Artikel ini terutama menjelaskan teknologi epitaksi suhu rendah berbasis GaN, termasuk struktur kristal bahan berbasis GaN, 3. persyaratan teknologi epitaksi dan solusi implementasi, keunggulan teknologi epitaksi suhu rendah berdasarkan prinsip PVD, dan prospek pengembangan teknologi epitaksi suhu r......
Baca selengkapnya