Intan, yang merupakan "semikonduktor utama" generasi keempat yang potensial, mendapatkan perhatian dalam substrat semikonduktor karena kekerasannya yang luar biasa, konduktivitas termal, dan sifat listriknya. Meskipun biayanya yang tinggi dan tantangan produksi membatasi penggunaannya, CVD adalah me......
Baca selengkapnyaSiC dan GaN adalah semikonduktor celah pita lebar dengan keunggulan dibandingkan silikon, seperti tegangan rusaknya lebih tinggi, kecepatan peralihan lebih cepat, dan efisiensi unggul. SiC lebih baik untuk aplikasi tegangan tinggi dan daya tinggi karena konduktivitas termalnya yang lebih tinggi, sem......
Baca selengkapnyaPenguapan berkas elektron adalah metode pelapisan yang sangat efisien dan banyak digunakan dibandingkan dengan pemanasan resistansi, yang memanaskan bahan evaporasi dengan berkas elektron, menyebabkannya menguap dan mengembun menjadi film tipis.
Baca selengkapnyaPelapisan vakum meliputi penguapan bahan film, pengangkutan vakum, dan pertumbuhan film tipis. Menurut metode penguapan bahan film dan proses transportasi yang berbeda, pelapisan vakum dapat dibagi menjadi dua kategori: PVD dan CVD.
Baca selengkapnya