis CVD TaC

Sebagai produsen dan pabrik produk CVD TaC Coating Wafer Carrier profesional di China, VeTek Semiconductor CVD TaC Coating Wafer Carrier adalah alat pembawa wafer yang dirancang khusus untuk suhu tinggi dan lingkungan korosif dalam manufaktur semikonduktor. dan CVD TaC Coating Wafer Carrier memiliki kekuatan mekanik yang tinggi, ketahanan korosi yang sangat baik, dan stabilitas termal, memberikan jaminan yang diperlukan untuk pembuatan perangkat semikonduktor berkualitas tinggi. Pertanyaan lebih lanjut Anda dipersilakan.

Baca selengkapnya mengirimkan permintaan

<1 2 3 4 5...7 >

Sebagai produsen dan pemasok Proses Epitaksi SiC profesional di Tiongkok, kami memiliki pabrik sendiri. Apakah Anda memerlukan layanan khusus untuk memenuhi kebutuhan spesifik wilayah Anda atau ingin membeli Proses Epitaksi SiC canggih dan tahan lama buatan Tiongkok, Anda dapat meninggalkan pesan kepada kami.