Apa itu Lapisan Tantalum Karbida?

Bahan keramik Tantalum karbida (TaC) memiliki titik leleh hingga 3880 ℃ dan merupakan senyawa dengan titik leleh tinggi dan kestabilan kimia yang baik. Itu dapat mempertahankan kinerja yang stabil di lingkungan bersuhu tinggi. Selain itu, ia juga memiliki ketahanan suhu tinggi, ketahanan korosi kimia, dan kompatibilitas kimia dan mekanik yang baik dengan bahan karbon, menjadikannya bahan pelapis pelindung substrat grafit yang ideal. 

Lapisan karbida Tantalum dapat secara efektif melindungi komponen grafit dari efek amonia panas, hidrogen, uap silikon, dan logam cair di lingkungan penggunaan yang keras, secara signifikan memperpanjang masa pakai komponen grafit dan menekan migrasi pengotor dalam grafit, memastikan kualitasepitaksiDanpertumbuhan kristal.

Gambar 1. Komponen Umum yang Dilapisi Tantalum Carbide

Deposisi uap kimia (CVD) adalah metode paling matang dan optimal untuk memproduksi lapisan TaC pada permukaan grafit.

Menggunakan TaCl5 dan Propilena masing-masing sebagai sumber karbon dan tantalum, dan argon sebagai gas pembawa, uap TaCl5 yang diuapkan pada suhu tinggi dimasukkan ke dalam ruang reaksi. Pada suhu dan tekanan target, uap bahan prekursor teradsorpsi pada permukaan grafit, mengalami serangkaian reaksi kimia kompleks seperti dekomposisi dan kombinasi sumber karbon dan tantalum, serta serangkaian reaksi permukaan seperti difusi dan desorpsi. produk sampingan dari pendahulunya. Terakhir, lapisan pelindung padat terbentuk pada permukaan grafit, yang melindungi grafit agar tidak stabil dalam kondisi lingkungan ekstrem dan secara signifikan memperluas skenario penerapan bahan grafit.

Gambar 2.Prinsip proses deposisi uap kimia (CVD).

Semikonduktor VeTekterutama menyediakan produk tantalum karbida: cincin pemandu TaC, cincin tiga kelopak berlapis TaC, wadah pelapis TaC, grafit berpori pelapis TaC yang banyak digunakan adalah proses pertumbuhan kristal SiC; Grafit Berpori dengan Dilapisi TaC, Cincin Panduan Dilapisi TaC, Pembawa Wafer Grafit Dilapisi TaC, Susceptor pelapis TaC, susceptor planet, susceptor satelit berlapis TaC, Dan produk pelapis tantalum karbida ini banyak digunakan diproses epitaksi SiCDanProses Pertumbuhan Kristal Tunggal SiC.

Gambar 3.Dokter hewanek Produk Pelapis Tantalum Karbida Terpopuler dari Semikonduktor